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公开(公告)号:CN104810307A
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201510043899.X
申请日:2015-01-28
申请人: 朗姆研究公司
发明人: 马修·J·罗德里克
IPC分类号: H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号: B25J9/1612 , B25J9/1656 , B25J9/1694 , B25J11/0095 , B25J13/083 , G05B2219/39057 , G05B2219/40567 , G05B2219/45031 , H01L21/67259 , H01L21/68707 , H01L22/26 , Y10S901/09 , Y10S901/47 , H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/67703 , H01L22/34
摘要: 本发明提供了晶片搬运牵引控制系统,该系统能够检测半导体晶片相对于末端执行器的滑移且能够调整该末端执行器的移动以便使进一步的滑移降至最少。在检测到半导体晶片相对于末端执行器的相对移动超越阈值量时,末端执行器的移动被调整以使半导体晶片的滑移降至最少。该晶片搬运牵引控制系统可包括检测半导体晶片和末端执行器之间的相对移动的传感器。
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公开(公告)号:CN103814281A
公开(公告)日:2014-05-21
申请号:CN201180073382.5
申请日:2011-08-03
申请人: 株式会社安川电机
CPC分类号: B25J19/02 , B25J9/1612 , B25J13/083 , B25J15/0028 , G01H17/00 , G01L5/009 , G05B2219/39507 , G05B2219/40567 , Y10S901/31 , Y10S901/46
摘要: 本发明提供能检测出物体的错位已达到设定范围以上的错位检测器(20)、机器人手(10)及机器人系统(64)。错位检测器(20)具有:接触部件(22),其与物体接触,并伴随物体的错位而变形;限制部件(24),通过接触已变形的接触部件(22),限制接触部件(22)的变形达到预先确定的大小以上;以及振动检测部(26),用于检测接触部件(22)与限制部件(24)接触时产生的振动。
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公开(公告)号:CN104810307B
公开(公告)日:2018-02-13
申请号:CN201510043899.X
申请日:2015-01-28
申请人: 朗姆研究公司
发明人: 马修·J·罗德里克
IPC分类号: H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号: B25J9/1612 , B25J9/1656 , B25J9/1694 , B25J11/0095 , B25J13/083 , G05B2219/39057 , G05B2219/40567 , G05B2219/45031 , H01L21/67259 , H01L21/68707 , H01L22/26 , Y10S901/09 , Y10S901/47
摘要: 本发明提供了晶片搬运牵引控制系统,该系统能够检测半导体晶片相对于末端执行器的滑移且能够调整该末端执行器的移动以便使进一步的滑移降至最少。在检测到半导体晶片相对于末端执行器的相对移动超越阈值量时,末端执行器的移动被调整以使半导体晶片的滑移降至最少。该晶片搬运牵引控制系统可包括检测半导体晶片和末端执行器之间的相对移动的传感器。
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