公开(公告)号：JP2011504585A

公开(公告)日：2011-02-10

申请号：JP2010533522

申请日：2008-10-02

Applicant: ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh

Inventor： フランケ アクセル ,  ハウアー イェルク ,  ゴメス ウド−マルティン ,  コーン オリヴァー ,  ケーア ケルステン ,  クリストフ マイゼル ダニエル ,  オームス トルステン ,  クールマン ブルクハルト ,  クラッセン ヨハネス ,  ノイル ラインハルト

IPC: B81B3/00 ,  G01C19/56 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/574 ,  F16F1/025 ,  G01C19/5747 ,  G01P3/44

Abstract: A yaw-rate sensor having a substrate and a plurality of movable substructures that are mounted over a surface of the substrate, the movable substructures being coupled to a shared, in particular, central spring element, means being provided for exciting the movable substructures into a coupled oscillation in a plane that extends parallel to the surface of the substrate, the movable substructures having Coriolis elements, means being provided for detecting deflections of the Coriolis elements induced by a Coriolis force, a first Coriolis element being provided for detecting a yaw rate about a first axis, a second Coriolis element being provided for detecting a yaw rate about a second axis, the second axis being oriented perpendicularly to the first axis.

公开(公告)号：JPWO2009037751A1

公开(公告)日：2011-01-06

申请号：JP2008528268

申请日：2007-09-19

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 小中　義宏 ,  義宏 小中

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/5747 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/14 ,  G01C19/574 ,  G01P15/125

Abstract: 基板2の表面には第1の振動子4をX軸方向に振動可能に設ける。第1の振動子4の内部には、角速度検出用振動子6をY軸方向に変位可能に設ける。基板2と第1の振動子4との間には、振動発生部8および振動モニタ部20を設ける。基板2と角速度検出用振動子6との間には、角速度検出用の変位検出部11を設ける。第1の振動子4の外側には、第2の振動子15をY軸方向に変位可能に設ける。第1,第2の振動子4,15の間には、加速度検出用の変位検出部17を設ける。角速度検出回路27は、変位検出部11の変位検出信号Vcを振動モニタ部20のモニタ信号Vmを用いて同期検波し、角速度を検出する。一方、加速度検出回路31は、変位検出部17の変位検出信号Vaを振動モニタ部20のモニタ信号Vmを用いて同期検波し、加速度を検出する。

公开(公告)号：JP2010531447A

公开(公告)日：2010-09-24

申请号：JP2010513680

申请日：2008-03-28

Applicant: ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハーNorthrop Grumman LITEF GmbH

Inventor： ガイガー，ヴォルフラム ,  シュパーリンガー，ギュンター ,  バルトーロメイチック，ユリアン ,  ラインフェルダー，ペーター

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/574

CPC classification number: G01C19/574

Abstract: 直線加速が起こるときの回転センサーの場合における移動個別構造(１００，２００，３００，４００，５００，６００)に基づいて発生する測定エラーを避けるために、回転速度センサーは基板と、設計平面（ｘ-ｙ）上の基板に相対して移動する２つの構造(１００，２００，３００，４００，５００，６００)とを備え、２つの移動可能構造(１００，２００，３００，４００，５００，６００)は連結され、連結構造を形成し、該連結構造は設計平面（ｘ-ｙ）上の第１方向（ｘ）における移動可能構造の逆位相偏向を伴う第１振動モードを励起モードとして有し、上記連結構造は、第１振動モードが励起されるとき、かつ、設計平面（ｘ-ｙ）に直角な、回転センサーの受感軸（ｚ）の周りを回転しているとき、コリオリ加速度によって励起される検知モードとして第２振動モードを有し、上記連結構造は、最適な必須条件の対象となり、第２軸に平行な方向の回転速度センサーの直線加速によって励起され得るいかなる振動モードも有さないように設計されている。

公开(公告)号：JPWO2008023566A1

公开(公告)日：2010-01-07

申请号：JP2008530847

申请日：2007-08-07

Applicant: パナソニック株式会社

Inventor： 寺田　二郎 ,  二郎 寺田

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5726 ,  G01C19/574 ,  H01L41/08

Abstract: 各種電子機器の小型化を図れる角速度センサを提供する。そのために、第1感知電極部、第2感知電極部から出力される2つの感知信号に基づいて減算器により第1差動信号を出力し、加算器により第1加算信号を出力し、第3感知電極部、第4感知電極部から出力される2つの感知信号に基づいて減算器により第2差動信号を出力し、加算器により第2加算信号を出力する。そして、第1差動信号および第2差動信号に基づく加算信号と、第1加算信号および第2加算信号に基づく差動信号から角速度を検出する。

公开(公告)号：JP4343273B2

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：JP53699198

申请日：1998-02-24

Applicant: ザ チャールズ スターク ドレイパー ラボラトリー インコーポレイテッド

Inventor： ウォード，ポール，エー． ,  コーレペニス，アンソニー，エス． ,  ワインバーグ，マーク，エス．

IPC: H03B5/30 ,  G01C19/574 ,  H03H9/02 ,  H03H9/24 ,  H03L1/02 ,  H03L7/099

CPC classification number: G01C19/574 ,  H03H9/02448 ,  H03H9/2405 ,  H03H9/2426 ,  H03H2009/02496 ,  H03H2009/02511 ,  H03L1/02 ,  H03L7/099

