公开(公告)号：EP3259292B1

公开(公告)日：2020-04-08

申请号：EP16706819.6

申请日：2016-02-18

申请人： AZ Electronic Materials Luxembourg S.à.r.l. ,  International Business Machines Corporation

发明人： VORA, Ankit ,  HIRAHARA, Eri ,  CHENG, Joy ,  BASKARAN, Durairaj ,  POLISHCHUK, Orest ,  TJIO, Melia ,  PAUNESCU, Margareta ,  SANDERS, Daniel ,  LIN, Guanyang

IPC分类号： C08F293/00 ,  B82Y30/00

公开(公告)号：EP3212714B1

公开(公告)日：2019-03-06

申请号：EP15794100.6

申请日：2015-10-28

申请人： AZ Electronic Materials Luxembourg S.à.r.l.

发明人： WU, Hengpeng ,  YIN, Jian ,  LIN, Guanyang ,  KIM, Jihoon ,  PAUNESCU, Margareta

IPC分类号： C08L53/00 ,  B82Y30/00 ,  C08F8/42 ,  G03F7/038 ,  C08F293/00 ,  B05D3/14 ,  B05D3/02 ,  H01J37/32

公开(公告)号：EP3212714A1

公开(公告)日：2017-09-06

申请号：EP15794100.6

申请日：2015-10-28

申请人： AZ Electronic Materials Luxembourg S.à.r.l.

发明人： WU, Hengpeng ,  YIN, Jian ,  LIN, Guanyang ,  KIM, Jihoon ,  PAUNESCU, Margareta

IPC分类号： C08L53/00 ,  B82Y30/00 ,  C08F8/42 ,  G03F7/038 ,  C08F293/00 ,  C08F230/08

CPC分类号： C09D153/00 ,  B05D3/0209 ,  B05D3/145 ,  B82Y30/00 ,  C08F8/42 ,  C08F230/08 ,  C08F293/005 ,  C08F299/04 ,  C08L53/005 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/038 ,  H01J37/32366 ,  C08F297/02

摘要： The invention also relates to a novel composition comprising the novel polymer and a solvent. The invention further relates to a process utilizing the novel composition for affecting directed self-assembly of the block copolymer.

摘要翻译： 本发明还涉及包含该新型聚合物和溶剂的新型组合物。 本发明还涉及利用该新型组合物影响嵌段共聚物的定向自组装的方法。

公开(公告)号：EP3259292A1

公开(公告)日：2017-12-27

申请号：EP16706819.6

申请日：2016-02-18

申请人： AZ Electronic Materials Luxembourg S.à.r.l. ,  International Business Machines Corporation

发明人： VORA, Ankit ,  HIRAHARA, Eri ,  CHENG, Joy ,  BASKARAN, Durairaj ,  POLISHCHUK, Orest ,  TJIO, Melia ,  PAUNESCU, Margareta ,  SANDERS, Daniel ,  LIN, Guanyang

IPC分类号： C08F293/00 ,  B82Y30/00

摘要： The present invention relates to a novel block copolymer of structure 1, wherein, A- is a block polymer chain, B is a block polymer chain, wherein, A- and B- are chemically different, covalently connected polymer chains, which are phase separable and the moiety X(Y(Z)b)a is a junction group, which comprises a surface active pendant moiety Y(Z)b wherein: a is an integer from 1 to 4 denoting the number of surface active pendant moieties Y(Z)b on X, b is an integer from 1 to 5 denoting the number of Z moieties on the linking moiety Y, X is a linking group between the A polymer block, the B polymer block and the moiety Y, Y is a linking group or a direct valence bond between X and Z; and Z is a moiety independently selected from, a fluorine containing moiety, a Si1-Si8 siloxane containing moiety or a hydrocarbon moiety with at least 18 carbons, and further wherein the junction group X(Y(Z)b)a has a surface energy less than that that of the block A and less than that of the block B. The invention also relates to a composition comprising the novel copolymer and its use in direct self-assembly processes.

公开(公告)号：EP2997058A1

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：EP14729600.8

申请日：2014-05-15

申请人： AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l.

