中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

6 records (took 0.014 seconds)

    ACCELEROMETER WITH FOLDED BEAMS
    1.
    发明公开
    ACCELEROMETER WITH FOLDED BEAMS 审中-公开
    BESCHLEUNIGUNGSMESSER MIT GEFALTETEN BALKEN

    公开(公告)号：EP1311863A4

    公开(公告)日：2003-07-30

    申请号：EP01948555

    申请日：2001-06-21

    Applicant: INPUT OUTPUT INC

    Inventor： SELVAKUMAR ARJUN ,  YU DULI ,  YU LIANZHONG ,  JONES BEN W

    IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01V1/18 ,  G01P15/00 ,  H01L21/20 ,  H01L21/762

    CPC classification number: G01V1/181 ,  B81B3/0072 ,  B81B7/0016 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/053 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814

    Abstract: An accelerometer comprising a measuring mass (1405) for detecting acceleration, including a housing having a cavity, one or more spring mass assemblies (1400) positioned within the cavity, wherein each spring mass assembly (1400) includes a support structure (1410), including one or more resilient folded beams (1415a-1415d) coupled to the support structure (1410) and the measuring mass (1405) is coupled to the resilent folded beams (1415a-1415d), wherein one or more electrode patterns are coupled to the spring mass assembly (1400), wherein a top cap wafer, including a top capacitor electrode, is coupled to the measurement mass (1405), and a bottom cap wafer, including a bottom capacitor electrode, is also coupled to measurement mass (1405).

    Abstract translation: 一种包括用于检测加速度的测量质量体（1405）的加速度计，所述测量质量体包括具有空腔的壳体，位于所述空腔内的一个或多个弹簧质量组件（1400），其中每个弹簧质量组件（1400）包括支撑结构（1410） 包括耦合到支撑结构（1410）的一个或多个弹性折叠梁（1415a-1415d），并且测量质量块（1405）耦合到重新调谐折叠梁（1415a-1415d），其中一个或多个电极图案耦合到 弹簧质量组件（1400），其中包括顶部电容器电极的顶盖晶片耦合到测量质量块（1405），并且包括底部电容器电极的底盖晶片也耦合到测量质量块（1405） 。

    ACCELEROMETER WITH RE-ENTRANT GROOVES
    5.
    发明公开
    ACCELEROMETER WITH RE-ENTRANT GROOVES 审中-公开
    BESCHLEUNIGUNGSMESSER MIT WIEDEREINTRETRILLEN

    公开(公告)号：EP1305639A4

    公开(公告)日：2004-03-24

    申请号：EP01939582

    申请日：2001-05-29

    Applicant: INPUT OUTPUT INC

    Inventor： RIED ROBERT P ,  SELVAKUMAR ARJUN ,  GOLDBERG HOWARD D ,  SCHMIDT MARTIN A ,  YU LIANZHONG

    IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01V1/18 ,  G01P15/00 ,  G01P1/00

    CPC classification number: G01V1/181 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125

    Abstract: An accelerometer (305) which comprises a measurement mass assembly having top capacitor electrode (705), with one or more re-entrant openings or grooves (1405), a bottom capacitor electrode (805), with one or more re-entrant openings (1410), and/or a mass electrode pattern (910, 915), which also includes one or more re-entrant openings or grooves (1415, 1420). A re-entrant opening or groove is an opening or groove formed in an element whereby the opening or groove is larger toward the center of the element than at the surface of the element. Re-entrant openings or grooves (1405, 1410, 1415, 1420) reduce fluid damping thereby reducing the amount of thermo-mechanical noise and permit increased sealing pressure of the accelerometer (305) thereby lowering manufacturing costs and increasing production yields.

    Abstract translation: 包括具有顶部电容器电极（705），一个或多个凹入开口或凹槽（1405），底部电容器电极（805）的测量质量组件的加速度计（305），具有一个或多个凹入开口 和/或质量电极图案（910,915），其还包括一个或多个凹入开口或凹槽（1415,1420）。 凹入开口或凹槽是在元件中形成的开口或凹槽，由此开口或凹槽朝向元件的中心比在元件的表面处更大。 凹入开口或凹槽（1405,1410,1415,1420）减少流体阻尼，从而减少热机械噪声的量并允许加速度计（305）的增加的密封压力，从而降低制造成本并提高产量。

Patent Agency Ranking