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公开(公告)号：CN106457555B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201580026333.4
申请日：2015-04-13
申请人： 苹果公司
摘要： 本发明公开了用于将微型器件或微型器件阵列转移到衬底或者从衬底转移微型器件或微型器件阵列的系统和方法。在一个实施方案中，远程中心机器人允许微型拾取阵列和目标衬底之间的即时对准。远程中心机器人可以包括多个对称联动装置，这些联动装置独立移动并且共享远程旋转中心。在一个实施方案中，远程旋转中心可以定位在微型拾取阵列的表面处，以防止在转移期间对微型器件阵列造成损坏。
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公开(公告)号：CN106794984A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580046311.4
申请日：2015-08-31
申请人： 苹果公司
IPC分类号： B81C99/00
CPC分类号： H02N13/00 , B81C99/002 , H01L21/6833
摘要： 本发明公开了用于将转移头组件与衬底对准的系统和方法。在实施方案中，枢转安装件被用于在闭环运动控制系统中生成反馈信号。在实施方案中，枢转安装件包括在枢转安装件的枢转平台和基座之间延伸的主弹簧臂和次弹簧臂。次弹簧臂的特征在于比主弹簧臂低的刚度，并且应变感测元件被沿着次弹簧臂定位。
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公开(公告)号：CN106457555A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580026333.4
申请日：2015-04-13
申请人： 苹果公司
摘要： 本发明公开了用于将微型器件或微型器件阵列转移到衬底或者从衬底转移微型器件或微型器件阵列的系统和方法。在一个实施方案中，远程中心机器人允许微型拾取阵列和目标衬底之间的即时对准。远程中心机器人可以包括多个对称联动装置，这些联动装置独立移动并且共享远程旋转中心。在一个实施方案中，远程旋转中心可以定位在微型拾取阵列的表面处，以防止在转移期间对微型器件阵列造成损坏。
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公开(公告)号：CN106794984B
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201580046311.4
申请日：2015-08-31
申请人： 苹果公司
IPC分类号： B81C99/00
CPC分类号： H02N13/00 , B81C99/002 , H01L21/6833
摘要： 本发明公开了用于将转移头组件与衬底对准的系统和方法。在实施方案中，枢转安装件被用于在闭环运动控制系统中生成反馈信号。在实施方案中，枢转安装件包括在枢转安装件的枢转平台和基座之间延伸的主弹簧臂和次弹簧臂。次弹簧臂的特征在于比主弹簧臂低的刚度，并且应变感测元件被沿着次弹簧臂定位。
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公开(公告)号：CN105074899B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201480010122.7
申请日：2014-02-14
申请人： 苹果公司
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B65G47/91 , B25J11/00 , B25J19/02
CPC分类号： H01L24/75 , B25J7/00 , B25J9/0015 , B25J15/0052 , B25J15/0085 , H01L24/95 , H01L2224/75252 , H01L2224/75282 , H01L2224/75725 , H01L2224/75823 , H01L2224/75901 , H01L2224/7592 , H01L2224/7598 , H01L2924/12041 , H01L2924/1461 , H01L2924/00
摘要： 本发明公开了用于从承载衬底转移微型器件的系统和方法。在实施例中，质量转移工具操纵器组件允许位于微型拾取阵列上的静电转移头部阵列与位于承载衬底上的微型器件阵列之间的主动对准。可对质量转移工具操纵器组件的柔顺性元件的位移进行感测以控制静电转移头部阵列与微型器件阵列之间的对准。
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