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公开(公告)号：KR102229164B1
公开(公告)日：2021-03-17
申请号：KR1020190130064A
申请日：2019-10-18
申请人： 주식회사 에스에프에이
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/001 , H01L51/56
摘要： 고온 증착 소스가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 고온 증착 소스는, 증착물질을 구비하는 크루시블(crucible); 크루시블의 일측에 배치되어 증발된 증착물질을 배출하는 노즐; 적어도 일부가 크루시블의 내부에 배치되도록 크루시블의 일측에 결합되며, 노즐과 연통되는 적어도 하나의 오리피스(orifice)와, 증착물질이 1차로 통과하는 제1 증착물질 통과공이 마련되되 오리피스로부터 제1 증착물질 통과공까지의 이격거리를 조절할 수 있는 이너 플레이트(inner plate) 모듈을 구비하는 이너 플레이트 유닛을 포함한다.
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公开(公告)号：KR102223673B1
公开(公告)日：2021-03-08
申请号：KR1020130143947A
申请日：2013-11-25
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
CPC分类号： C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/26 , H01L51/56
摘要： 본 발명은 유기물 증착 장치를 개시한다. 본 발명은, 유기물 분체가 저장되는 저장용기와, 상기 저장용기에 설치되어 상기 유기물 분체를 외부로 공급하는 분체 공급기와, 상기 분체 공급기와 연결되어 상기 유기물 분체를 안내하는 분체이송배관과, 상기 분체이송배관에 설치되어 상기 분체이송배관으로 공급되는 상기 유기물 분체를 기화시키는 급속 기화기와, 상기 분체이송배관과 연결되며, 기화된 유기물 증기를 안내하는 안내배관과, 상기 안내배관과 연결되며 상기 유기물 증기를 외부로 분사하는 노즐부를 포함한다.
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公开(公告)号：JP6404615B2
公开(公告)日：2018-10-10
申请号：JP2014131796
申请日：2014-06-26
申请人： シャープ株式会社 , キヤノントッキ株式会社
CPC分类号： C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H05B33/10
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公开(公告)号：JP2018521216A
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：JP2017557363
申请日：2016-05-10
发明人： ディエゲス−カンポ, ホセ マヌエル , バンゲルト, シュテファン , ヴルスター, ハーラルト , ロップ, アンドレアス , ハース, ディータ
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/04 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/001 , H01L51/50
摘要： 本明細書で説明される実施形態は、基板上に蒸発した原料物質を堆積させるための蒸発源(20)に関する。蒸発源(20)は、複数のノズル(22)を有する1以上の分配管(106)であって、前記複数のノズル(22)の各ノズルが蒸発した原料物質のプルームを基板(10)に向けるように構成された、分配管(106)、及び複数の開孔(32)を備えた遮蔽デバイス(30)であって、前記複数の開孔(32)のうちの少なくとも1つの開孔が、単一の関連付けられたノズルから放出された前記蒸発した原料物質のプルーム(318)を個別に形作るように構成された、遮蔽デバイス(30)を備える。更なる態様によれば、蒸発源のための遮蔽デバイス、更に、基板上に蒸発した原料物質を堆積させるための方法が説明される。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JPWO2017119153A1
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：JP2017560031
申请日：2016-07-22
申请人： 鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司
摘要： 表面に凹凸がある被蒸着基板の底部の所定の場所のみに蒸着材料を蒸着する場合でも、蒸着マスクと被蒸着基板との間に隙間がなく、所望の場所にのみ蒸着することができる蒸着マスク、及びその製造方法を提供する。被蒸着基板の表面の形状に対応する凹凸を有するダミー基板が作製され(S1)、ダミー基板の凹凸面に液状の樹脂材料を塗布することで樹脂塗布膜が形成され(S2)、樹脂塗布膜の温度を上昇させて樹脂塗布膜を焼成することで、樹脂焼成膜が形成される(S3)。次に、ダミー基板に付着している樹脂焼成膜に、所望の開口部のパターンを形成することで所望の開口部のパターンを有する樹脂フィルムが形成される(S4)。その後、樹脂フィルムをダミー基板から剥離して蒸着マスクにする(S6)。
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公开(公告)号：JP6328766B2
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：JP2016537004
申请日：2013-12-10
