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    SONDE POUR MICROSCOPIE A FORCE ATOMIQUE MINIATURISEE ET A FAIBLE ENCOMBREMENT
    1.
    发明公开
    SONDE POUR MICROSCOPIE A FORCE ATOMIQUE MINIATURISEE ET A FAIBLE ENCOMBREMENT 审中-公开
    低尺寸微型化原子力显微镜探针

    公开(公告)号：EP3312616A1

    公开(公告)日：2018-04-25

    申请号：EP17197070.0

    申请日：2017-10-18

    申请人： Vmicro ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  Université de Lille 1 Sciences et Technologies

    发明人： WALTER, Benjamin ,  FAUCHER, Marc ,  MAIRIAUX-MAGE, Estelle

    IPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q70/10

    CPC分类号： G01Q20/02 ,  G01Q10/045 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10

    摘要： Sonde pour microscopie à force atomique comprenant une pointe pour microscopie à force atomique (PT1) orientée dans une direction longitudinale (y), caractérisée en ce que :
    - la pointe est agencée à une extrémité d'une partie sensible de la sonde (SMS), mobile ou déformable, reliée à une structure de soutien (SMM2), qui est ancrée à la surface principale du substrat ;
    - la partie sensible et la structure de soutien sont des éléments planaires, s'étendant principalement dans des plans parallèles à la surface principale du substrat;
    - la partie sensible est reliée à la structure de soutien par l'intermédiaire d'au moins un élément (ET1 - ET4) permettant à ladite partie sensible de se déplacer ou de s'étirer dans cette direction ; et
    - la pointe, la partie sensible et la structure de soutien font saillie d'un bord (B) du substrat dans ladite direction longitudinale.
    Microscope à force atomique comprenant au moins une telle sonde.

    摘要翻译： 一种用于原子力显微镜的探针，其包括沿纵向方向（y）取向的用于原子力显微镜的尖端（PT1），其特征在于： - 尖端布置在探针敏感部分（SMS）的一端， 移动的或可变形的，连接到支撑结构（SMM2），该支撑结构锚定到基底的主表面; 敏感部分和支撑结构是平面元件，主要在平行于基板主表面的平面中延伸; 敏感部分通过至少一个元件（ET1-ET4）连接到支撑结构，使得所述敏感部分在该方向上移动或拉伸; 并且尖端，敏感部分和支撑结构沿所述纵向方向从基板的边缘（B）突出。 包括至少一个这样的探针的原子力显微镜。

    DISPOSITIF ET SYSTEME MICROELECTROMECANIQUE AVEC TRANSDUCTEUR RESISTIF A FAIBLE IMPEDANCE
    4.
    发明公开
    DISPOSITIF ET SYSTEME MICROELECTROMECANIQUE AVEC TRANSDUCTEUR RESISTIF A FAIBLE IMPEDANCE 审中-公开
    微机电设备和系统与具有弱阻抗转换器

    公开(公告)号：EP3159703A1

    公开(公告)日：2017-04-26

    申请号：EP16193853.5

    申请日：2016-10-14

    申请人： Vmicro ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

    发明人： WALTER, Benjamin ,  FAUCHER, Marc

    IPC分类号： G01Q10/04 ,  B81B3/00 ,  G01Q20/04

    CPC分类号： B81B3/0045 ,  B81B3/0021 ,  B81B3/0024 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/02 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0118 ,  G01P15/123 ,  G01Q10/045 ,  G01Q20/04

    摘要： Dispositif microélectromécanique comprenant une structure mécanique (P1) s'étendant principalement selon une direction longitudinale (x), reliée à un substrat planaire (S) par au moins un ancrage (APLM, APLM2) situé à l'une de ses extrémités et susceptible de fléchir dans un plan parallèle au substrat, ladite structure mécanique comprenant une portion de raccord, qui la relie audit ou à chaque dit ancrage et qui inclut une région résistive (R1) présentant une première (PL1M1) et une deuxième (12) zone d'injection d'un courant électrique pour former un transducteur résistif, ladite région résistive s'étendant principalement dans ladite direction longitudinale à partir dudit ou d'un dit ancrage et étant agencée de telle sorte qu'une flexion de ladite structure mécanique dans ledit plan parallèle au substrat induise dans ladite région résistive une contrainte moyenne non nulle et réciproquement; caractérisé en ce que : ladite première zone d'injection est portée par ledit ancrage ; et ladite deuxième zone d'injection est portée par un élément conducteur non fixé audit substrat et s'étendant principalement dans une direction dite latérale, sensiblement perpendiculaire à ladite direction longitudinale.

    摘要翻译： 一种微机电装置，包括一机械结构沿纵向方向延伸，通过在锚固位于其端部中的一个，并能够在平行于基板的平面内弯曲地连接到平面基底，所述机械结构包括接合部分，其离开它 到每个锚固和包括电阻区域呈现第一和第二区，用于电流注入以形成电阻换能器，所述阻性区域从在锚固在纵向方向上延伸并且布置为机械结构的在平行于平面的弯曲 基板诱导在电阻区，反之亦然非零平均应变; worin：第一喷射区由锚固承载; 和第二注入区是由不固定于基板，并在方向上延伸的导电元件，基本上垂直于纵向方向横向称之携带。

    SONDE POUR MICROSCOPIE A FORCE ATOMIQUE
    7.
    发明公开
    SONDE POUR MICROSCOPIE A FORCE ATOMIQUE 审中-公开
    RASTERKRAFTMIKROSKOPIESONDE

    公开(公告)号：EP2150799A1

    公开(公告)日：2010-02-10

    申请号：EP08805499.4

    申请日：2008-04-23

    申请人： Centre National de la Recherche Scientifique ,  UNIVERSITE DE BORDEAUX I

    发明人： FAUCHER, Marc ,  BUCHAILLOT, Lionel ,  AIME, Jean-Pierre ,  LEGRAND, Bernard Louis Amand ,  COUTURIER, Gérard

    IPC分类号： G01N13/16 ,  G12B21/08

    CPC分类号： G01Q20/04 ,  G01Q30/12 ,  G01Q60/32 ,  G01Q60/38

    摘要： The invention relates to an atomic force microscopy probe (SM) including a micromechanical resonator (RMM) and a tip for atomic force microscopy (P1) protruding from said resonator, characterised in that it also comprises a means (EL1) for selectively exciting an oscillation mode of the volume of said resonator (RMM), and in that said tip for atomic force microscopy (P1, P1') protrudes from said resonator substantially in correspondence with a ventral point (PV1) of said volume oscillation mode. The invention also relates to an atomic force microscope including such a probe (SM'), and to an atomic force microscopy method involving the use of such a probe.

    摘要翻译： 一种用于原子力显微镜（SM）的探针，其包括微机械谐振器（RMM）和从所述谐振器突出的用于原子力显微镜（P1）的尖端，所述探针的特征在于：其还包括用于选择性地激发体积的装置（EL1） 所述谐振器（RMM）的振荡模式; 并且所述用于原子力显微镜（P1，P1'）的所述尖端基本上与所述体积振荡模式的波腹点（PV1）相对应地从所述谐振器突出。 包括这种探针（SM'）的原子力显微镜。 包括使用这种探针的原子力显微镜的方法。