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公开(公告)号：CN108413953A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810163801.8
申请日：2018-02-27
申请人： 郑州轻工业学院
IPC分类号： G01C19/5698
摘要： 本发明公开了一种基于石墨烯薄膜的增益可调控声表面波微陀螺仪，包括压电基片、声表面波谐振器和声表面波检测器；声表面波谐振器包括叉指换能器，在叉指换能器之间有金属点阵，在叉指换能器外侧有反射器和吸声胶；声表面波检测器包括对称设在声表面波谐振器两侧的延迟线且延迟线与声表面波谐振器平行；延迟线包括一对单相单向叉指换能器、石墨烯薄膜、金属电极Ⅰ和金属电极Ⅱ，在单相单向叉指换能器之间有石墨烯薄膜，石墨烯薄膜上设金属电极Ⅰ和金属电极Ⅱ，且金属电极Ⅰ和金属电极Ⅱ与声表面波谐振器的声波传播方向垂直。本发明通过在电极上施加电压形成电场，对哥氏效应二次声表面波增益进行调控，有效提高微陀螺仪的灵敏度、准确性和稳定性。
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公开(公告)号：CN103363978A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310232722.5
申请日：2006-12-01
申请人： 佐治亚科技研究公司
IPC分类号： G01C19/5698
CPC分类号： G01C19/5698
摘要： 本发明公开了一种陀螺仪设备和制造微机电陀螺仪的方法。该陀螺仪设备包括：基底，所述基底具有平面；体声波谐振器元件；以及围绕所述谐振器元件且与所述谐振器元件分开非常小的容性间隙的多个电极，所述电极能够激励和检测所述谐振器中的至少两个简并的体声波谐振模；其中所述陀螺仪设备检测围绕所述基底的所述平面内的至少一条轴线的转动的速度或角度。
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公开(公告)号：CN103344230A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310245588.2
申请日：2013-06-20
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5698
摘要： 本发明提供了一种静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法，所述陀螺包括不带释放孔的圆盘振子、基板、圆柱形的支撑柱、驱动电极、检测电极和公共电极，其中：所述圆盘振子通过所述支撑柱固定于所述基板上，所述圆盘振子垂直于基板的z轴；所述驱动电极、所述检测电极和所述公共电极呈圆周分布于所述基板上，并与所述圆盘振子平行且有一间隙；所述公共电极设置于两个所述驱动电极与两个所述检测电极之间。所述陀螺采用MEMS加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明采用非接触式的电极结构，对谐振子的振动影响更小。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，适用于批量化生产。
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公开(公告)号：CN108955664B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201810809702.2
申请日：2018-07-23
申请人： 东南大学
IPC分类号： G01C19/5698
摘要： 本发明公开了一种基于光学微腔的全解耦环形微陀螺仪及其加工方法，微陀螺仪由上至下包括盖帽和晶圆，所述晶圆包括上层的器件层和下层的衬底层，器件层设有若干电极、谐振子、第一光学微腔、第二光学微腔、第一光波导和第二光波导，所述电极与谐振子内壁相邻，构成电容，第一光波导和第二光波导对称分布于谐振子两侧，第一光学微腔和第二光学微腔分别与第一光波导和第二光波导相邻，且第一光学微腔和第二光学微腔均与谐振子相连。本发明采用光学检测方案，相比传统的微机电陀螺仪，该陀螺仪的可靠性和测量精度都可以达到一个更高的水平。
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公开(公告)号：CN106370172B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201610778334.0
申请日：2016-08-30
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5698
摘要： 本发明提供一种基于数字化嵌入式系统的微陀螺驱动与检测装置及方法，所述装置包括：嵌入式数字单元、模拟电路单元以及无线模块；所述嵌入式数字单元与所述模拟电路单元连接，所述模拟电路单元与体声波固体波动微陀螺连接，所述无线模块集成于所述嵌入式数字单元上；驱动信号经所述嵌入式数字单元到所述模拟电路单元，再到体声波固体波动微陀螺，体声波固体波动微陀螺信号输出到所述模拟电路单元，经所述模拟电路单元前置处理后输入到所述嵌入式数字单元进行信号处理，所述无线模块负责所述装置与外界之间的控制命令以及最终信号的输出。本发明可以有效检测并输出陀螺信号，精度高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN109781087A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811482396.2
