公开(公告)号：CN116878726A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202310561674.8

申请日：2023-05-18

申请人： 成都睿宝电子科技有限公司

发明人： 尚丛建 ,  刘立峰 ,  熊慧 ,  贺良武 ,  寸西宁

IPC分类号： G01L21/10 ,  G01L21/12 ,  G01L27/00 ,  G01L19/00 ,  G01L19/14

摘要： 本发明涉及真空测量变送器技术领域，公开了一种电容薄膜电阻复合式变送器，包括：外壳，所述外壳的一端设有开口，所述开口处可拆卸连接有封闭板；测量组件，包括与所述封闭板固定连接的测量筒，所述测量筒靠近所述封闭板的一侧固定连接有两端均为开口设置的连接筒，所述连接筒贯穿所述封闭板延伸至所述外壳的外侧；所述测量筒的内部设置有电阻测量腔、电容薄膜测量腔和连接腔，所述电阻测量腔和电容薄膜测量腔分别通过所述连接腔与位于所述测量筒内部的第一测量腔连通。本发明可以使得一种变送器可以通用于低真空环境和中真空环境。

公开(公告)号：CN115979505A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202211441892.X

申请日：2022-11-17

申请人： 中国科学院微电子研究所

发明人： 许韶行 ,  毛海央 ,  周娜 ,  黄成军

IPC分类号： G01L21/10 ,  G01L21/12 ,  B82Y40/00

摘要： 本申请公开一种集成纳米森林的皮拉尼传感器及其制备方法，涉及传感器。集成纳米森林的皮拉尼传感器，其特征在于，包括：皮拉尼传感单元和纳米森林结构；其中，所述纳米森林结构设置在所述皮拉尼传感单元上方或所述皮拉尼传感单元内；所述纳米森林结构用于增加气体分子与所述皮拉尼传感单元的有效接触面积，纳米森林结构具有较大的孔隙率，可以增大气体分子的平均自由程，实现更多的气体热传导，在气压较小时，仍能通过气体热传导反应气压的大小，扩展了真空度检测的下限，随着气体热传导占比的增加，也提高了器件真空检测的灵敏度。

公开(公告)号：CN115183934A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202210567533.2

申请日：2022-05-23

申请人： 西安交通大学

发明人： 何海龙 ,  荣命哲 ,  纽春萍 ,  吴翊 ,  任鸿睿 ,  陈晓龙

IPC分类号： G01L21/00 ,  G01L21/12

摘要： 本发明公开了一种基于温差发电器件的真空度测量装置，基于温差发电器件的真空度测量装置中，冷却部分支承于所述真空腔体内，温差发电器件一端层叠于所述冷却部分上，所述温差发电器件包括多对热电臂，当温差发电器件所处位置的真空度改变，引起温差发电器件热阻改变以生成反映真空度的检测数据，热阻块层叠于所述温差发电器件的另一端，热源部分层叠且加热所述热阻块，压力气缸施加压力于所述热源部分。

公开(公告)号：CN114608743A

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202210322002.7

申请日：2022-03-30

申请人： 合肥工业大学

发明人： 曹青 ,  王韩杰 ,  冯中山 ,  孙雷桔 ,  冯博 ,  李雨鑫

IPC分类号： G01L21/12 ,  G06F30/27 ,  G06F119/02

摘要： 本发明涉及一种玻璃真空度检测方法、装置及其服役寿命预测方法。该一种玻璃真空度检测方法，该方法包括以下步骤，获得由绝热材料环绕构成的中空腔体，所述中空腔体内放置有至少一组真空玻璃，所述真空玻璃的表面贴敷有加热源，所述加热源的表面贴敷有过渡板；获得真空玻璃的非加热玻璃片外侧的温度，基于非加热玻璃片外侧的温度，获得真空玻璃的传递总热量；基于真空玻璃的传递总热量，获得真空玻璃夹层的真空度；该玻璃真空度检测方法、装置及其服役寿命预测方法，结构简单，操作方便，使用灵活，便于真空玻璃真空度检测领域推广使用。

公开(公告)号：CN111982393B

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202010874315.4

申请日：2020-08-27

申请人： 天津科技大学

发明人： 王红星 ,  李飞 ,  刘亚男 ,  刘洋 ,  刘伯潭 ,  盖晓龙 ,  杨新创 ,  王贝贝

IPC分类号： G01L21/12 ,  G01L21/34

摘要： 本发明涉及一种实时监测真空仪表，通过独立的远程数据传输模块建立真空仪表与控制设备之间的实时、高可靠性反馈传输通道，缩短设备故障发现及处理的时间，提高设备事故救援的及时性，能够有效提高被监测高真空设备的安全性；本发明另一方面涉及一种真空检测控制方法，通过灵活比对来自不同传输通路的真空度数据能够实时验证所采集数据的真实性和有效性，从而确保真空度监测数据的可靠，减少人工核对步骤，有助于及时发现设备运行问题。

