公开(公告)号：EP2181978A1

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：EP09170261.3

申请日：2009-09-15

申请人： Micro Systems Engineering GmbH

发明人： Schwanke, Dieter ,  Harnack, Mirco ,  Bittner, Achim ,  Schmid, Ulrich

IPC分类号： C04B41/91 ,  C03C15/00 ,  H01Q1/38 ,  H05K1/03 ,  C03C17/00

CPC分类号： C03C15/00 ,  C03C17/02 ,  C03C17/28 ,  C03C17/34 ,  C03C17/38 ,  C03C2218/113 ,  C03C2218/116 ,  C03C2218/119 ,  C03C2218/31 ,  C04B41/009 ,  C04B41/52 ,  C04B41/89 ,  C04B2111/00844 ,  H01Q1/38 ,  H05K1/024 ,  H05K1/0306 ,  H05K2201/0116 ,  H05K2201/0195 ,  H05K2203/1147 ,  C04B41/4582 ,  C04B41/5023 ,  C04B41/5353 ,  C04B41/4539 ,  C04B41/5022 ,  C04B41/4537 ,  C04B41/522 ,  C04B41/488 ,  C04B35/00

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein keramisches Substratmaterial mit einer ersten Schicht und mindestens einer weiteren, zumindest bereichsweise auf der ersten Schicht angeordneten zweiten Schicht, wobei die erste Schicht aus mindestens einer ersten Komponente aus einem kristallinen Keramikmaterial und/oder einem Glasmaterial als Matrix besteht, wobei die erste Schicht eine zweite Komponente aus einem weiteren kristallinen Keramikmaterial enthält, wobei Mantelbereiche der Kristalle und/oder Kristallagglomerate der zweiten Komponente mindestens bereichsweise derart herausgeätzt sind, dass eine Hohlraumstruktur, vorzugsweise in Form einer Poren- und/oder Röhrenstruktur vorliegt. Um auf die Hohlraumstruktur Dünnschicht-Strukturen aufbringen zu können, ist die zweite Schicht als Versiegelungsschicht ausgebildet, welche die Oberfläche der ersten Schicht in den Bereichen versiegelt, auf denen sie angeordnet ist.

摘要翻译： 陶瓷基板材料包括第一层（10）和在区域方式的方式，在设置在第一层上的第二层，其中第一组分的第一层besteht由结晶陶瓷材料和/或玻璃材料制成，并且包含一第二 由另外的结晶陶瓷材料的组成部分。 结晶和/或第二组分的附聚物结晶的侧面区域中蚀刻出到区域方式的方式，如此做了一个空腔结构（12）呈现的孔结构和/或管状结构的形式。 第二层形成为（14）的密封层。 陶瓷基板材料包括第一层（10）和在区域方式的方式，在设置在第一层上的第二层，其中第一组分的第一层besteht由结晶陶瓷材料和/或玻璃材料制成，并且包含一第二 由另外的结晶陶瓷材料的组成部分。 结晶和/或第二组分的附聚物结晶的侧面区域中蚀刻出到区域方式的方式，如此做了一个空腔结构（12）呈现的孔结构和/或管状结构的形式。 第二层形成为密封第一层的表面上，具有5微米的层厚度，包含有机材料，陶瓷材料和/或玻璃材料的密封层（14）：如聚酰亚胺，并通过屏幕产生 印刷过程中，旋涂法或溶胶 - 凝胶过程。 蚀刻的空腔结构仅呈现在所述第一层的预定区域和在所述第一层的预定深度一直达到。 第一层与由低温共烧陶瓷技术的第三层一起生产。 金属化层存在的密封层上，通过薄层技术产生并从空心与中空空腔结构中至多在区域permeably运行区域而不腔结构。 一个独立的claimsoft包括用于制造陶瓷基板材料的方法。

公开(公告)号：EP2055374A3

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：EP08164327.2

申请日：2008-09-15

申请人： Micro Systems Engineering GmbH

发明人： Schwanke, Dieter ,  Harnack, Mirco ,  Bittner, Achim ,  Schmid, Ulrich

IPC分类号： B01J19/00

CPC分类号： B01J19/0093 ,  B01J2219/00788 ,  B01J2219/00824 ,  B01J2219/00831 ,  B01J2219/00835 ,  B01J2219/00844 ,  B01J2219/00873 ,  B01J2219/00957 ,  B01J2219/00959

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Mikroreaktor, der ein Substrat (10, 20, 80) mit einer Hohlraumstruktur und mindestens ein auf und/oder in der Hohlraumstruktur angeordnetes katalytisch aktives Material aufweist. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass das Substrat (10, 20, 80) eine erste Schicht (11, 21, 80) und ggf. mindestens eine weitere Schicht (12, 22) aus einem keramischen Material aufweist, wobei die erste Schicht (11, 21, 80) aus mindestens einer ersten Komponente aus einem kristallinen Keramikmaterial und/oder einem Glasmaterial als Matrix und einer zweiten Komponente aus einem weiteren kristallinen Keramikmaterial enthält. Die Hohlraumstruktur (14, 24, 84) ist dadurch gebildet, dass Mantelbereiche der Kristalle und/oder Kristallagglomerate der zweiten Komponente in der ersten Schicht (11, 21, 80) mindestens bereichsweise herausgeätzt sind. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Mikroreaktors sowie ein Verfahren zu Herstellung eines Substrats für einen derartigen Mikroreaktor.

