公开(公告)号：EP2416344B1

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：EP11183110.3

申请日：2006-11-15

申请人： Carl Zeiss Microscopy, LLC

发明人： Edinger, Klaus ,  Markwort, Lars ,  Mantz, Ulrich ,  Ward, Billy W. ,  Notte, John A. ,  Farkas, Louis ,  Percival, Randall ,  Hill, Raymond ,  Aderhold, Dirk

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J9/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/252 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00 ,  H01J27/26 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01J9/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/2566 ,  H01J2237/2623 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/30477 ,  H01J2237/31737 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31755