公开(公告)号：CN118961049A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411447309.5

申请日：2024-10-16

申请人： 季华实验室

发明人： 刘凯翔 ,  托乎提努尔 ,  胡强 ,  苏艮英 ,  王凤双

IPC分类号： G01L21/00 ,  G01L9/12

摘要： 本申请属于电路测量的技术领域，公开了一种真空计电容传感器的测量电路，该测量电路包括：依次连接的二极管双T型交流电桥电路、多级放大电路、后置滤波电路和ADC采样电路；当被测腔体内的气体压力没有发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于平衡状态，二极管双T型交流电桥电路中无直流电信号产生；当被测腔体内的气体压力发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于不平衡状态，二极管双T型交流电桥电路根据气体压力变化量产生对应的直流电信号；通过测量电路中的二极管双T型交流电桥电路，对被测腔体内的气体压力变化量进行测量，提高了真空计电容传感器的测量电路的测量精度。

公开(公告)号：CN118936688A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202410646391.8

申请日：2024-05-23

申请人： 北京信息科技大学

发明人： 尤睿 ,  姜议蒙 ,  梁密生

IPC分类号： G01L1/14 ,  B29C64/106 ,  B29C64/20 ,  B29C64/314 ,  B29C64/268 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y40/10 ,  C01B32/184 ,  G01L9/12

摘要： 本发明涉及一种全多孔结构超高灵敏度电容式柔性压力传感器，属于微纳加工—传感器技术领域。本发明的目的是为了解决目前电容式传感器灵敏度还不够高以适配微观场景的问题。本发明使用PAA溶液混合CuCl2粉末经过加热获得掺铜的PI膜，通过飞秒激光诱导出多孔的石墨烯，伴随着被还原的铜纳米粒子成为一种二维复合材料，作为电容式压力传感器的两个电极层。然后，再通过用离子液体浸泡pu泡沫作为“三明治”结构的介质层，如此一来，本发明便获得了全结构都为多孔粗糙表面的电容式压力传感器。传感器由于其每一个接触面都为多孔且粗糙的，增大了接触表面积，极大地提升了传感器的灵敏度。

公开(公告)号：CN111807311B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202010284231.5

申请日：2020-04-13

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： C·纳格尔 ,  H·阿特曼 ,  V·森兹

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01L9/12

摘要： 本发明涉及用于电容式传感器设备的微机械构件，其具有衬底(10)；由直接或间接布置在衬底(10)上的第一半导体层和/或金属层(16)形成的固定的第一电极(12)；和相对于第一电极(12)能调节的借助膜片(22)悬置在第一电极(12)上方的第二电极(14)，至少第二电极(14)由第二半导体层和/或金属层(24)形成，第二半导体层和/或金属层布置在第一半导体层和/或金属层(16)的离开衬底(10)指向的侧上，盖装置(26)覆盖膜片(22)，盖装置(26)由第三半导体层和/或金属层(28)形成，其布置在第二半导体层和/或金属层(24)的离开衬底(10)指向的侧上。本发明也涉及电容式传感器设备和用于微机械构件和电容式传感器设备的制造方法。

公开(公告)号：CN113937399B

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202110793927.5

申请日：2021-07-13

申请人： 奥迪股份公司

发明人： S·施陶登迈尔

IPC分类号： H01M50/204 ,  H01M50/244 ,  H01M50/249 ,  H01M10/48 ,  B60L58/10 ,  G01L9/12

摘要： 本发明涉及一种具有至少两个电池单体(20)的电池模块(10)，这些电池单体被作为单体组(11)设置在一个共同的模块壳体中以形成电池模块(10)。在单体组叠(11)中，分别在两个相邻的电池单体(20)之间布置有单体分隔元件(31)，其被设计成根据电池单体(20)的膨胀状态而变形。为了监测膨胀状态，电池模块(10)还包括监测装置(40)，其具有压力传感器(30)，以检测对应于膨胀状态的压力信号。为了电容式地检测压力信号，压力传感器(30)按照平板电容器原理被设计为具有多个层的、压敏的膜。此外，单体分隔元件(31)作为所述膜的各层中的一层构成了用于压力传感器(30)的电介质。

公开(公告)号：CN118706315A

公开(公告)日：2024-09-27

申请号：CN202410355868.7

申请日：2024-03-27

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： J·伯廷格

IPC分类号： G01L9/12 ,  G01L1/14 ,  G01L9/00 ,  G01L19/00

摘要： 本发明涉及一种微机电压力传感器(100)，具有电容式压力传感器元件(101)，电容式压力传感器元件包括基座结构(105)、测量腔(107)和至少一个杠杆结构(111)，借助保护介质(103)覆盖基座结构，测量腔构造在基座结构中，测量腔具有测量膜片(109)，杠杆结构布置在基座结构上，杠杆结构具有杠杆梁(115)，杠杆梁以能翻转的方式悬挂在悬挂元件(113)上，杠杆梁的第一端部(117)固定在测量膜片上，在杠杆梁的第二端部(119)上构造有均衡元件(121)，通过杠杆结构的均衡元件能够均衡通过保护介质(103)施加到测量膜片(109)上的重力(F)。

公开(公告)号：CN118641068A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202411115159.8

申请日：2024-08-14

申请人： 合肥工业大学 ,  浙江欧仁新材料有限公司

发明人： 刘平 ,  刘志 ,  罗颂杰 ,  胡若海 ,  田合雷 ,  马渊明 ,  刘彩霞 ,  张玉刚 ,  黄英 ,  杨晓明 ,  李耀邦 ,  夏厚君

