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公开(公告)号：CN107785220A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710599599.9
申请日：2017-07-21
CPC分类号： H01J37/261 , G21K7/00 , H01J37/12 , H01J37/1413 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J2237/121 , H01J2237/1415 , H01J2237/188 , H01J2237/2605 , H01J37/28
摘要： 一种具有真空室的带电粒子显微镜，所述真空室包括：- 样本保持器，用于保持样本；- 粒子光柱，用于产生带电粒子束并沿着轴引导带电粒子束以便照射样本，所述柱在面朝所述样本保持器的末端处具有终端极片；- 检测器，用于检测响应于由所述射束进行的照射而从该样本放射的辐射通量，其中，- 在所述极片与所述样本保持器之间的空间中以磁性方式将可交换柱延伸元件安装在所述极片上。
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公开(公告)号：CN102760628A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210125537.1
申请日：2012-04-26
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/244 , G01T1/20
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/145 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/04926 , H01J2237/2443 , H01J2237/24465
摘要： 本发明涉及用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器。本发明涉及一种镜筒内反向散射电子检测器，该检测器放置于用于SEM的组合式静电/磁物镜中。将检测器形成为带电粒子敏感表面，优选为闪烁体盘（406），其充当电极面之一（110）从而形成静电聚焦场。在闪烁体中生成的光子由光子检测器（202，408）（比如光电二极管或者多像素光子检测器）检测。物镜可以配备有用于检测被保持与轴更接近的次级电子的另一电子检测器（116）。光导（204，404）可以用来赋予在光子检测器与闪烁体之间的电绝缘。
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公开(公告)号：CN107026065A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201610705341.8
申请日：2016-08-23
申请人： FEI 公司
IPC分类号： H01J37/153 , H01J37/09
摘要： 本发明涉及具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜。一种产生用于在带电粒子显微镜中使用的带电粒子的经校正射束的方法，包括以下步骤：– 提供带电粒子的非单能输入射束；– 将所述输入射束传递经过光学模块，所述光学模块包括以下的串联布置：·像散矫正器，从而产生具有特定单能线聚焦方向的经像散补偿、能量色散的中间射束；·射束选择器，包括狭缝，所述狭缝被旋转取向以便将狭缝的方向与所述线聚焦方向匹配，从而产生包括所述中间射束的能量辨别部分的输出射束。
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公开(公告)号：CN104241066A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410245642.8
申请日：2014-06-05
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/09 , H01J37/3005 , H01J2237/12 , H01J2237/20207
摘要： 本发明公开了一种对带电粒子设备中的样品成像的方法。本发明涉及配备有离子束柱(102)和电子束柱(101)的双束设备，电子束柱包含静电浸没透镜(116)。当倾斜样品(104)时，静电浸没场失真并且失去绕电子光轴的对称。结果倾斜引入有害影响，诸如横向色像差和束位移。另外在样品的非倾斜位置中检测二次电子或后向散射电子的柱内检测器(141)将在当倾斜样品时归因于失去浸没场对称而表现出这些电子的混合。本发明示出如何通过关于最靠近样品的接地电极对平台进行偏置来消除或至少减少这些缺点。
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公开(公告)号：CN103779160A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201310497851.7
申请日：2013-10-22
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/141
CPC分类号： G21K5/08 , H01J37/1413 , H01J37/20 , H01J37/265 , H01J2237/1035 , H01J2237/1415 , H01J2237/2802 , H01J2237/2813
摘要： 本发明涉及可配置带电粒子装置。可配置带电粒子装置具有至少第一配置和第二配置，在第一配置中的装置被装配以当样本被安装在第一载物台上时关于光轴来安置样本，在第二配置中的装置具有被安装在第一载物台上的第二透镜极，所述第二透镜极与光轴相交，并且在第二配置中的装置装配有用于在其上安装样本的第二载物台，所述第二载物台被装配以在第一透镜极和第二透镜极之间安置样本，所述第二载物台关于光轴可移动，其结果是磁浸没透镜的光学特性在第一和第二配置中不同，并且在第二配置中可以通过使用第一载物台来安置第二透镜极而被改变，因而改变磁路。
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公开(公告)号：CN107026065B
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：CN201610705341.8
申请日：2016-08-23
IPC分类号： H01J37/153 , H01J37/09
摘要： 本发明涉及具有像散补偿和能量选择的带电粒子显微镜。一种产生用于在带电粒子显微镜中使用的带电粒子的经校正射束的方法，包括以下步骤：提供带电粒子的非单能输入射束；将所述输入射束传递经过光学模块，所述光学模块包括以下的串联布置：像散矫正器，从而产生具有特定单能线聚焦方向的经像散补偿、能量色散的中间射束；射束选择器，包括狭缝，所述狭缝被旋转取向以便将狭缝的方向与所述线聚焦方向匹配，从而产生包括所述中间射束的能量辨别部分的输出射束。
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公开(公告)号：CN104241066B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410245642.8
申请日：2014-06-05
申请人： FEI 公司
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/09 , H01J37/3005 , H01J2237/12 , H01J2237/20207
摘要： 公开了一种对带电粒子设备中的样品成像的方法。本发明涉及配备有离子束柱(102)和电子束柱(101)的双束设备，电子束柱包含静电浸没透镜(116)。当倾斜样品(104)时，静电浸没场失真并且失去绕电子光轴的对称。结果倾斜引入有害影响，诸如横向色像差和束位移。另外在样品的非倾斜位置中检测二次电子或后向散射电子的柱内检测器(141)将在当倾斜样品时归因于失去浸没场对称而表现出这些电子的混合。本发明示出如何通过关于最靠近样品的接地电极对平台进行偏置来消除或至少减少这些缺点。
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公开(公告)号：CN103779160B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201310497851.7
申请日：2013-10-22
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/141
CPC分类号： G21K5/08 , H01J37/1413 , H01J37/20 , H01J37/265 , H01J2237/1035 , H01J2237/1415 , H01J2237/2802 , H01J2237/2813
摘要： 本发明涉及可配置带电粒子装置。可配置带电粒子装置具有至少第一配置和第二配置，在第一配置中的装置被装配以当样本被安装在第一载物台上时关于光轴来安置样本，在第二配置中的装置具有被安装在第一载物台上的第二透镜极，所述第二透镜极与光轴相交，并且在第二配置中的装置装配有用于在其上安装样本的第二载物台，所述第二载物台被装配以在第一透镜极和第二透镜极之间安置样本，所述第二载物台关于光轴可移动，其结果是磁浸没透镜的光学特性在第一和第二配置中不同，并且在第二配置中可以通过使用第一载物台来安置第二透镜极而被改变，因而改变磁路。
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公开(公告)号：CN102760628B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201210125537.1
申请日：2012-04-26
IPC分类号： H01J37/244 , G01T1/20
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/145 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/04926 , H01J2237/2443 , H01J2237/24465
摘要： 本发明涉及用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器。本发明涉及一种镜筒内反向散射电子检测器，该检测器放置于用于SEM的组合式静电/磁物镜中。将检测器形成为带电粒子敏感表面，优选为闪烁体盘（406），其充当电极面之一（110）从而形成静电聚焦场。在闪烁体中生成的光子由光子检测器（202，408）（比如光电二极管或者多像素光子检测器）检测。物镜可以配备有用于检测被保持与轴更接近的次级电子的另一电子检测器116）。光导（204，404）可以用来赋予在光子检测器与闪烁体之间的电绝缘。
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