发明人： バンゲルト, シュテファン , シュースラー, ウーヴェ , ディエゲス−カンポ, ホセ マヌエル , ハース, ディーター
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/246 , C23C14/50 , C23C14/56 , C23C14/562 , C23C14/564 , C23C14/566 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L51/56
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公开(公告)号：JP2018507323A
公开(公告)日：2018-03-15
申请号：JP2017539574
申请日：2016-01-28
发明人： イ サン ジン , イ ジェ フン , チェ ウ ジン , キム チョル ファン , キム スン ヒュン , チョ ソン グン , ハム ドン ソク , キム クヮン ジェ , パク ドン スン , パク ジェ ソン
IPC分类号： C23C14/34 , C03C17/28 , H01L21/203 , H01L21/312
CPC分类号： H01J37/3429 , C23C14/12 , C23C14/3414 , H01J37/3491
摘要： 本発明に係るスパッタリング用フッ素系高分子複合ターゲットは、電圧を印加する金属電極との接合力に優れ、ひずみ発生を抑制することができ、伝導性を付与することで産業的に広く使用されるDCおよびMF電源方式でも安定してプラズマの形成が可能となり、フッ素系高分子を効果的に被着体にスパッタリング蒸着することを可能にする。【選択図】なし
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公开(公告)号：JPWO2016143461A1
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：JP2016509186
申请日：2016-02-15
申请人： 東洋紡株式会社
摘要： 【課題】耐印刷性に優れて真空を利用して作成した有機層、無機層を有した透明バリアフィルムを安定した品質で提供すること。【解決手段】少なくともプラスチックフィルムの片面に無機層と有機層とをこの順に有する透明バリアフィルムの製造方法であって、アクリロイル基および/またはメタクリロイル基と前記アクリロイル基および/またはメタクリロイル基を持つ化合物に対して50ppm以上の重合禁止剤とを含む混合液を用いて、前記無機層表面に混合液体有機層を形成する工程、前記混合液体有機層を硬化し前記有機層を形成する工程を含むことを特徴とする透明バリアフィルムの製造法。【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2017537226A
公开(公告)日：2017-12-14
申请号：JP2017527302
申请日：2015-11-19
申请人： アイクストロン、エスイー
发明人： ロング、ミハエル
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/44 , C23C16/455 , H01L21/205
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/562 , C23C16/45519 , C23C16/4557 , C23C16/45574 , C23C16/45578
摘要： プロセスチャンバ内でガス入口部材2の延在方向に垂直な移動方向Bに移動する基板1に層を堆積する装置においてガス入口部材が、開始物質を供給する供給孔9を具備する第1のガス分配室5、6と、開始物質を含む第1のガス流aを送出するガス出口領域14とを有し、ガス出口領域14は基板1の移動行程の幅全体に亘って延在しかつ基板に対向し、第1ガス出口領域14の延在方向に平行に、第2ガス流bの送出のために第2ガス分配室21の第2ガス出口領域27が基板1の移動方向Bにおける第1ガス出口領域14の前方に配置されると共に第3ガス流cの送出のために第3ガス分配室22の第3ガス出口領域28が基板1の移動方向Bにおける第1ガス出口領域14の後方に配置される。第2及び第3ガス出口領域27、28は少なくとも1つのプロセスガス出口領域14に隣接して配置されている。少なくとも1つのプロセスガス分配室及び第2及び第3のガス分配室は各々ガス加熱器を有する。プロセスガス分配室5、6は供給孔9を通して供給可能な固体又は液体の開始物質の気化器7を有する。【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2017179552A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016072635
申请日：2016-03-31
申请人： 株式会社東亜電化 , 地方独立行政法人 岩手県工業技術センター
CPC分类号： B32B15/082 , C23C14/02 , C23C14/06 , C23C14/12
摘要： 【課題】金属表面に耐久性に優れる高分子薄膜の均一な被膜が形成でき、離型性が高く、かつ薄膜表面の機能性を維持しつつ薄膜を長時間の使用に耐える、金属表面被膜形成方法の提供。 【解決手段】金属表面の被膜形成方法は、樹脂表面に量子ビームを照射し、次いで、2つのチオールとジアルキル3級アミノを有するトリアジン誘導体又はチオールを有するトリアジン誘導体からなるトリアジンチオール誘導体が5超〜13g/lの濃度で溶解した溶液に、量子ビームが照射された樹脂を浸漬させて、樹脂表面に前記トリアジンチオール誘導体が結合加飾された改質樹脂を調製し、該改質樹脂粉末を、金属表面上に真空蒸着法によって成膜し、次いで、改質樹脂層上に、トリアジンチオール誘導体で加飾するのに用いた樹脂と同じ樹脂を、真空蒸着法によって成膜して、積層樹脂層を形成するトリアジン誘導体で金属表面の被膜形成方法。 【選択図】図7
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