IPC分类号： G01L1/14 ,  G01L9/12 ,  B32B27/30 ,  B32B15/082 ,  B32B15/20 ,  B32B15/085 ,  B32B27/32 ,  B32B33/00 ,  B32B7/12 ,  B32B3/24 ,  B32B3/30 ,  C08L29/04 ,  C08K3/16 ,  C08K5/1565 ,  C09J153/02 ,  C09J11/06 ,  C09J11/08 ,  B29C39/02

摘要： 本发明公开了一种宽环境湿度适应的离电式柔性压力传感器，整体呈类三明治结构，是以离子凝胶介电层为中央层，在离子凝胶介电层上下表面依次对称设置粘结层、柔性电极层、内侧柔性封装层及外侧柔性封装层。本发明制备的离电式柔性压力传感器具有良好的适应环境湿度能力，兼具高灵敏度、高线性度等特性和优异的生物相容性与环境友好性。

公开(公告)号：CN118225307B

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202410660127.X

申请日：2024-05-27

申请人： 南京新力感电子科技有限公司

发明人： 武晨阳

IPC分类号： G01L19/06 ,  G01L19/04 ,  G01L9/12

摘要： 本发明公开了一种集成防护结构的压力传感器及其制备方法，涉及压力传感器技术领域，该压力传感器包括基底，和设于基底上的多个PN结、多个防护结构以及接地结构；多个PN结中至少有部分PN结的一侧边均设有至少一防护结构，防护结构沿着PN结的扩散区域围绕、并形成用于限制PN结向外扩散的防护部，防护部的离子浓度由靠近PN结的一侧向另一侧逐渐降低；其中，每个防护部均通过接地结构接地，利用一侧为高离子浓度的防护部，用于提供最强的电气隔离和防护，阻止载流子非控制性迁移，而另一侧为离子浓度逐渐降低的低离子浓度防护部，以减少对压力传感器整体电容的影响，并维持灵敏度，实现有效的隔离PN结，减小边缘效应和漏电流。

公开(公告)号：CN118443185A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410167603.4

申请日：2024-02-06

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： J·伯廷格

IPC分类号： G01L1/14 ,  G01L1/22 ,  G01L9/12 ,  G01L9/04 ,  G01L1/26 ,  G01L19/00 ,  G01L25/00 ,  G01L27/00

摘要： 本发明涉及一种微机电压力传感器(100)，所述微机电压力传感器具有壳体单元(101)、基座结构(103)、压力传感器元件(105)和偏移测量元件(107)，其中，通过所述壳体单元(101)定义容纳空间(109)，其中，所述基座结构(103)、所述压力传感器元件(105)和所述偏移测量元件(107)布置在所述容纳空间(109)中，其中，所述容纳空间(109)填充有覆盖所述压力传感器元件(105)的保护介质(111)，其中，所述压力传感器元件(105)以相对于所述基座结构(103)能够偏移的方式布置，其中，所述偏移测量元件(107)设立为用于，确定所述压力传感器元件(105)相对于所述基座结构(103)的相对偏移。此外，本发明涉及一种用于校正微机电压力传感器(100)的压力测量值的方法(200)。

公开(公告)号：CN118406194A

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202410429334.4

申请日：2024-04-10

申请人： 华东理工大学

发明人： 殷瑞雪 ,  陈熠轲 ,  张洪波 ,  高阳

IPC分类号： C08F283/00 ,  B29C64/10 ,  B29C65/00 ,  B33Y10/00 ,  C08F220/06 ,  C08F2/48 ,  B33Y70/00 ,  G01L1/14 ,  G01L9/12 ,  B29L31/00

摘要： 本发明提供一种柔性介电层与电容式压力传感器及其制备方法，涉及压力传感器技术领域；柔性介电层包括层叠设置的凸起阵列结构与多孔基底结构；所述多孔基底结构中设置有若干孔隙；所述凸起阵列结构与所述多孔基底结构的材质均为柔性材质。本发明提供的柔性介电层，通过同时引入相连的凸起阵列结构与多孔基底结构，使得该柔性介电层具有复杂的微结构，成为复杂弹性介电层，从而使得该柔性介电层的可压缩性增强，进而有效增加了电容的提升倍数，使得该柔性介电层用于电容式压力传感器后，能够在有效增加电容式压力传感器的响应范围的同时，提高其检测灵敏度。

公开(公告)号：CN113227741B

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN201980085042.0

申请日：2019-12-17

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： T·弗里德里希 ,  K·德塞尔 ,  C·赫尔梅斯

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L9/12 ,  G01L15/00

摘要： 本发明涉及一种微机械传感器装置(1)，包括衬底(2)和边缘层(3)，所述边缘层布置在所述衬底(2)上并且在横向上包围在所述衬底(2)上面的内部区域(IB)；至少一个膜片(4)，所述膜片跨越所述内部区域(IB)并且构造在所述衬底(2)上面的被遮盖的腔(K)；至少一个支撑部(5)，所述支撑部在所述腔(K)内部布置在所述衬底(2)和所述膜片(4)之间并且所述膜片(4)固定在所述边缘层(3)和/或所述至少一个支撑部(5)上，其中，所述支撑部(5)将所述膜片(4)分隔成至少一个通过力作用(p)能运动的测量区域(MB)和至少一个通过所述力作用(p)不能运动的参考区域(RB)，其中，所述衬底(2)和所述膜片(4)在所述腔(K)内部包括在所述测量区域(MB)和参考区域(RB)中的面向彼此的电极(E1；E2)。