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公开(公告)号：CN103449353B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310213109.9
申请日：2013-05-31
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： H04R1/04 , H01L2224/48091 , H01L2224/48145 , H01L2924/16151 , H01L2924/16152 , H04R1/08 , H04R1/083 , H04R1/086 , H04R9/08 , H04R11/04 , H04R17/02 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R21/02 , H04R31/00 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012
摘要： 提出一种用于具有相同封装要求的至少两个微机械传感器元件的成本有利且极其节省空间的模块解决方案。根据本发明的传感器模块（100）具有至少两个微机械传感器元件（1，2），其传感器功能基于测量介质的直接作用或间接作用，其特征在于，所述至少两个传感器元件（1，2）设置在一个共同的壳体（40）中，所述壳体具有用于所述测量介质的至少一个进口（43），所述至少两个传感器元件（1，2）通过构件背侧置于构件前侧上的方式彼此堆叠，使得上面的传感器元件（1）至少部分地覆盖下面的传感器元件（2）的有效区域，但确保所述测量介质对所述下面的传感器元件（2）的有效区域的对于所述传感器功能而言所需的作用。
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公开(公告)号：CN103449353A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310213109.9
申请日：2013-05-31
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： H04R1/04 , H01L2224/48091 , H01L2224/48145 , H01L2924/16151 , H01L2924/16152 , H04R1/08 , H04R1/083 , H04R1/086 , H04R9/08 , H04R11/04 , H04R17/02 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R21/02 , H04R31/00 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012
摘要： 提出一种用于具有相同封装要求的至少两个微机械传感器元件的成本有利且极其节省空间的模块解决方案。根据本发明的传感器模块（100）具有至少两个微机械传感器元件（1，2），其传感器功能基于测量介质的直接作用或间接作用，其特征在于，所述至少两个传感器元件（1，2）设置在一个共同的壳体（40）中，所述壳体具有用于所述测量介质的至少一个进口（43），所述至少两个传感器元件（1，2）通过构件背侧置于构件前侧上的方式彼此堆叠，使得上面的传感器元件（1）至少部分地覆盖下面的传感器元件（2）的有效区域，但确保所述测量介质对所述下面的传感器元件（2）的有效区域的对于所述传感器功能而言所需的作用。
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公开(公告)号：CN108063991A
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201710628583.6
申请日：2017-07-28
发明人： 俞一善
CPC分类号： H04R1/04 , H04R9/08 , H04R19/005 , H04R21/02 , H04R23/02 , H04R2201/003 , H04R1/08 , H04R31/00 , H04R2231/00
摘要： 本申请涉及一种麦克风及其制造方法。本申请提供了一种麦克风，包括：基底，其具有声孔；振动膜，其形成在所述基底上；电磁感应层，其具有预定图案，且对应于所述声孔而形成于所述振动膜的下表面上；第一电极，其形成在振动膜的上表面上；第一固定层和第二固定层，其与振动膜间隔开；第二电极，其形成在所述第一固定层的下表面处，并具有多个通孔；第一线圈，其插置在第一固定层和第二固定层之间，其中，第一线圈形成为从第一线圈的中心向外延伸的螺旋形状；以及第二线圈，其结合到第二固定层的上表面，其中，第二线圈形成为从第二线圈的中心向外延伸的螺旋形状。
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公开(公告)号：CN102301746A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200980155526.4
申请日：2009-01-27
申请人： 惠普开发有限公司
CPC分类号： H04R17/02 , H04R21/02 , H04R2201/003
摘要： 提供了说明性的声能换能器。单片半导体层限定了平板，两个或更多柔性延伸部以及支撑结构的至少一部分。传送到所述平板的声压导致所述柔性延伸部的拉伸应变。柔性延伸部表现出响应于拉伸应变而变化的电特性。可以从变化的电特性得到对应于所述声压的电信号并对其进行处理以便进一步使用。
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公开(公告)号：CN102282866B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN200980154521.X
申请日：2009-01-14
申请人： 惠普开发有限公司
CPC分类号： H04R17/02 , H04R21/02 , H04R2201/003
摘要： 提供了声学换能器装置。单片半导体层限定板、一对被相对置放的扭转铰链、柔性延伸部和支撑结构的至少一部分。传递到该板的声压导致柔性延伸部的拉伸应变。柔性延伸部提供响应于拉伸应变而变化的电气特性。能够根据柔性延伸部的变化的电气特性导出对应于声压的电信号。
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公开(公告)号：CN102301746B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN200980155526.4
申请日：2009-01-27
申请人： 惠普开发有限公司
CPC分类号： H04R17/02 , H04R21/02 , H04R2201/003
摘要： 提供了说明性的声换能器。单片半导体层限定了平板，两个或更多柔性延伸部以及支撑结构的至少一部分。传送到所述平板的声压导致所述柔性延伸部的拉伸应变。柔性延伸部表现出响应于拉伸应变而变化的电特性。可以从变化的电特性得到对应于所述声压的电信号并对其进行处理以便进一步使用。
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公开(公告)号：CN102282866A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200980154521.X
申请日：2009-01-14
申请人： 惠普开发有限公司
CPC分类号： H04R17/02 , H04R21/02 , H04R2201/003
摘要： 提供了声学换能器装置。单片半导体层限定板、一对被相对置放的扭转铰链、柔性延伸部和支撑结构的至少一部分。传递到该板的声压导致柔性延伸部的拉伸应变。柔性延伸部提供响应于拉伸应变而变化的电气特性。能够根据柔性延伸部的变化的电气特性导出对应于声压的电信号。
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公开(公告)号：CN102113345A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200980130224.1
申请日：2009-07-16
申请人： 船井电机株式会社 , 株式会社船井电机新应用技术研究所
摘要： 提供一种差动麦克风。该差动麦克风(110A)具有：框体(611)，其内部形成有第一空间和第二空间；第一振动膜(113A)，其配置在框体(611)的内部。在框体(611)上形成有第一开口部(611A)和第二开口部(611B)，该第一开口部(611A)用于使第一空间与外部相连通，该第二开口部(611B)用于使第二空间与外部相连通。第一开口部(611A)及第二开口部(611B)在第一方向上的尺寸比在第二方向上的尺寸长，该第一方向与通过两个开口部的中心的直线垂直，该第二方向与通过两个开口部的中心的直线平行。
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