公开(公告)号：EP0063586B1

公开(公告)日：1987-03-11

申请号：EP81902996.8

申请日：1981-10-26

申请人： R F MONOLITHICS, INC.

发明人： HARTMANN, Clinton S.

IPC分类号： H03H9/25 ,  H03H9/64

CPC分类号： H03H9/14552 ,  H03H9/02653 ,  H03H9/14541

摘要： Surface wave device which includes a substrate (12) having a pi ezoelectric surface (14), an acoustic surface wave transducer (16 and 18) for converting between an electrical signal and acoustic surface waves propagating on the piezoelectric surface and reflective structures (22) which cause reflections of acoustic surface waves in the portion of the piezoelectric surface over which the transducer is disposed. Numerous kinds of reflective structures are disclosed. An acoustic surface wave resonator using the present invention is disclosed, along with bandpass filters with multiple poles. A low-loss transversal filter using the present invention is also disclosed.

公开(公告)号：EP0063586A4

公开(公告)日：1984-03-26

申请号：EP81902996

申请日：1981-10-26

申请人： RF MONOLITHICS

发明人： HARTMANN CLINTON S

IPC分类号： H03H3/08 ,  H03H9/02 ,  H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H03H9/64

CPC分类号： H03H9/14552 ,  H03H9/02653 ,  H03H9/14541

摘要： Surface wave device which includes a substrate (12) having a pi ezoelectric surface (14), an acoustic surface wave transducer (16 and 18) for converting between an electrical signal and acoustic surface waves propagating on the piezoelectric surface and reflective structures (22) which cause reflections of acoustic surface waves in the portion of the piezoelectric surface over which the transducer is disposed. Numerous kinds of reflective structures are disclosed. An acoustic surface wave resonator using the present invention is disclosed, along with bandpass filters with multiple poles. A low-loss transversal filter using the present invention is also disclosed.

公开(公告)号：EP0722628A1

公开(公告)日：1996-07-24

申请号：EP94929895.0

申请日：1994-09-30

申请人： E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY

发明人： CHU, David, Ko-Tai

IPC分类号： G02F1 ,  G06G7 ,  H03H9

CPC分类号： H03H9/42 ,  G06G7/195 ,  H03H9/02653

摘要： Devices for controlling high frequency signals such as optic or electric signals are disclosed which utilize guided and/or reflected surface acoustic waves. The devices preferably use crystalline substrates modified (e.g., by ion exchange to increase mass density) to contain acoustic reflectors and/or continuous acoustic waveguiding channels (optionally, in combination with optical features such as optical waveguiding channels) and interdigital transducers deposited thereon to provide frequency generation (and reception where high frequency electrical signals are controlled). The preferred crystal substrates are of a material having a piezoelectric-elastic dielectric matrix capable of the generation of acoustic waves, such as MTiOXO4 (where M is K, Rb, T1, and/or NH4 and X is P and/or As) having mm2 symmetry.

公开(公告)号：EP0608249A1

公开(公告)日：1994-08-03

申请号：EP92918770.0

申请日：1992-08-28

申请人： THOMSON-CSF

发明人： HODE, Jean-Michel ,  DESBOIS, Jean ,  SOLAL, Marc

IPC分类号： H03H9

CPC分类号： H03H9/0057 ,  H03H9/02653 ,  H03H9/0285 ,  H03H9/02905

摘要： Filtre hyperfréquence à ondes acoustiques de surface et à cavités résonnantes longitudinales. Il est constitué de plusieurs voies (V1, V2) en parallèle, qui présentent une différence d'espace inter-transducteurs (21-41; 22-42) égale à un multiple pair de demi-longueur d'onde (lambda) à la fréquence centrale, d'une voie à l'autre, de façon à annuler la fonction de transfert en ligne à retard qui correspond au trajet direct entre transducteurs.

公开(公告)号：EP0063586A1

公开(公告)日：1982-11-03

申请号：EP81902996.0

申请日：1981-10-26

申请人： R F MONOLITHICS, INC.

发明人： HARTMANN, Clinton S.

