PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CIRCUIT ÉLECTRONIQUE QUANTIQUE

    公开(公告)号:EP4160694A1

    公开(公告)日:2023-04-05

    申请号:EP22198944.5

    申请日:2022-09-30

    摘要: L'invention concerne un procédé de fabrication d' un circuit électronique quantique comprenant une couche semi-conductrice destinée à recevoir des qubits dans des îlots quantiques. La couche qubits peut recevoir les qubits pendant leur stockage et leur manipulation.Un aspect de l'invention concerne un procédé de fabrication d'un circuit (DISP) électronique quantique comprenant les étapes suivantes :
    - graver une couche semiconductrice de manière à obtenir :
    - une pluralité de piliers (PLR) chaque pilier semi-conducteur présentant une première extrémité, dite "base"; et
    - une couche qubits (QBL) à la base de chaque pilier semiconducteur ;;

    - oxyder le flanc de chaque pilier (PLR) ;
    - former des lignes de couplage (CL) et des colonnes de couplage (CC) ; et
    - déposer des couches de séparation (SEP1, SEP2, SEP3) en laissant dépasser une surface de contact (CS) de chaque pilier (PLR).

    ELECTRODE STRUCTURE
    8.
    发明公开
    ELECTRODE STRUCTURE 审中-公开

    公开(公告)号:EP3780073A1

    公开(公告)日:2021-02-17

    申请号:EP19785253.6

    申请日:2019-04-08

    摘要: An electrode formed by molding a semiconductor device with resin. The electrode comprises: a first resin mold portion formed on a front surface of the semiconductor device and having a first thickness (t1) ; a second resin mold portion formed on a back surface of the semiconductor device and having a second thickness (t2) greater than the first thickness; and an exposed portion formed in a part of the first resin mold portion corresponding to an end of the semiconductor device.