公开(公告)号：CN1726310A

公开(公告)日：2006-01-25

申请号：CN200380106127.1

申请日：2003-11-07

申请人： 3M创新有限公司

发明人： S·D·博伊德 ,  S·克萨里 ,  W·M·拉曼纳 ,  M·J·帕伦特 ,  L·A·扎哲拉 ,  张海燕

IPC分类号： C25D3/38

CPC分类号： C25D3/38 ,  C23C18/40

摘要： 本发明提供了具有二(全氟烷磺酰基)亚胺铜或三(全氟烷磺酰基)甲基铜的电镀溶液以及使用这些电镀溶液的电化学沉积或化学沉积铜互连的方法。

公开(公告)号：CN1726265A

公开(公告)日：2006-01-25

申请号：CN200380105924.8

申请日：2003-10-28

申请人： 3M创新有限公司

发明人： S·克萨里 ,  W·M·拉曼纳 ,  M·J·帕伦特 ,  L·A·扎哲拉

IPC分类号： C09G1/02 ,  C23F3/00 ,  C11D1/00 ,  H01L21/321 ,  H01L21/288

CPC分类号： C11D3/349 ,  C09G1/02 ,  C11D11/0047 ,  C23F3/06 ,  C23G1/103 ,  H01L21/02074 ,  H01L21/32125

摘要： 本发明提供使用二(全氟烷磺酰基)亚氨酸或三(全氟烷磺酰基)甲基化物酸组合物来抛光和/或清洁铜互连的方法。

公开(公告)号：CN100341122C

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN200380105929.0

申请日：2003-10-24

申请人： 3M创新有限公司

发明人： L·A·扎哲拉 ,  M·J·帕伦特 ,  W·M·拉曼纳 ,  S·克萨里

IPC分类号： H01L21/321 ,  H01L21/288 ,  C09G1/02 ,  C23F3/00 ,  C11D1/00

CPC分类号： H01L21/32134 ,  C09G1/02 ,  C11D1/004 ,  C11D3/349 ,  C11D11/0047 ,  C23F3/06 ,  C23G1/103 ,  H01L21/02074 ,  H01L21/3212 ,  H01L21/32125

摘要： 本发明提供了使用磺酸组合物抛光和/或清洁铜互连的方法。

公开(公告)号：CN1726266A

公开(公告)日：2006-01-25

申请号：CN200380105929.0

申请日：2003-10-24

申请人： 3M创新有限公司

发明人： L·A·扎哲拉 ,  M·J·帕伦特 ,  W·M·拉曼纳 ,  S·克萨里

IPC分类号： C09G1/02 ,  C23F3/00 ,  C11D1/00 ,  H01L21/321 ,  H01L21/288

CPC分类号： H01L21/32134 ,  C09G1/02 ,  C11D1/004 ,  C11D3/349 ,  C11D11/0047 ,  C23F3/06 ,  C23G1/103 ,  H01L21/02074 ,  H01L21/3212 ,  H01L21/32125

摘要： 本发明提供了使用磺酸组合物抛光和/或清洁铜互连的方法。

公开(公告)号：CN1505693A

公开(公告)日：2004-06-16

申请号：CN02808779.8

申请日：2002-02-12

申请人： 3M创新有限公司

发明人： S·克萨里

IPC分类号： C23C16/44 ,  C23G5/032 ,  C11D11/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： C07C49/175 ,  C07C45/00 ,  C07C45/85 ,  C07C49/16 ,  C07C49/167

摘要： 采用含有氟化酮的液态清洗剂清洗蒸汽反应器的方法，所述氟化酮中约有5－10个碳原子和至多两个氢原子。所述氟化酮对全球变暖趋势的影响小。

公开(公告)号：CN100448941C

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200380105924.8

申请日：2003-10-28

申请人： 3M创新有限公司

发明人： S·克萨里 ,  W·M·拉曼纳 ,  M·J·帕伦特 ,  L·A·扎哲拉

IPC分类号： C09G1/02 ,  C23F3/00 ,  C11D1/00 ,  H01L21/321 ,  H01L21/288

CPC分类号： C11D3/349 ,  C09G1/02 ,  C11D11/0047 ,  C23F3/06 ,  C23G1/103 ,  H01L21/02074 ,  H01L21/32125

摘要： 本发明提供使用二(全氟烷磺酰基)亚氨酸或三(全氟烷磺酰基)甲基化物酸组合物来抛光和/或清洁铜互连的方法。

公开(公告)号：CN1276124C

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：CN02808782.8

申请日：2002-03-14

申请人： 3M创新有限公司

发明人： S·克萨里 ,  F·E·比尔 ,  M·G·柯斯特洛 ,  R·M·弗林 ,  R·M·明达耶 ,  J·G·欧文斯 ,  D·R·维塔克

IPC分类号： C23C16/44 ,  H01L21/311 ,  C23F4/00 ,  H01L21/316 ,  C23C14/56

CPC分类号： H01L21/31116 ,  C23C16/4405 ,  C23F4/00 ,  H01L21/32135 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605

摘要： 本发明说明了使用含有全氟酮的活性气体除去气相反应器中积累的不需要的沉积物、蚀刻气相反应器中的介电及金属材料以及在气相反应器中掺杂材料的方法，其中全氟酮中含有4至7个碳原子。全氟酮的性能与半导体行业中使用的标准全氟烃相当或更佳，但对全球变暖造成的影响极小。

公开(公告)号：CN1505694A

公开(公告)日：2004-06-16

申请号：CN02808782.8

申请日：2002-03-14

申请人： 3M创新有限公司

发明人： S·克萨里 ,  F·E·比尔 ,  M·G·柯斯特洛 ,  R·M·弗林 ,  R·M·明达耶 ,  J·G·欧文斯 ,  D·R·维塔克

IPC分类号： C23C16/44 ,  H01L21/311 ,  C23F4/00 ,  H01L21/316 ,  C23C14/56

CPC分类号： H01L21/31116 ,  C23C16/4405 ,  C23F4/00 ,  H01L21/32135 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605

摘要： 本发明说明了使用含有全氟酮的活性气体除去气相反应器中积累的不需要的沉积物、蚀刻气相反应器中的介电及金属材料以及在气相反应器中掺杂材料的方法，其中全氟酮中含有4至7个碳原子。全氟酮的性能与半导体行业中使用的标准全氟烃相当或更佳，但对全球变暖造成的影响极小。