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公开(公告)号：CN102119237B
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN200980129084.6
申请日：2009-09-18
申请人： 株式会社爱发科
CPC分类号： C23C14/042 , C23C14/30 , H01J9/02 , H01J9/46
摘要： 本发明提供一种保护膜的形成方法以及该形成装置，为了对构成32英寸以上的平板显示器的基板形成保护膜，无需使装置大型化，无需托架等，维护性优良。一种对32英寸以上的等离子体显示器面板的基板形成保护膜的方法，其特征在于，以在成膜室内的规定的位置使所述基板静止的状态下，与所述基板对置地配置多个蒸发源，对所述各蒸发源照射电子束而进行成膜。
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公开(公告)号：CN101278370A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200580051757.2
申请日：2005-10-07
申请人： 中外炉工业株式会社
发明人： 木曾田欣弥
摘要： 本发明提供一种能几乎全自动化制造等离子体显示面板等面板的等离子体显示面板等的面板制造系统。其包括：闭环状的循环路径(1)；在循环路径上移动的多个工作车(2)；设置在工作车上的衬底搭载部；设置在工作车上，安装排气管的排气管安装部；设置在工作车上，与排气管安装部连接的排气装置；设置在循环路径中，进行密封处理和排气处理的热处理炉(8)；设置在循环路径中的装卸部(9)；将衬底或排气管搬入装卸部(9)中的传送带(10、11)；设置在装卸部，根据控制信息工作，进行面板制造作业的机器人(12～15)；从装卸部搬出面板的传送带(16)；控制这些机械人的控制盘(17～20)。
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公开(公告)号：CN100348773C
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN01812178.0
申请日：2001-05-22
申请人： 伊佐瓦克有限责任公司
发明人： 乌拉迪齐默尔·夏伊里帕乌 , 米卡拉伊·洛伊丘卡 , 阿里克桑德尔·哈赫洛夫 , 谢尔盖·马雷舍夫
CPC分类号： H01J9/46 , C23C14/22 , C23C14/50 , C23C14/56 , H01J2209/015
摘要： 本发明公开了一种真空模块及其变体，用于在基片上真空沉积多层薄膜涂料。用于向基片例如CRT和平面显示器涂敷涂料的模块系统用来在具有不同尺寸的基片上沉积不同的薄膜。用于向基片涂敷涂料的真空模块包括：带有开口的真空腔，该开口用于布置基片；密封件和用于涂敷涂料的处理装置；阀门，该阀门安装在平行于所述开口的平面内，以便将处理装置和开口分隔开。一处理装置传送机构平行于基片表面往复运动。一模块系统包括几个模块，这些模块具有一共同的抽真空系统和一共同的抽真空控制系统，一共同的用于自动装卸基片的处理装置控制系统。几个模块具有一个共同的操纵器。
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公开(公告)号：CN1245747C
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN200310116858.6
申请日：2003-12-01
申请人： 爱德牌工程有限公司
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： C23C14/50 , C23C14/566 , C23C16/4586 , C23C16/54 , H01J9/46 , H01J2893/0096 , H01L21/67236 , H01L21/67748 , H01L21/68742 , H01L21/68778
摘要： 本发明是关于平板显示器生产设备的基板支撑装置，由基板支座、升降枢轴组成，其特征如下，基板支座(36)上有多个上端呈倒锥形柱状的垂直通孔，并水平放在玻璃基板上(40)。升降枢轴(32)插在上述通孔，形成多个升降枢轴，其上端与上述通孔上端一致，呈倒锥形柱状，从而控制基板(40)从基板支座(36)上抬起或降至基板支座(36)上，还能上下移动。如本发明所述，升降枢轴(32)呈非条状的锥形柱状，紧贴着基板支座(36)，因此可以防止升降枢轴(32)部位(A)和无升降枢轴的部位产生温差及电位差。这样基板(40)不会产生斑点，均匀地成膜或者蚀刻(etching)。
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公开(公告)号：CN1617947A
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：CN01812178.0
申请日：2001-05-22
申请人： 伊佐瓦克有限责任公司
发明人： 乌拉迪齐默尔·夏伊里帕乌 , 米卡拉伊·洛伊丘卡 , 阿里克桑德尔·哈赫洛夫 , 谢尔盖·马雷舍夫
CPC分类号： H01J9/46 , C23C14/22 , C23C14/50 , C23C14/56 , H01J2209/015
摘要： 本发明公开了一种真空模块及其变体，用于在基片上真空沉积多层薄膜涂料。用于向基片例如CRT和平面显示器涂敷涂料的模块系统用来在具有不同尺寸的基片上沉积不同的薄膜。用于向基片涂敷涂料的真空模块包括：带有开口的真空腔，该开口用于布置基片；密封件和用于涂敷涂料的处理装置；阀门，该阀门安装在安装在平行于所述开口的平面内，以便将处理装置和开口分隔开。一处理装置传送机构平行于基片表面往复运动。一模块系统包括几个模块，这些模块具有一共同的抽真空系统和一共同的抽真空控制系统，一共同的用于自动装卸基片的处理装置控制系统。几个模块具有一个共同的操纵器。
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公开(公告)号：CN101681759B
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200880017159.7
申请日：2008-05-30
申请人： 株式会社爱发科
摘要： 一种向封接的第一基板(1)和第二基板(2)之间填充放电气体而成的等离子体面板的制造方法，其特征在于，具有：通过将形成有应对等离子体放电的保护膜的所述第一基板(1)在真空中或被控制的气氛中加热到280℃以上，使杂质气体从所述保护膜脱离的第一脱气工序；和抵接所述杂质气体从所述保护膜脱离的所述第一基板(1)与所述第二基板(2)并进行封接的封接工序。由于在使第一基板与第二基板抵接之前的排气传导量大的状态下使杂质气体从保护膜脱离，因此能够在短时间内进行净化。另外，由于将保护膜加热到280℃以上，能够脱离约70％的吸附在保护膜上的杂质气体。
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公开(公告)号：CN102119237A
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200980129084.6
申请日：2009-09-18
申请人： 株式会社爱发科
CPC分类号： C23C14/042 , C23C14/30 , H01J9/02 , H01J9/46
摘要： 本发明提供一种保护膜的形成方法以及该形成装置，为了对构成32英寸以上的平板显示器的基板形成保护膜，无需使装置大型化，无需托架等，维护性优良。一种对32英寸以上的等离子体显示器面板的基板形成保护膜的方法，其特征在于，以在成膜室内的规定的位置使所述基板静止的状态下，与所述基板对置地配置多个蒸发源，对所述各蒸发源照射电子束而进行成膜。
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