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公开(公告)号:CN113994462A
公开(公告)日:2022-01-28
申请号:CN202080036383.1
申请日:2020-08-24
申请人: TOTO株式会社
IPC分类号: H01L21/683 , H01J37/32
摘要: 本发明提供一种静电吸盘,具备:导电性的基座板,具有第1部分和设置在所述第1部分的外周的第2部分,设置有导入冷却气体的气体导入路;第1静电吸盘部,设置在所述第1部分上,构成为可吸附晶片,具备具有连通于所述气体导入路的至少一个穿通孔的陶瓷电介体基板和内置于所述陶瓷电介体基板的第1吸附电极;及第2静电吸盘部,设置在所述第2部分上,构成为可吸附聚焦环,具备具有可导入冷却气体的至少一个穿通孔的陶瓷层,所述陶瓷层至少具有当所述聚焦环吸附于所述第2静电吸盘部时接触所述聚焦环的第1层,所述第1层的致密度构成为小于所述陶瓷电介体基板的致密度。由此,提供一种可提高设备的成品率的静电吸盘。
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公开(公告)号:CN103715443B
公开(公告)日:2017-03-01
申请号:CN201310447558.X
申请日:2013-09-25
申请人: TOTO株式会社
IPC分类号: H01M8/0612 , H01M8/0662 , H01M8/243 , H01M8/2475 , H01M8/04014 , H01M8/04082
CPC分类号: H01M8/243 , C01B3/384 , C01B2203/0233 , C01B2203/066 , C01B2203/0811 , H01M8/04022 , H01M8/04201 , H01M8/0625 , H01M8/0662 , H01M8/2457 , H01M8/2465 , H01M8/2475 , H01M2008/1293
摘要: 本发明提供一种固体氧化物型燃料电池装置,可以将混合后的燃料气体和水蒸气均衡且均一地供给至重整部(重整器)整体。本发明的固体氧化物型燃料电池装置(1)具有:重整部(94),配置在比蒸发部(86)更靠上方的燃料气体供给流路(20)内,包围燃料电池电堆(14)的上部,通过在蒸发部中生成的水蒸气(S)对从燃料气体导入部(90a)导入的原燃料气体(F)进行水蒸气重整;及回旋流路部(156),设置在蒸发部和重整部之间的燃料气体供给流路内,使从燃料气体导入部导入燃料气体供给流路内并上升的原燃料气体和在蒸发部中生成并上升的水蒸气沿燃料气体供给流路的周向回旋,形成使混合后的原燃料气体和水蒸气均一地供给至重整部全周的气流。
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公开(公告)号:CN104253279A
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201410283164.X
申请日:2014-06-23
申请人: TOTO株式会社
CPC分类号: H01M8/0273 , H01M8/0267 , H01M8/0271 , H01M8/0276 , H01M8/0282 , H01M8/2404 , H01M8/2425 , H01M8/243 , H01M8/2457 , H01M8/2475 , H01M8/2485 , H01M2008/1293 , Y02P70/56
摘要: 本发明提供一种固体氧化物型燃料电池装置的制造方法,使用陶瓷粘接剂气密地接合燃料电池模块内的构成部件。本发明是将多个燃料电池单电池粘接固定于安装在燃料电池模块(2)内的第1固定构件(63)上的燃料电池装置(1)的制造方法,其特征在于,具有:使各燃料电池单电池(16)的一个端部插通在第1固定构件的各插通孔(63a)中的工序;相对于燃料电池模块对所插通的各燃料电池单电池的一个端部分别进行定位的工序;相对于燃料电池模块将各燃料电池单电池的另一个端部分别定位于规定位置的工序;在各燃料电池单电池所插通的第1固定构件上注入陶瓷粘接剂的工序;及使所注入的陶瓷粘接剂固化,将各燃料电池单电池固定于第1固定构件的工序。
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公开(公告)号:CN103715442A
公开(公告)日:2014-04-09
申请号:CN201310417122.6
申请日:2013-09-13
申请人: TOTO株式会社
