公开(公告)号：CN102792437A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201180013487.1

申请日：2011-03-23

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 堀裕明 ,  近藤俊平 ,  穴井勇辉 ,  板仓郁夫 ,  内村健志 ,  穴田和辉

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  Y10T279/23

Abstract: 本发明是一种静电吸盘，其具备：陶瓷板，在主面上设有凹部且在内部设有电极；调温板，接合在陶瓷板上；第1接合剂，设置在陶瓷板与调温板之间；及加热器，设置在陶瓷板的凹部内，第1接合剂具有主剂、无定形填充物、球形填充物，球形填充物的平均直径与全部无定形填充物的短径的最大值相比更大，第1接合剂的厚度或者与球形填充物的平均直径相同或者更大，凹部的宽度与加热器的宽度相比更宽，凹部的深度与加热器的厚度相比更深，加热器被第2接合剂粘结在凹部内，加热器的调温板侧的主面与调温板的主面之间的第1距离长于陶瓷板的主面与调温板的主面之间的第2距离。

公开(公告)号：CN102782831A

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201180012562.2

申请日：2011-03-23

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 堀裕明 ,  板仓郁夫 ,  穴田和辉

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/6831 ,  Y10T279/23

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷基板；陶瓷电介体，设置在所述陶瓷基板的上侧且具有放置被处理基板的第1主面；及电极，设置在所述陶瓷基板与所述陶瓷电介体之间，其特征为，所述陶瓷电介体的材质为陶瓷烧结体，在所述陶瓷电介体的所述第1主面上设有多个突起部与供气的槽，在所述槽的底面设有贯穿到所述第1主面相反侧的所述陶瓷基板的第2主面的通孔，所述电极和所述槽之间的距离或者与所述电极和所述第1主面之间的距离相同或者更大。

公开(公告)号：CN100375263C

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN200410085563.1

申请日：2000-05-25

Applicant: TOTO株式会社 ,  株式会社爱发科

Inventor： 北林彻夫 ,  堀裕明 ,  内村健志 ,  建野范昭 ,  不破耕 ,  前平谦

IPC: H01L21/68

CPC classification number: B23Q3/15 ,  B23Q3/154 ,  H01L21/6833 ,  H02N13/00

Abstract: 根据本发明，提供一种用于静电吸引绝缘基片的静电吸盘、使用静电吸盘加热/冷却绝缘基片的装置、和控制绝缘基片温度的方法。公开了形成静电吸盘的绝缘材料的形状和特性、和电极的形状。还公开了包括板、气体输送管道和温度控制系统的用于加热/冷却绝缘基片的装置、和其中安装了用于加热/冷却绝缘基片的装置的用于处理绝缘基片的装置。

公开(公告)号：CN102782831B

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201180012562.2

申请日：2011-03-23

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 堀裕明 ,  板仓郁夫 ,  穴田和辉

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/6831 ,  Y10T279/23

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷基板；陶瓷电介体，设置在所述陶瓷基板的上侧且具有放置被处理基板的第1主面；及电极，设置在所述陶瓷基板与所述陶瓷电介体之间，其特征为，所述陶瓷电介体的材质为陶瓷烧结体，在所述陶瓷电介体的所述第1主面上设有多个突起部与供气的槽，在所述槽的底面设有贯穿到所述第1主面相反侧的所述陶瓷基板的第2主面的通孔，所述电极和所述槽之间的距离或者与所述电极和所述第1主面之间的距离相同或者更大。

公开(公告)号：CN102822956A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201180015561.3

申请日：2011-03-23

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 堀裕明 ,  松井宏树 ,  板仓郁夫

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  C04B35/6269 ,  C04B35/63436 ,  C04B35/63452 ,  C04B37/005 ,  C04B37/008 ,  C04B37/028 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/36 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/483 ,  C04B2235/528 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5481 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2237/062 ,  C04B2237/064 ,  C04B2237/08 ,  C04B2237/10 ,  C04B2237/32 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/402 ,  C04B2237/59 ,  C04B2237/595 ,  C04B2237/704 ,  C04B2237/708 ,  Y10T279/23

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其特征为，具备：陶瓷电介体，在表面上形成有电极；陶瓷基板，支撑陶瓷电介体；及第1接合剂，接合陶瓷电介体与陶瓷基板，第1接合剂具有包含有机材料的主剂、包含无机材料的无定形填充物、包含无机材料的球形填充物，在第1主剂中分散配合有第1无定形填充物与第1球形填充物，第1主剂、第1无定形填充物与第1球形填充物由电绝缘性材料构成，第1球形填充物的平均直径大于第1无定形填充物的短径的最大值，第1接合剂的厚度或者与第1球形填充物的平均直径相同或者更大。

公开(公告)号：CN102792437B

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201180013487.1

申请日：2011-03-23

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 堀裕明 ,  近藤俊平 ,  穴井勇辉 ,  板仓郁夫 ,  内村健志 ,  穴田和辉

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  Y10T279/23

Abstract: 本发明是一种静电吸盘，其具备：陶瓷板，在主面上设有凹部且在内部设有电极；调温板，接合在陶瓷板上；第1接合剂，设置在陶瓷板与调温板之间；及加热器，设置在陶瓷板的凹部内，第1接合剂具有主剂、无定形填充物、球形填充物，球形填充物的平均直径与全部无定形填充物的短径的最大值相比更大，第1接合剂的厚度或者与球形填充物的平均直径相同或者更大，凹部的宽度与加热器的宽度相比更宽，凹部的深度与加热器的厚度相比更深，加热器被第2接合剂粘结在凹部内，加热器的调温板侧的主面与调温板的主面之间的第1距离长于陶瓷板的主面与调温板的主面之间的第2距离。