INTERFEROMETRIC IMAGING SYSTEM
    2.
    发明公开
    INTERFEROMETRIC IMAGING SYSTEM 失效
    干涉成像系统。

    公开(公告)号:EP0419517A1

    公开(公告)日:1991-04-03

    申请号:EP89906596.0

    申请日:1989-05-24

    发明人: DULMAN, Lev

    IPC分类号: G01B11 G01N21 G06T1

    摘要: Un système de contrôle de qualité permet une comparaison de haute résolution à haute vitesse et en temps réel de la forme tridimensionnelle d'un échantillon (201) avec un étalon (203). Le système comprend un analyseur d'échantillons (103), un analyseur d'étalons (105), un comparateur (107), une unité de commande (101) et une mémoire de position (109). L'analyseur d'échantillons comprend un dispositif d'imagerie d'échantillons (111), un scanner d'échantillons (113) et un transducteur d'échantillons (115). L'analyseur d'étalons comprend un dispositif d'imagerie d'étalons (117), un scanner d'étalons (119) et un transducteur d'étalons (121).

    Porte échantillon pour un ellipsomètre spectroscopique à haute résolution latérale
    4.
    发明公开
    Porte échantillon pour un ellipsomètre spectroscopique à haute résolution latérale 失效
    样本载体具有高横向分辨率光谱椭偏仪。

    公开(公告)号:EP0266814A1

    公开(公告)日:1988-05-11

    申请号:EP87201919.5

    申请日:1987-10-07

    IPC分类号: G01N21/21 G01N21/03

    摘要: Ellipsomètre spectroscopique comportant un dispositif d'éclairement présentant un point focal d'éclairement (Fʹ₂) d'une surface d'un échantillon (E) selon un angle d'incidence donné, et un dispositif d'analyse de la lumière réfléchie par la surface de l'échantillon.
    Le porte-échantillon comporte trois platines de translation (20,30,40), selon trois directions respectivement (T₂, T₃, T₁).
    Les translations selon les premières (T₁) et deuxième (T₂) directions permettent de réaliser des cartographies de l'échantillon (E), alors que la translation selon la troisième direction (T₃) permet de placer un point de la surface de l'échantillon (E) en coïncidence avec le point focal (Fʹ₂). Deux platines tournantes (PT₂, 12) autour d'axes respectivement ϑ₁ et ϑ₂ parallèles aux première (T₁) et deuxième (T₂) directions et se coupant audit point focal (Fʹ₂) permettent d'orienter l'échantillon (E) par rotation dans deux plans orthogonaux autour dudit point focal (Fʹ₂). Application à l'ellipsomètre résolue spatialement.

    DIFFERENTIAL SCAN IMAGING SYSTEMS AND METHODS
    6.
    发明公开
    DIFFERENTIAL SCAN IMAGING SYSTEMS AND METHODS 审中-公开
    差分采样技术和成像系统及其方法

    公开(公告)号:EP2697627A1

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:EP12771262.8

    申请日:2012-03-30

    申请人: LI-COR, INC.

    发明人: BOUZID, Ahmed

    IPC分类号: G01N21/64

    摘要: Systems and methods for producing background-reduced fluorescence imaging signals include an illumination system that provides illumination light from an illumination source to a targeted area on the sample platform, a sensor adapted to detect light and having an array of sensing locations, and collection optics arranged and configured to project light emanating from the sample platform onto the sensor. In typical operation, light from the targeted area is projected onto a first portion of the sensor comprising a first plurality of the sensing locations and light from proximal to the targeted area on the platform is projected onto a second portion of the sensor comprising a second plurality of the sensing locations, and a second signal detected by the second portion of the sensor is subtracted from a first signal detected by the first portion of the sensor to produce a background-reduced signal, e.g., a signal with reduced background related noise.