CPC分类号: H01M8/1286 , H01M8/004 , H01M8/0206 , H01M8/0236 , H01M8/0245 , H01M8/0258 , H01M8/0267 , H01M8/0271 , H01M8/0297 , H01M8/1226 , H01M8/243 , H01M8/2483 , H01M2008/1293
摘要: 本发明提供一种燃料电池单电池,可防止形成含有Ca及其它元素的扩散层,并防止因烧成而导致电解质的结晶结构崩溃,且低温下的发电性能优异。一种固体氧化物型燃料电池单电池,是在多孔质支撑体的表面上依次层叠内侧电极、固体电解质及外侧电极而构成的固体氧化物型燃料电池单电池,其特征在于,所述多孔质支撑体含有镁橄榄石而构成,所述多孔质支撑体的Mg/Si比以摩尔比为1.90以上且2.2以下,并且,在使用Cu-Kα射线的粉末X射线衍射图谱中,衍射角2θ=26.5o~27.0o处出现的最大峰高A与36.5o~37.0o处出现的最大峰高B的比A/B为0.0%以上且9.0%以下。
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公开(公告)号:CN103682404A
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201310417191.7
申请日:2013-09-13
申请人: TOTO株式会社
CPC分类号: H01M8/023 , H01M8/004 , H01M8/1226 , H01M8/1246 , H01M8/243 , H01M2008/1293 , Y02E60/525 , Y02P70/56
摘要: 本发明提供一种燃料电池单电池,可防止形成含有Ca及其它元素的扩散层,并防止因烧成而导致电解质的结晶结构崩溃,且低温下的发电性能优异。一种固体氧化物型燃料电池单电池,是在多孔质支撑体的表面上依次层叠燃料极、固体电解质及空气极而构成的固体氧化物型燃料电池单电池,其特征在于,所述多孔质支撑体含有镁橄榄石而构成,以CaO换算还含有超过0.2质量%且2质量%以下的钙元素(Ca)而构成。
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公开(公告)号:CN103682405B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201310417223.3
申请日:2013-09-13
申请人: TOTO株式会社
IPC分类号: H01M8/1226 , H01M8/1253 , H01M8/1286 , H01M8/00 , H01M8/0236
CPC分类号: H01M8/023 , H01M8/004 , H01M8/0236 , H01M8/1226 , H01M8/1253 , H01M8/1286 , H01M2008/1293 , Y02E60/525 , Y02P70/56
摘要: 本发明提供一种燃料电池单电池,可防止形成含有Ca及其它元素的扩散层,并防止因烧成而导致电解质的结晶结构崩溃,且低温下的发电性能优异。一种固体氧化物型燃料电池单电池,是在多孔质支撑体的表面上依次层叠内侧电极、固体电解质及外侧电极而构成的固体氧化物型燃料电池单电池,其特征在于,所述多孔质支撑体含有镁橄榄石而构成,至少在所述内侧电极层叠侧的表面区域中,以CaO换算Ca元素含量为0.2质量%以下。
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公开(公告)号:CN104518232A
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201410497919.6
申请日:2014-09-25
申请人: TOTO株式会社
CPC分类号: H01M8/1246 , H01M2/065 , H01M8/0202 , H01M8/0271 , H01M8/0273 , H01M8/0282 , H01M8/0286 , H01M8/0662 , H01M8/12 , H01M2008/1293 , Y02P70/56
摘要: 本发明提供一种固体氧化物型燃料电池装置的制造方法,使用陶瓷粘接剂气密地接合燃料电池模块内的构成部件。本发明是一种固体氧化物型燃料电池装置的制造方法,其特征在于,具备:粘接剂附着工序,使陶瓷粘接剂附着于接合部,以气密地构成引导燃料的流路;及干燥固化工序,使陶瓷粘接剂干燥固化,干燥固化工序具有:作业可能固化工序,使陶瓷粘接剂以规定的第1温度固化至可实施下一个制造工序的状态;及溶剂除去固化工序,在反复执行多次粘接剂附着工序及作业可能固化工序后进行,溶剂除去固化工序通过上升至比第1温度高,且与发电运行时的燃料电池单电池的温度大致相等的第2温度,从而使各作业可能固化工序中固化的陶瓷粘接剂进一步固化。
