公开(公告)号：EP3103138B1

公开(公告)日：2024-07-03

申请号：EP15714453.6

申请日：2015-03-30

IPC分类号： H01L21/60 ,  H01L21/50 ,  H01L23/498 ,  H01L23/10 ,  H01L23/488 ,  H01L23/473

CPC分类号： H01L23/10 ,  H01L23/473 ,  H01L23/49833 ,  H01L21/50 ,  H01L24/29 ,  H01L24/32 ,  H01L24/33 ,  H01L24/75 ,  H01L24/83 ,  H01L2224/2911120130101 ,  H01L2224/2911620130101 ,  H01L2224/2933920130101 ,  H01L2224/3222520130101 ,  H01L2224/3318120130101 ,  H01L2224/75320130101 ,  H01L2224/8319220130101 ,  H01L2224/8343920130101 ,  H01L2224/8344420130101 ,  H01L2224/8344720130101 ,  H01L2224/838220130101 ,  H01L2224/838420130101 ,  H01L2924/1025320130101 ,  H01L2924/1027220130101 ,  H01L2924/1032920130101 ,  H01L2924/103320130101 ,  H01L2924/1519220130101 ,  H01L2924/1615220130101 ,  H01L2924/1623520130101 ,  H01L2924/1625120130101 ,  H01L2924/1678720130101 ,  H01L2924/167920130101 ,  H01L2924/16520130101 ,  H01L2224/2929420130101 ,  H01L23/3735