发明人： WU, Hengpeng ,  HONG, SungEun ,  CAO, Yi ,  YIN, Jian ,  PAUNESCU, Margareta ,  THIYAGARAJAN, Muthiah

IPC分类号： C08F220/34 ,  C08F226/10 ,  C08F8/44 ,  C09D133/14 ,  C09D139/06 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/405 ,  C08F8/44 ,  C08F220/34 ,  C08F226/10 ,  C08L2201/54 ,  C09D133/14 ,  C09D139/06 ,  G03F7/0035 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/40 ,  H01L21/0273

摘要： The present invention relates a novel aqueous composition comprising polymeric thermal acid generator and a process of coating the novel composition onto photoresist pattern, thereby forming a layer of the polymeric thermal acid generator over the photoresist pattern. The polymeric thermal acid generator comprises a polymer having at least one repeating unit of structure 2; where R
1 to R
5 are independently chosen from the group consisting of H and C
1 -C
6 alkyl; R
6 is chosen from the group consisting of unsubstituted aryl, substituted aryl, alkyl (C
1 -C
8 ) and fluoroalkyl (C
1 -C
8 ) and W is a C
2 -C
6 alkylene spacer.

摘要翻译： 本发明涉及一种新颖的组合物wässrige包含聚合物热酸产生剂和涂布所述新颖组合物涂敷到光致抗蚀剂图案，由此形成在所述光致抗蚀剂图案中的聚合热酸产生剂的层的处理。 聚合物热酸产生剂包括具有结构2中的至少一种重复单元的聚合物; 其中R 1至R 5unabhängig选自H和C1-C6烷基选择; R6是选自unsubstituiertem芳基，芳基substituiertem，烷基（C1-C8）和氟代（C1-C8）和W的选择是C2-C6亚烷基间隔基。

公开(公告)号：EP2859023B1

公开(公告)日：2017-07-19

申请号：EP13725273.0

申请日：2013-05-14

申请人： AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l.

发明人： WU, Hengpeng ,  POLISHCHUK, Orest ,  CAO, Yi ,  HONG, SungEun ,  YIN, Jian ,  LIN, Guanyang ,  PAUNESCU, Margareta ,  NEISSER, Mark

IPC分类号： C08F4/04 ,  C08F8/14 ,  G03F7/00

CPC分类号： C08F4/04 ,  C07C245/04 ,  C08F8/12 ,  C08F212/08 ,  C08F2800/20 ,  C08F2810/40 ,  G03F7/0002 ,  C08F220/14

公开(公告)号：EP2859023A1

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：EP13725273.0

申请日：2013-05-14

申请人： AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l.

发明人： WU, Hengpeng ,  POLISHCHUK, Orest ,  CAO, Yi ,  HONG, SungEun ,  YIN, Jian ,  LIN, Guanyang ,  PAUNESCU, Margareta ,  NEISSER, Mark

IPC分类号： C08F4/04 ,  C08F8/14 ,  G03F7/00

CPC分类号： C08F4/04 ,  C07C245/04 ,  C08F8/12 ,  C08F212/08 ,  C08F2800/20 ,  C08F2810/40 ,  G03F7/0002 ,  C08F220/14

摘要： The present invention relates to a novel polymeric composition comprising a novel polymer having two or more repeat units and a terminus having the structure (1), wherein R
1 represents a C
1 -C
20 substituted or unsubstituted alkyl group, w is a number from 1-8, X is oxygen(O) or nitrogen (N), and R
d is a reactive group. The invention also relates to a process for forming a pattern using the novel polymeric composition. The invention further relates to a process of making the novel polymer.

摘要翻译： 本发明涉及一种新颖的聚合物组合物，其包含具有两个或更多个重复单元和具有结构（1）一个末端的新型聚合物：R1 worin darstellt一个C1-C20烷基substituiertem奥德unsubstituiertem，w为1-8的数 中，X是氧（O）或氮（N），并且R d是反应性基团。 因此，本发明涉及用于形成使用该新型的聚合物组合物形成图案的方法。 本发明还涉及制备新型聚合的方法。