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公开(公告)号:CN104518231A
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201410502996.6
申请日:2014-09-26
申请人: TOTO株式会社
IPC分类号: H01M8/10
CPC分类号: H01M8/2465 , H01M8/006 , H01M8/0217 , H01M8/0236 , H01M8/1226 , H01M8/1231 , H01M8/1286 , H01M8/2425 , H01M2008/1293
摘要: 本发明提供固体氧化物型燃料电池电堆,增大绝缘支撑体的热传导率而使起动停止时间变为较短时间,减小比重而设置作业性良好,以及提高高温的体积电阻率,发电性能优异,其具备两个以上在内部具备气体流路的具有透气性的多孔质绝缘支撑体上依次层叠内侧电极、电解质、外侧电极而构成的发电元件,在两个以上的发电元件中,邻接的两个发电元件中的一个发电元件的内侧电极与另一个发电元件的外侧电极通过互连器而被电连接,由此串联连接有两个以上的发电元件,绝缘支撑体含有镁橄榄石,在绝缘支撑体的至少发电元件层叠侧的表面区域内,Mg元素及Si元素含量分别以MgO及SiO2换算合计为90质量%以上,互连器含有由(A,B)(Ti,C)O3-δ表示的钛系钙钛矿型氧化物。
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公开(公告)号:CN104078696A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410123757.X
申请日:2014-03-28
申请人: TOTO株式会社
CPC分类号: H01M8/0236 , C04B35/20 , C04B38/067 , C04B2111/00853 , C04B2111/00913 , C04B2235/3208 , C04B2235/72 , H01M4/8621 , H01M4/8885 , H01M4/9025 , H01M4/905 , H01M4/9066 , H01M8/004 , H01M8/0243 , H01M8/0245 , H01M8/0252 , H01M8/0637 , H01M8/1097 , H01M8/1226 , H01M8/124 , H01M8/1246 , H01M2008/1293 , Y02E60/521 , Y02E60/525 , Y02E60/566 , Y02P70/56
摘要: 本发明的目的在于提供一种固体氧化物型燃料电池单电池,能够在多孔质支撑体中对燃料气体进行重整而使发电效率提高。提供一种固体氧化物型燃料电池单电池,是在多孔质支撑体的表面上依次层叠燃料极、固体电解质及空气极而构成的固体氧化物型燃料电池单电池,其为,所述多孔质支撑体含有镁橄榄石和镍元素而构成,Ni及/或NiO微粒露出并存在于构成所述多孔质支撑体的镁橄榄石烧结体的表面上。
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公开(公告)号:CN104253282B
公开(公告)日:2016-10-05
申请号:CN201410283147.6
申请日:2014-06-23
申请人: TOTO株式会社
IPC分类号: H01M8/243 , H01M8/2485 , H01M8/249 , H01M8/0276
CPC分类号: H01M8/249 , H01M8/0276 , H01M8/0286 , H01M8/2425 , H01M8/243 , H01M8/2485
摘要: 本发明提供一种固体氧化物型燃料电池装置,使用陶瓷粘接剂气密地接合燃料电池模块内的燃料电池单电池。本发明是一种通过使燃料及氧化剂气体进行反应而发电的固体氧化物型燃料电池装置(1),其特征在于,具有:燃料电池模块(2),收容有多个燃料电池单电池(16);及燃料气体分散室(76),用于向各燃料电池单电池(16)分配并供给燃料,各燃料电池单电池通过陶瓷粘接剂而被气密地固定于构成燃料气体分散室的固定构件(63),在各燃料电池单电池的周围通过陶瓷粘接剂层而形成有气体泄漏抑制部,抑制因陶瓷粘接剂固化时的收缩而产生裂纹。
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