公开(公告)号：EP2548734A1

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：EP12173735.7

申请日：2012-06-27

申请人： Micro Systems Engineering GmbH ,  Technische Universität Wien

发明人： Haas, Thomas ,  Schwanke, Dieter ,  Bittner, Achim ,  Schmid, Ulrich

IPC分类号： B32B18/00

CPC分类号： H01L23/49822 ,  B32B18/00 ,  C03C15/00 ,  C04B2235/656 ,  C04B2237/32 ,  C04B2237/64 ,  C04B2237/68 ,  C04B2237/704 ,  H01L21/4807 ,  H01L23/473 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T428/249953 ,  H01L2924/00

摘要： Es wird ein einfaches und kostengünstiges Verfahren zur Herstellung einer keramischen Mehrlagenanordnung unter Verwendung einer ersten Grünfolie (1) enthaltend ein keramisches Material mit den folgenden Schritten angegeben:
a) Erzeugen mindestens eines von der Oberfläche der ersten Grünfolie (1) ausgehenden porösen Bereichs (8) in der ersten Grünfolie (1),
b) abschnittsweises Aufbringen einer ersten Schicht (10) auf die Oberfläche der ersten Grünfolie (1), wobei ein Abschnitt der ersten Schicht (10) oberhalb des in Schritt a) erzeugten mindestens einen porösen Bereichs (8) angeordnet ist,
c) Anordnung mindestens einer weiteren Grünfolie (12) auf der mit der Glasschicht (10) versehenen Oberfläche der ersten Grünfolie (1),
d) Laminieren der ersten Grünfolie (1) und der mindestens einen weiteren Grünfolie (12) zur Bildung eines Grünfolienverbunds,
e) Sintern des Grünfolienverbunds.
Ferner wird eine keramische Mehrlagenanordnung herstellbar nach dem obigen Verfahren erläutert.

摘要翻译： 该方法包括在绿色膜中制造多孔区域，并且提供陶瓷膜（21,22），其中多孔区域从绿色膜的表面延伸。 将一层施加到绿膜的表面，其中层的一部分位于多孔区域上方。 另外的绿色膜位于其上施加有层的绿色膜的表面上。 将绿色膜和附加的绿色膜层压以形成绿色膜复合材料，其中烧结绿色膜复合材料。

公开(公告)号：EP2055374A2

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：EP08164327.2

申请日：2008-09-15

申请人： Micro Systems Engineering GmbH

发明人： Schwanke, Dieter ,  Harnack, Mirco ,  Bittner, Achim ,  Schmid, Ulrich

IPC分类号： B01J19/00

CPC分类号： B01J19/0093 ,  B01J2219/00788 ,  B01J2219/00824 ,  B01J2219/00831 ,  B01J2219/00835 ,  B01J2219/00844 ,  B01J2219/00873 ,  B01J2219/00957 ,  B01J2219/00959

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Mikroreaktor, der ein Substrat (10, 20, 80) mit einer Hohlraumstruktur und mindestens ein auf und/oder in der Hohlraumstruktur angeordnetes katalytisch aktives Material aufweist. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass das Substrat (10, 20, 80) eine erste Schicht (11, 21, 80) und ggf. mindestens eine weitere Schicht (12, 22) aus einem keramischen Material aufweist, wobei die erste Schicht (11, 21, 80) aus mindestens einer ersten Komponente aus einem kristallinen Keramikmaterial und/oder einem Glasmaterial als Matrix und einer zweiten Komponente aus einem weiteren kristallinen Keramikmaterial enthält. Die Hohlraumstruktur (14, 24, 84) ist dadurch gebildet, dass Mantelbereiche der Kristalle und/oder Kristallagglomerate der zweiten Komponente in der ersten Schicht (11, 21, 80) mindestens bereichsweise herausgeätzt sind. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Mikroreaktors sowie ein Verfahren zu Herstellung eines Substrats für einen derartigen Mikroreaktor.

摘要翻译： 陶瓷材料;在所述第一层和第二层微反应器包括基板（10,20）（12，22 11，21）。 所述第一层（11，21）包括结晶陶瓷和/或在其基质玻璃。 它包括一个另外的结晶陶瓷。 空腔结构（14，24）形成检查做的晶体和/或在所述第一层（11，21）的第二组分的附聚物结晶的壁区域中至少局部地被蚀刻出。 中空的腔室结构是一种孔隙或管结构（即它具有孔隙率）。 在中空的腔室结构布置的催化材料涂覆到或通过从气相沉积而沉积到它。 铂，钯，镍和铑：所述催化剂是选自。 蚀刻的中空的腔室结构只存在于所述第一层的预定区域，并在达到预定的深度。 所述第二组分包含的Al 2 O 3crystallites和/或不同的结晶化合物。 高达40体积的它％被包含在基质中。 在壁区域中的晶体和/或结晶的附聚物优选含有硅和/或铅。 基板具有第二层。 的一阶和至少一个第二层使用LTCC（低温共烧陶瓷）技术制造。 加热器被包括在上面或在第一层中的中空结构下方的层。 在中空结构，其中反应发生，转换为离析物成的产品的壁，所述离析物被导致流过该位置。 提供该装置的进一步的细节。 化学传感器被包括以测量转化过程的产率。 一个独立的claimsoft包括用于使相应的微反应器和它的底物的方法。