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公开(公告)号：CN116575127A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310541101.9
申请日：2023-05-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供一种转移大面积无裂纹自支撑氧化物单晶薄膜的方法，包括：S1，在单晶衬底上沉积牺牲层，在牺牲层上沉积氧化物单晶薄膜；S2，在氧化物单晶薄膜上沉积金属应力缓冲层；S3，在金属应力缓冲层上涂覆有机支撑层；S4，溶解牺牲层；S5，将牺牲层溶解后得到的氧化物单晶薄膜、金属应力缓冲层以及有机支撑层构成的异质结转移至任意衬底上；S6，溶解有机支撑层；S7，去除金属应力缓冲层。本发明通过引入应力缓冲层均匀释放薄膜内应力，保证转移薄膜的完整性。
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公开(公告)号：CN116471917A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310536437.6
申请日：2023-05-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明一种长条形薄膜的可控自组装方法及器件，包括：在衬底上沉积一层牺牲层；在牺牲层上沉积薄膜层；对薄膜层进行刻蚀，形成长条形自组装图案；长条形自组装图案包括长条形薄膜以及对称连接在长条形薄膜两个长边上的多个锚点；长条形薄膜的短边长度为W0，长条形薄膜的至少一个短边距离与其最近的锚点之间的距离为L1，L1≤W0；对牺牲层进行湿法刻蚀，随着湿法刻蚀的进行，长条形薄膜从至少一个短边开始沿着长边的方向卷曲，卷曲过程中，锚点与长条形薄膜的连接处依次断裂。本发明通过构建锚点，从衬底上逐段释放薄膜，控制薄膜卷曲方向，得到微管结构的器件。
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公开(公告)号：CN111129286B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201911358469.1
申请日：2019-12-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种柔性磁电异质结及其制备方法，柔性钛酸钡铁电层、金属层和钽保护层；柔性钛酸钡铁电层、金属层和钽保护层从下至上依次设置；柔性钛酸钡铁电层包括钛酸锶SrTiO3衬底、铝酸锶Sr3Al2O6牺牲层和钛酸钡BaTiO3铁电层；本发明的一种金属与柔性铁电材料形成的复合磁电异质结可以得到柔性钛酸钡/金属磁电薄膜，克服了目前磁电复合结构大多都离不开衬底束缚和磁电耦合效应的提高受到衬底极大制约的问题。
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公开(公告)号：CN111540826A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010323994.6
申请日：2020-04-22
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L43/10 , H01L43/12 , H01L21/363
Abstract: 一种基于复合过渡层的柔性功能薄膜及其制备方法，包括衬底、牺牲层、缓冲层和柔性功能薄膜层；衬底、牺牲层、缓冲层和柔性功能薄膜层从下到上依次设置。本发明的一种使用复合过渡层技术可以得到具有特定相结构的柔性功能薄膜，不仅克服了目前功能薄膜大多都离不开衬底束缚的问题，还使得薄膜相结构可控。该方法避免了目前在水溶性牺牲层上直接生长薄膜时出现的晶格失配、多相混杂等问题，可广泛应用于制备特定相结构柔性功能薄膜的过程中。
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公开(公告)号：CN111129286A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911358469.1
申请日：2019-12-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种柔性磁电异质结及其制备方法，柔性钛酸钡铁电层、金属层和钽保护层；柔性钛酸钡铁电层、金属层和钽保护层从下至上依次设置；柔性钛酸钡铁电层包括钛酸锶SrTiO3衬底、铝酸锶Sr3Al2O6牺牲层和钛酸钡BaTiO3铁电层；本发明的一种金属与柔性铁电材料形成的复合磁电异质结可以得到柔性钛酸钡/金属磁电薄膜，克服了目前磁电复合结构大多都离不开衬底束缚和磁电耦合效应的提高受到衬底极大制约的问题。
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