公开(公告)号：CN106153246B

公开(公告)日：2019-08-30

申请号：CN201610301264.X

申请日：2016-05-09

申请人： 株式会社爱发科

发明人： 福原万沙洋 ,  中岛丰昭 ,  宫下刚 ,  齐藤宪

IPC分类号： G01L21/12

摘要： 本发明提供一种所具有的结构可有效抑制由振动和冲击造成的细丝断裂的皮拉尼真空计。本发明的皮拉尼真空计具有设置在外壳(1)内的细丝(6)；保持外壳后侧的气密性的第一端子台(2)；彼此电绝缘并贯穿第一端子台的多个连接端子(31、32)；以及由任意一个连接端子支撑的、长边在前后方向上的第一细丝支撑件(5)。细丝安装在第一细丝支撑件的前端部与其它的连接端子之间。在第一端子台的前侧设置有第二端子台(4)，连接端子由贯穿第一端子台的第一部分(3a)、贯穿第二端子台的第二部分(3b)以及使第一部分和第二部分相互连接的第三部分(3c)构成。设置有将第二端子台和第一细丝支撑件保持在一起的第二细丝支撑件(7)。

公开(公告)号：CN108507717A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201810193621.4

申请日：2018-03-09

申请人： 大连理工大学

发明人： 马永杰 ,  张庆瑜 ,  肖静祎

IPC分类号： G01L21/12

摘要： 本发明属于真空测量技术领域，涉及一种微型真空传感器。该传感器包括衬底、敏感元件、阳极、阴极、电极导线和直流恒流电源；衬底由绝缘绝热的材料制成；敏感元件由钴基镧系钙钛矿材料制成，沉积在衬底上；阳极和阴极分别固定在敏感元件的两端，并通过电极导线分别与直流恒流电源的两极相连。本发明通过测量敏感元件电阻的大小即可间接测量出真空度的大小，由于该装置的尺寸小并且可以在较低电流的驱动下实现测量，无需大体积的真空测量装置以及高电流高电压的测试条件，既安全又便于测量。本发明利用了镧系钴基钙钛矿材料具有的高电阻温度系数的特点，以及绝热衬底对热量保持的优势，实现了微型化的同时，对真空度实现高灵敏度稳定测量。

公开(公告)号：CN106813827A

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201510854955.8

申请日：2015-11-29

申请人： 重庆留鑫玻璃钢制品厂

发明人： 刘青

IPC分类号： G01L21/12

CPC分类号： G01L21/12

摘要： 本发明公布了一种用于真空纤维玻璃密封管件的真空度测量装置，包括手持式的外壳，在外壳内安装有测量电路板，在外壳表面设置有与测量电路板连接的显示屏、电阻规接口、满度调节按钮KS、零点调节按钮KZ、电源按钮Kn。本发明体积缩小到207×103×10mm，整体重量不足1Kg，单手就可轻松拿起，其内部配有锂电池，一次充满电可连续使用6--8小时，可实现多点测量，不需要较长的传感器线，大大提高了使用的便捷性；通过设置满度调节按钮KS、零点调节按钮KZ、电源按钮Kn，可以方便地对测量电路板进行各项调节，而且显示屏可以准确显示出调节的内容和方向，便于操作者的快速调节，很好的实现了双向、快速、准确地调整。

公开(公告)号：CN103376185B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201310268050.3

申请日：2005-03-18

申请人： 英特尔公司

发明人： L·阿拉纳 ,  Y·L·邹 ,  J·赫克

IPC分类号： G01L21/12

CPC分类号： G01L11/002 ,  G01L21/12 ,  G01M3/186 ,  G01M3/3272 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

摘要： 可使用半导体集成电路工艺形成微制造真空传感器。所述传感器可与微制造元件一并形成在外壳内。随后就可使用该传感器测量外壳内的压力。

公开(公告)号：CN103234692A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201310132288.3

申请日：2013-04-17

申请人： 上海祖发实业有限公司

发明人： 姚琪旼

IPC分类号： G01L21/12

摘要： 本发明公开了一种传感型真空度测量装置，包括壳体，所述壳体的两轴向端面上分别设有真空连接口及仪表连接座；所述壳体内设有真空室，该真空室中安装有半导体敏感元件，所述半导体敏感元件与仪表连接座呈桥路电路连接。本发明利用半导体敏感元件在不同的真空度条件下的散热变化，得出相应的桥路电阻变化，由此测量出精确的真空度，不仅电荷传输过程中有非常高的灵敏度，而且工艺简单、抗污染性能好。