IPC分类号： H03H3 ,  H03H9

CPC分类号： H03H9/14552 ,  H03H9/02653 ,  H03H9/14541

摘要： Dispositif d'ondes de surface comprenant un substrat (12) possedant une surface piezoelectrique (14), un transducteur d'ondes acoustiques de surface (16 et 18) servant a convertir un signal electrique en des ondes acoustiques de surface se propageant sur la surface piezoelectrique et des structures de reflexion (22) provoquant des reflexions des ondes acoustiques de surface dans la partie de surface piezoelectrique sur laquelle sont disposes les transducteurs. Plusieurs types de structures de reflexion sont decrits. Un resonateur d'ondes acoustiques de surface utilisant la presente invention est decrit, ainsi que des filtres de bandes passantes a poles multiples. Un filtre transversal a faible perte utilisant la presente invention est aussi decrit.

公开(公告)号：EP4409743A1

公开(公告)日：2024-08-07

申请号：EP22789635.4

申请日：2022-09-15

申请人： SOITEC

发明人： MICHOULIER, Eric ,  BALLANDRAS, Sylvain ,  LAROCHE, Thierry

IPC分类号： H03H9/02 ,  H03H9/64

CPC分类号： H03H9/6493 ,  H03H9/02637 ,  H03H9/6496 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02771 ,  H03H9/02653

公开(公告)号：EP2487793B1

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：EP12153557.9

申请日：2012-02-02

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： Gorisse, Marie ,  Reinhardt, Alexandre

IPC分类号： H03H3/007 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02 ,  H03H9/64 ,  H03H9/17 ,  H01L21/033

CPC分类号： H03H9/02653 ,  H01L21/0337 ,  H03H3/0072 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02118 ,  H03H9/02125 ,  H03H9/02338 ,  H03H9/02866 ,  H03H9/172 ,  H03H9/6409

公开(公告)号：EP2487793A1

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：EP12153557.9

申请日：2012-02-02

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： Gorisse, Marie ,  Reinhardt, Alexandre

IPC分类号： H03H3/007 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02 ,  H03H9/64 ,  H03H9/17 ,  H01L21/033

CPC分类号： H03H9/02653 ,  H01L21/0337 ,  H03H3/0072 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02118 ,  H03H9/02125 ,  H03H9/02338 ,  H03H9/02866 ,  H03H9/172 ,  H03H9/6409

摘要： L'invention concerne un procédé de réalisation d'un dispositif acoustique comprenant une structure de cristal phononique comprenant une première série d'inclusions réalisées dans un premier milieu réparties dans une matrice constituée par un second milieu, permettant le blocage de la propagation des ondes acoustiques dans une bande de fréquences dite bande d'arrêt, caractérisé en ce qu' il comporte les étapes suivantes :
- une étape de définition des paramètres géométriques desdites inclusions, lesdites inclusions comportant des parois en contact avec ladite matrice faisant au moins un premier angle (θ) dit angle de paroi, non nul avec la normale au plan de ladite structure, lesdits paramètres géométriques comprenant ledit premier angle de paroi, ladite étape comportant :
• la détermination d'une fonction relative à l'évolution de la position en fréquence de ladite bande d'arrêt avec ledit angle de paroi et/ou la détermination d'une fonction relative à l'évolution de largeur de ladite bande d'arrêt avec ledit angle de paroi ;
• la détermination dudit au moins premier angle (θ) pour une position en fréquence et/ou une largeur de la bande d'arrêt, choisies à partir de la ou des fonctions précédemment déterminées ;

- une étape de réalisation de ladite première série d'inclusions présentant au moins ledit premier angle de paroi, dans ladite matrice constituée par ledit second milieu.