申请日：2018-12-05
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01C19/5698
摘要： 本申请的目的是提供一种基于驻波模式的SAW陀螺仪，本申请通过采用压电耦合系数高、SAW传播速度高且声光耦合系数较大的128°Y-X切LiNbO3压电基片，通过在收发天线触发的双端口谐振器的谐振腔之间放置材料为金的金属点阵和声光读出模式SAW接收端来实现一种新型的驻波模式的陀螺仪。收发天线的设计能够有效减少SAW陀螺仪需要的电子电路模块，即减少外电路的使用；所述SAW接收端采用高精度声光耦合模式读出角速率的变化，从而提高了SAW陀螺仪的准确度与灵敏度。
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公开(公告)号：CN103344227B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310245384.9
申请日：2013-06-20
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5698 , G01C25/00
摘要： 本发明涉及一种静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法，包括：一个不带释放孔的圆盘振子，一个圆柱形的支撑柱，分布于基板上的驱动电极、平衡电极和隔离电极，以及分布于圆盘振子上的检测电极。所述检测电极分布于所述圆盘振子上；所述驱动电极、所述平衡电极和所述隔离电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方，同时与所述圆盘振子平行且有一间隙。该陀螺利用压电效应的检测原理，提取形变信号。同时利用非接触式的平衡电极给下电极施加电势，使得陀螺结构得到了优化。该微陀螺的制作方法采用MEMS加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，适用于批量化生产。
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公开(公告)号：CN116989782A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310403226.5
申请日：2023-04-11
申请人： 山东师范大学
IPC分类号： G01C21/18 , G01C19/5698 , G06K17/00 , G06K7/10 , G06K19/07 , G06K19/077
摘要： 本公开提供了一种滑板角速率参数采集方法、系统、介质及设备，涉及数据处理技术领域，方法包括使用电路激活的方式实现系统的启动，发射唤醒脉冲唤醒声表面波陀螺仪电路对使用者的滑板角速率参数进行采集；将获取的滑板角速率模拟信号使用模数转换器转化成数字信号，并利用RFID存储器对数字信号进行存储；读取FRID标签数据并传输至上位机，分析使用者的滑板平衡参数变化；在倍压整流电路后的滤波和解码电路中加入超低功耗的解码结构，针对特定频率信号的编码方式解码出信号中原先设定的二进制序列，当解码出来的二进制序列与预先设定的相一致时，产生一个脉冲作为中断给声表面波陀螺仪节点的外部中端引脚，使节点有效的被唤醒。
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公开(公告)号：CN116592864A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310599739.8
申请日：2023-05-25
申请人： 东南大学
IPC分类号： G01C19/5698
摘要： 本发明涉及惯性测量器件，具体是一种基于声子晶体的全固态声表面波陀螺；本发明利用声表面波激发声子晶体中的回音廊模态，回音廊模态在角速度的作用下产生进动，进动会影响输出表面波的性质，通过检测输出弹性波的特征即可实现角速度的测量，解决了现有全固态表面波陀螺由于角速度直接调制表面波本身而导致的陀螺效应微弱问题。本发明基于声子晶体的全固态声表面波陀螺，包括信号发生器、表面波激励传输模块、声子晶体敏感结构、表面波测振仪、数据采集与处理模块。本发明适用于角速度测量。
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公开(公告)号：CN112066967B
公开(公告)日：2023-02-14
申请号：CN202010648228.7
申请日：2020-07-07
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： G01C19/5698 , G01C19/5776 , G01H9/00
摘要： 本发明属于微传感器领域，具体涉及一种新型基于MEMS技术的芯片级谐振式声光耦合固态波动陀螺。该陀螺将声表面行波模式敏感结构与谐振式微环谐振腔光学检测结构结合在一起应用于陀螺仪中，利用声光效应将一次声表面波与科氏力导致的二次声表面波振动引起器件晶体的机械应变转换成器件上刻蚀的光波导的折射率变化，使得在该波导中传输的光信号发生衍射，从而产生频率调制，同时利用谐振原理的微谐振腔剥离一次声表面波引入的频率变化，得到包含有外部角速度信息的输出信号。利用谐振式微环谐振腔的品质因数与检测分辨率成比例关系，提高接口检测分辨率的量级，在提升灵敏度、改善分辨率等多个方面同时优化陀螺仪的性能指标，实现其精度的提高。
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