摘要:
L'invention concerne les dispositifs à transfert de charges constitués sous forme de registres à décalage, et plus précisément ceux qui fonctionnent selon le mode MPP (Multi-Pinned Phase), c'est-à-dire avec polarisation négative forte des électrodes pendant les phases d'attente ou d'intégration de charges photosensibles. Ces registres utilisent une barrière de potentiel créée par une implantation de compensation P dans une zone 16 située sous une première électrode de chaque étage du registre. Cette barrière sépare les étages les uns des autres. Pour augmenter la capacité de stockage de charges pendant la phase d'intégration et la capacité de transfert de charges pendant le transfert, on prévoit que l'implantation de compensation de la zone 16 s'étend sous une partie seulement (et non sous la totalité) de la première électrode de chaque étage du registre. Application aux capteurs d'image photosensibles, aux lignes à retard analogiques, aux mémoires analogiques à transfert de charges, fonctionnant en mode MPP pendant les phases d'attente pour limiter les pertes d'informations dues au courant d'obscurité.
摘要:
Le dispositif selon -l'invention comporte des grilles transparentes, dont les parois latérales sont en siliciure (6), et qui, hormis ces parois latérales, sont constituées de silicium polycristallin (3).
摘要:
Le procédé consiste à déposer sur un substrat en silicium (1) une première couche (2) d'un matériau diélectrique puis à déposer au-dessus de cette première couche (2) une deuxième couche de silicium polycristallin (3), à graver par une photolithogravure la deuxième couche de silicium (3) pour mettre à nu la couche diélectrique (2) sur deux zones, une première zone (4) définissant l'espace de formation de la diode, une deuxième zone (6) définissant une zone de canal en volume, une troisième zone définissant le canal en surface étant protégée par le silicium restant, à implanter des impuretés dans la zone canal de transfert en volume (6) et à masquer la zone canal de transfert en volume (6) en laissant découverte la zone réservée à la diode (4) pour mettre à nu le substrat dans la zone réservée à la diode et à déposer une deuxième couche (8) de silicium polycristallin sur l'ensemble formé par la partie mise à nu du substrat, la deuxième couche de silicium (8) et le diélectrique (2) et à graver la deuxième ou les deux couches (8 et 3) de silicium pour former la grille. Application : matrice à transfert de trame et composants opto-électroniques.
摘要:
La présente invention concerne un procédé de fabrication de grilles pour circuit intégré réalisé sur un substrat semi-conducteur (1) en silicium, recouvert d'au moins une couche d'oxyde (2), d'une couche de silicium polycristallin (3), et éventuellement d'une couche de siliciure. Ce procédé comporte les étapes suivantes:
1°) on dépose successivement une couche de nitrure de silicium (4) et une couche d'oxyde de silicium (5); 2°) on réalise des ouvertures (7) dans ces deux couches par photo-l i thogravure; 3°) on élimine partiellement par désoxydation la couche d'oxyde de silicium (5) de façon à mettre à nu la couche de nitrure (4) sur une certaine distance (1) qui détermine l'écartement entre deux grilles consécutives; 4°) on fait croître de l'oxyde (8) dans les ouvertures (7) réalisées au cours de la deuxième étape; 5°) on élimine les zones de nitrure (4) découvertes au cours de la troisième étape, ainsi que l'éventuelle couche de siliciure et la couche de silicium (3) polycristallin sous-jacentes.
Application à la fabrication de grilles faiblement espacées, utilisées par exemple dans les dispositifs à transfert de charge.
摘要:
dispositif anti-éblouissement est commun à deux canaux voisins (C 1 et C 2 ). Il est constitué de deux grilles (G 1 et G 2 ) qui sont situées sur les bords voisins des deux canaux (C 1 et C 2 ) et entre lesquelles est implantée une diode d'évacuation des charges (D). Ces grilles (G 1 et G 2 ) sont obtenues en même temps que deux autres grilles (G 3 et G 4 ) qui sont situées sur les bords externes des deux canaux (C 1 et C 2 ) et qui délimitent les bords de ces canaux. L'invention s'applique aux dispositifs photosensibles à transfert de charge, du type à transfert de trame et à transfert de ligne notamment.
摘要:
La présente invention a pour objet un dispositif d'injection d'électrons dans un tube électronique (1) qui comporte : un barreau (3) supraconducteur dont une première extrémité (31) débouche dans le tube (1), et des moyens d'alimentation électrique (4). Le barreau (3) joue le rôle d'une cathode. Deux anodes, principale (6) et secondaire (7), sont disposées dans le tube (1), respectivement là où sont recueillis les électrons, et là où débouche la première extrémité (31) du barreau (3). Les moyens d'alimentation électrique (4) assurent l'application de deux tensions, principale et secondaire. Des électrons sont accélérés le long du barreau (3) grâce aux deux tensions et acquièrent une énergie cinétique au moins égale à l'énergie d'extraction du supraconducteur, et sont ainsi éjectés hors du barreau (3).
摘要:
L'invention concerne un dispositif à transfert de charges dans lequel, lors de la fabrication, une électrode supérieure (6) ne recouvre pas entièrement un espace (51, 52) séparant deux électrodes inférieures (3, 3'). La zone (52) ainsi laissée libre est comblée par un matériau conducteur (9) de même type que l'électrode supérieure (6). Le procédé de réalisation de l'invention permet une fabrication simple sans contrainte de mise en position des masques de fabrication des électrodes. Il permet une fabrication sans recouvrement des électrodes supérieures et inférieures, ce qui permet de diminuer les capacités parasites.