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公开(公告)号:CN100374617C
公开(公告)日:2008-03-12
申请号:CN03140988.1
申请日:2003-05-23
申请人: 肖特股份公司
发明人: 格雷戈尔·阿诺尔德 , 斯特凡·贝勒 , 安德烈亚斯·吕特林豪斯-亨克尔 , 马蒂亚斯·比克尔
IPC分类号: C23C16/00
CPC分类号: C23C16/4409 , B05D1/62 , B08B7/00 , B08B9/426 , B29C49/421 , B29C2049/4221 , B29C2791/001 , B65D23/02 , B65G29/00 , B65G2201/0244 , C03C17/004 , C03C17/005 , C08J9/0004 , C08J2300/14 , C23C14/046 , C23C14/505 , C23C14/56 , C23C16/045 , C23C16/401 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/50 , C23C16/511 , C23C16/54 , H01J37/32733
摘要: 为了经济有效地进行长时间的化学气相沉积涂料,本发明提供了一种化学气相沉积涂料设备,该设备包括一个传送装置;至少一个用于涂料工件的涂料站;至少一个抽空装置以及一个用来至少在涂料站的一个子区域内形成等离子体的装置;在该设备中,该至少的一个涂料站内至少能接收两个工件。
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公开(公告)号:CN1656246A
公开(公告)日:2005-08-17
申请号:CN03811921.8
申请日:2003-05-26
申请人: 肖特股份公司
发明人: 斯特凡·贝勒 , 安德烈亚斯·吕特林豪斯-亨克尔 , 格雷戈尔·阿诺尔德 , 马蒂亚斯·比克尔 , 马滕·瓦尔特
CPC分类号: C23C16/4409 , B05D1/62 , B08B7/00 , B08B9/426 , B29C49/421 , B29C2049/4221 , B29C2791/001 , B65D23/02 , B65G29/00 , B65G2201/0244 , C03C17/005 , C08J9/0004 , C08J2300/14 , C23C14/046 , C23C14/505 , C23C14/56 , C23C16/045 , C23C16/401 , C23C16/4412 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/50 , C23C16/511 , C23C16/54 , H01J37/32733
摘要: 为了简化工件(25、27)在等离子涂层的反应器中的插入和取出并且提高生产能力,本发明提供一种涂层装置(1),其包括:一具有一可移动的套筒元件(19)和一底座元件(33)的反应器(18),其中在结合在一起的位置在套筒元件(19)与底座元件(33)之间限定至少一个密封的涂层室(15、17);以及一用于将电磁能输入至少一个涂层室(15、17)的装置(2),其中反应器(18)具有至少两个涂层位置(12、14)。
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公开(公告)号:CN1607266B
公开(公告)日:2010-05-12
申请号:CN200410098150.7
申请日:2004-07-15
申请人: 肖特股份公司
发明人: 格雷戈尔·阿诺尔德 , 安德烈亚斯·吕特林豪斯-亨克尔 , 于尔根·克莱因 , 斯特凡·贝勒
IPC分类号: C23C16/54 , C23C16/513
CPC分类号: F16L39/04 , C23C16/045 , C23C16/54
摘要: 本发明涉及一种用于中空物体例如塑料饮料瓶镀层的设备。本发明的目的是提供一种用于处理工件的设备,该装置操作可靠,且维修费用低,能够灵活地适应用户的需要或所期望的工艺顺序的需要,且该设备允许有效地抽真空。根据本发明的设备由下面的部件组成:至少一处理装置(101),用于接收至少一工件;转子,所述处理装置安装于该转子上,和流体旋转引入装置,用于将至少一流体输送到所述转子上和/或用于从所述转子中排出至少一流体,所述流体旋转引入装置具有枢轴和轴套,它们彼此间至少分几部分密封,且所述枢轴可旋转地布置在轴套内。所提出的径向布置特别不易发生故障且花费很少的维修费用。
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公开(公告)号:CN100412230C
公开(公告)日:2008-08-20
申请号:CN03811921.8
申请日:2003-05-26
申请人: 肖特股份公司
CPC分类号: C23C16/4409 , B05D1/62 , B08B7/00 , B08B9/426 , B29C49/421 , B29C2049/4221 , B29C2791/001 , B65D23/02 , B65G29/00 , B65G2201/0244 , C03C17/005 , C08J9/0004 , C08J2300/14 , C23C14/046 , C23C14/505 , C23C14/56 , C23C16/045 , C23C16/401 , C23C16/4412 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/50 , C23C16/511 , C23C16/54 , H01J37/32733
摘要: 为了简化工件(25、27)在等离子涂层的反应器中的插入和取出并且提高生产能力,本发明提供一种涂层装置(1),其包括:一具有一可移动的套筒元件(19)和一底座元件(33)的反应器(18),其中在结合在一起的位置在套筒元件(19)与底座元件(33)之间限定至少一个密封的涂层室(15、17);以及一用于将电磁能输入至少一个涂层室(15、17)的装置(2),其中反应器(18)具有至少两个涂层位置(12、14)。
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公开(公告)号:CN1607266A
公开(公告)日:2005-04-20
申请号:CN200410098150.7
申请日:2004-07-15
申请人: 肖特股份公司
发明人: 格雷戈尔·阿诺尔德 , 安德烈亚斯·吕特林豪斯-亨克尔 , 于尔根·克莱因 , 斯特凡·贝勒
IPC分类号: C23C16/54 , C23C16/513
CPC分类号: F16L39/04 , C23C16/045 , C23C16/54
摘要: 本发明涉及一种用于中空物体例如塑料饮料瓶镀层的装置。本发明的目的是提供一种用于处理工件的装置,该装置操作可靠,且维修费用低,能够灵活地适应用户的需要或所期望的工艺顺序的需要,且该装置允许有效地抽成真空。根据本发明的装置由下面的部件组成:至少一处理装置(101),用于接收至少一工件,转子,所述处理装置安装于其上,流体循环引入装置,用于将至少一流体输送到所述转子上和/或用于从所述转子中排出至少一流体,所述流体循环引入装置具有枢轴和轴套,它们彼此间至少分几部分密封,且所述枢轴可旋转地布置在轴套内。所提出的径向布置特别不易发生故障且花费很少的维修费用。
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