摘要翻译： 该方法包括限定锥形封闭夹杂物的几何参数：如孔，二维声子晶体结构，包括由第一角度在与非均相基质接触壁：如在壁的角度，产生第一系列的夹杂物 具有壁的在通过第二介质构成的基体中的第一角度，在上硅层（20）提供具有氧化硅层上的硅绝缘体上的基板的表面（10）的一个表面上沉积的树脂层 的基板，以及限定在所述树脂层中蚀刻图案。 该方法包括限定锥形封闭夹杂物的几何参数：如孔，二维声子晶体结构，包括由第一角度在与非均相基质接触壁：如在壁的角度，产生第一系列的夹杂物 具有壁的在通过第二介质构成的基体中的第一角度，在上硅层（20）提供具有氧化硅层上的硅绝缘体上的基板的表面（10）的一个表面上沉积的树脂层 底物， - 定义在树脂层中蚀刻图案，匍匐树脂层以定向蚀刻图案，通过在树脂层中取向的图案上硅层上执行在蚀刻术以便限定具有壁的角锥形孔， 去除树脂层包括蚀刻的图案，并产生一个布拉格反射镜结构支撑的二维声子晶体结构。 的夹杂物中的第一介质形成并分布在由所述第二介质用于在频率阻挡声波的传播构成的基质带审查作为阻带。 所述参数包括第一几何角壁。 所述定义步骤包括：确定开采于频率的频率位置改变有关的功能的带检查与壁和/或确定性采矿相关于与壁的角度的带的宽度变化的函数的角度的阻带; 和确定性开采的频率位置和/或带的从所述确定性函数开采的宽度，所述第一角度。 该功能是通过三维模拟手术进行的确定性挖掘的步骤并通过最终的元素和/或经验测量来执行。 产生第一系列夹杂物的步骤包括沉积在基片上由氮化铝构成的材料层，从而产生在材料层上的树脂掩模，进行反应性离子蚀刻操作在所述材料层，以限定具有壁的角锥形孔， 并除去树脂掩模。被设置在基片具有一个氧化硅层的表面上的上硅层。 该内含物具有圆形，正方形，六边形或三角形的几何形状，被设置雅丁到通过接收一个六边形的基本网状物或正方形或三角形蜂窝获得周期性布置，扩大最大的阻带中，通过重叠和/或并置的材料形成，并且填充 与材料。 所述基质包括层的叠层。

公开(公告)号：EP0530547A1

公开(公告)日：1993-03-10

申请号：EP92113615.6

申请日：1992-08-10

申请人： MOTOROLA, INC.

发明人： Hickernell, Thomas ,  Penunuri, David ,  Cho, Frederick Y.

IPC分类号： H03H9/02 ,  H03H9/64

CPC分类号： H03H9/02637 ,  H03H9/02653

摘要： An acoustic wave device (501) comprises an acoustic wave transducer (510, 520) coupled to an acoustic wave propagating substrate (120). The acoustic wave transducer (510, 520) converts signal energy between electrical and acoustical forms. Acoustic reflectors (530, 540) are placed one on either side of the acoustic wave transducer (510, 520). The acoustic reflectors (530, 540) are composed of acoustic reflection elements (544) spaced approximately one acoustic wavelength apart, and provide enhanced acoustic acoustic reflections together with relaxed fabrication constraints.

摘要翻译： 声波装置（501）包括耦合到声波传播基板（120）的声波换能器（510,520）。 声波换能器（510,520）在电和声学形式之间转换信号能量。 声波反射器（530,540）放置在声波换能器（510,520）的两侧。 声反射器（530,540）由隔开大约一个声波波长的声反射元件（544）组成，并且提供增强的声学反射以及松散的制造约束。

公开(公告)号：EP1467484A2

公开(公告)日：2004-10-13

申请号：EP04008539.1

申请日：2004-04-08

申请人： Yamanouchi, Kazuhiko ,  NRS Technologies Inc.

发明人： Yamanouchi, Kazuhiko

IPC分类号： H03H9/02 ,  H03H9/145 ,  H03H9/25

CPC分类号： H03H9/14505 ,  H03H9/02653 ,  H03H9/14538

摘要： A unidirectional surface acoustic wave (SAW) transducer has a substrate which is piezoelectric or electrostrictive, a first IDT (interdigital transducer) electrode disposed on a surface of the substrate and having a plurality of first electrode fingers, and a second IDT electrode disposed on the surface of the substrate and having a plurality of second electrode fingers alternating with the first electrode fingers, and structural elements disposed on the surface of the substrate and arranged periodically in a propagating direction of surface acoustic waves. The structural elements comprise grooves or dielectric films each having a width of λ 0 /4 or λ 0 /2, for example, where λ 0 represents a wavelength corresponding to a fundamental operating frequency of the unidirectional surface acoustic wave transducer.

摘要翻译： 单向表面声波（SAW）传感器具有压电或电致伸缩的基板，设置在基板的表面上并具有多个第一电极指的第一IDT（叉指式换能器）电极和设置在该基板上的第二IDT电极 并且具有与第一电极指交替的多个第二电极指，以及设置在基板的表面上并在表面声波的传播方向周期性地布置的结构元件。 结构元件包括各自具有λ0/4或λ0/2的宽度的凹槽或电介质膜，例如，其中λ0表示对应于单向表面声波换能器的基本工作频率的波长。