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    Method and circuit for detecting displacements using microelectromechanical sensors with compensation of parasitic capacitances
    2.
    发明公开
    Method and circuit for detecting displacements using microelectromechanical sensors with compensation of parasitic capacitances 有权
    方法和电路，用于检测使用微机电传感器的位移与寄生电容的补偿

    公开(公告)号：EP1278068A2

    公开(公告)日：2003-01-22

    申请号：EP02015859.8

    申请日：2002-07-16

    申请人： STMicroelectronics S.r.l. ,  Hewlett-Packard Company

    发明人： Lasalandra, Ernesto ,  Ungaretti, Tommaso ,  Baschirotto, Andrea

    IPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/13

    CPC分类号： G01D5/2417 ,  G01D3/066 ,  G01D5/24 ,  G01P15/125 ,  G01P15/131 ,  G01P2015/0814

    摘要： A method for detecting displacements of a micro-electromechanical sensor (101) including a fixed body (3) and a mobile mass (4), forming at least a first sensing capacitor (107) and a second sensing capacitor (108), which are connected to a first input terminal (102) and, respectively, to a first output terminal (104) and to a second output terminal (105) of the sensing circuit and have a rest common sensing capacitance (Cs). The method includes the steps of: closing a first negative-feedback loop (136), which comprises the first sensing capacitor (107) and the second sensing capacitor (108) and a differential amplifier (124); supplying to at least one input (124b) of the differential amplifier (124) a staircase sensing voltage (Vs) through driving capacitors (121, 122) so as to produce variations (ΔVc) of an electrical driving quantity (Vc) which are inversely proportional to the common sensing capacitance (Cs); and driving the sensor (101) with the electrical driving quantity (Vc) .

    摘要翻译： 一种用于检测包括固定体（3）和移动块（4）的微机电传感器（101）的位移，形成至少一个第一感测电容器（107）和第二传感电容器（108），其方法 分别连接到第一输入端子（102）和，第一输出端子（104）和所述感测电路的第二输出端（105）和具有一个休息公共感测电容（CS）。 该方法包括如下步骤：关闭第一负反馈回路（136），其包括第一感测电容器（107）和第二感测电容器（108）和差分放大器（124）; 供给到差分放大器（124）的阶梯感测电压（Vs）通过驱动电容器（121，122），以便产生一个电驱动量的变化（DELTA Vc）的（VC），这些中的至少一个输入端（124B） 成反比公共感测电容（Cs）等 和驱动该传感器（101）与所述电驱动量（Vc）的。