公开(公告)号：EP4004962A1

公开(公告)日：2022-06-01

申请号：EP20740177.9

申请日：2020-05-23

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： SCHUBERT, Stefan ,  ZEIDLER, Dirk ,  METALIDIS, Georgo ,  FRITZ, Hans ,  LENKE, Ralf

IPC分类号： H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/28 ,  H01J37/26

公开(公告)号：EP3811394A2

公开(公告)日：2021-04-28

申请号：EP19734307.2

申请日：2019-06-18

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： ZEIDLER, Dirk ,  FRITZ, Hans ,  MÜLLER, Ingo ,  SCHUBERT, Stefan ,  THOMA, Arne ,  MAJOR, András

IPC分类号： H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

公开(公告)号：EP4100986A1

公开(公告)日：2022-12-14

申请号：EP21703394.3

申请日：2021-02-01

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： KAUFMANN, Nicolas ,  ADOLF, Andreas ,  WIECZOREK, Volker ,  RIEDESEL, Christof ,  KÄMMER, Nico ,  SCHUBERT, Stefan

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26

公开(公告)号：EP3861565A1

公开(公告)日：2021-08-11

申请号：EP19782549.0

申请日：2019-09-30

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： ZEIDLER, Dirk ,  RIEDESEL, Christof ,  THOMA, Arne ,  METALIDIS, Georgo ,  JACOBI, Jörg ,  SCHUBERT, Stefan ,  LENKE, Ralf ,  BIHR, Ulrich ,  SAROV, Yanko ,  KURIJ, Georg

IPC分类号： H01J37/317

公开(公告)号：EP4402710A1

公开(公告)日：2024-07-24

申请号：EP22764650.2

申请日：2022-08-31

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： SCHUBERT, Stefan

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/280920130101 ,  H01J2237/2459220130101 ,  H01J2237/281420130101 ,  H01J2237/2446520130101 ,  H01J2237/2449520130101 ,  H01J2237/2457820130101

公开(公告)号：EP4348693A1

公开(公告)日：2024-04-10

申请号：EP22725779.7

申请日：2022-04-26

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： SCHUBERT, Stefan

IPC分类号： H01J37/153 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29

公开(公告)号：EP4066270A1

公开(公告)日：2022-10-05

申请号：EP20812226.7

申请日：2020-11-24

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： SCHUBERT, Stefan ,  SCHUMACHER, Dieter ,  ESSERS, Erik ,  MÜLLER, Ingo ,  THOMA, Arne ,  JACOBI, Jörg ,  BOLSINGER, Wilhelm ,  ZEIDLER, Dirk

IPC分类号： H01J37/04 ,  H01J37/28