公开(公告)号：JP2009133862A

公开(公告)日：2009-06-18

申请号：JP2008305216

申请日：2008-11-28

Applicant: Commiss Energ Atom ,  コミツサリア タ レネルジー アトミーク

Inventor： ROBERT PHILIPPE ,  HENTZ SEBASTIEN

IPC: B81C99/00 ,  G01P15/12 ,  G01C19/56 ,  G01P15/03

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5755 ,  G01P15/097

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide micro component or nano component which can be adapted to NEMS, that is, sensor of very small dimension (nanometer scale) and has high sensitivity and accuracy (higher signal/noise ratio, lower temperature drift). SOLUTION: This system comprises a piezo resistance sensor which has test body affected by actuating force to be measured, at least one suspended piezo resistance strain gauge, and strain amplification cell equipped with means for detecting the strain affected by the test body under operation of the above actuating force and at least two rigid arms mechanically-connected each other by at least one link element in a first level of ends on at least two rigid arms. In the strain amplification cell, a second end on the first rigid arm of the above two rigid arms is mechanically-connected to the test body, the second end on the second rigid arm of the above two rigid arms is secured to base plate, while the above link element is mechanically-connected to the first end of the above suspended piezo resistance strain gauge. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供适用于NEMS的微型组件或纳米组件，即具有非常小尺寸（纳米级）的传感器，并具有高灵敏度和精度（较高的信噪比，较低的温度漂移 ）。 解决方案：该系统包括具有被测量的致动力，至少一个悬浮压电应变计和应变放大单元的受测体的压电电阻传感器，该应变放大单元配备有用于检测受测试体影响的应变的装置 上述致动力的操作和至少两个刚性臂通过至少两个刚性臂上的第一水平端部中的至少一个连杆元件彼此机械连接。 在应变放大单元中，上述两个刚性臂的第一刚性臂上的第二端机械地连接到测试体，上述两个刚性臂的第二刚性臂上的第二端固定到基板，同时 上述连杆元件机械地连接到上述悬挂的压电电阻应变计的第一端。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2009002953A

公开(公告)日：2009-01-08

申请号：JP2008164830

申请日：2008-06-24

Applicant: Commiss Energ Atom ,  コミツサリア タ レネルジー アトミーク

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: G01P15/12 ,  G01C19/56

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2201/0271 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5769 ,  G01L1/183 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/097 ,  H03H9/02259

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resonance device detecting within a piezoresistance plane which is manufactured by using a surface technique on a bulk.
SOLUTION: The resonance device comprises a resonator (10) which is connected to the bulk by at least one embedded portion (12), a vehicle 14 which excites the resonator, a detecting vehicle equipped with at least one suspension beam type strain gauge made from piezoresistive material (11). Each strain gauge has a common plane with the resonator. The strain gauge is connected to the resonator (10) at a point situated outside of this at least one embedded portion (12) in order to increase the stress measured by the strain gauge.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供在通过使用大量表面技术制造的压阻平面内的共振装置检测。 谐振装置包括通过至少一个嵌入部分（12）连接到本体的谐振器（10），激励谐振器的车辆14，配备有至少一个悬架梁型应变的检测车辆 由压阻材料制成的量规（11）。 每个应变计与谐振器具有共同的平面。 应变仪在位于该至少一个嵌入部分（12）外侧的点处连接到谐振器（10），以便增加由应变仪测量的应力。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JPWO2005098359A1

公开(公告)日：2008-02-28

申请号：JP2006512097

申请日：2005-04-06

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 良隆 加藤 ,  良隆 加藤

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5769 ,  H01L23/12

CPC classification number: G01C19/5769 ,  G01C19/574

Abstract: 角速度検出素子1の実装面には、素子側駆動用電極9〜12と素子側検出用電極13,14を設けると共に、駆動用電極9〜12と検出用電極13,14との間にはグランド電極15を設ける。多層基板21の表面21Aには、基板側駆動用電極29〜32と基板側検出用電極33,34を設けると共に、駆動用電極29〜32と検出用電極33,34との間にはグランド電極35を設ける。そして、角速度検出素子1の電極9〜15と多層基板21の電極29〜35を接続すると共に、2つのグランド電極15,35を互いに対向させる。また、多層基板21の表面21Aには、駆動用電極29〜32に接続された駆動用配線41,42を設けると共に、多層基板21の内部には、検出用電極33,34に接続された検出用配線43,44を設ける。そして、多層基板21には検出用配線43,44を厚さ方向で挟むグランド配線50,51を設ける。

公开(公告)号：JP2007316056A

公开(公告)日：2007-12-06

申请号：JP2007080397

申请日：2007-03-27

Applicant: Commissariat A L'energie Atomique ,  コミッサリア タ レネルジー アトミーク

Inventor： ROBERT PHILIPPE ,  DURAFFOUR LAURENT

IPC: G01C19/56 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/0802

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a novel design method for compactifying a component, and to provide a surface mounted type MEMS resonant sensor capable of solving a problem wherein sensitivity gets worse in accompaniment to size reduction of the component, and a manufacturing method therefor.
SOLUTION: This surface-type MEMS resonant sensor provided with a resonator 4 excited within a plane is provided with the first so-called thick area 2 having the first thickness E
1 , and for constituting a vibration mass, and the second thin area 4 having the second thickness E
2 thinner than the first thickness, and for performing detection.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于压实部件的新型设计方法，并提供一种表面安装型MEMS谐振传感器，其能够解决伴随部件尺寸减小的灵敏度变差的问题，以及制造 方法。 解决方案：具有在平面内激发的谐振器4的表面型MEMS谐振传感器设置有具有第一厚度E 1 的第一所谓厚区2，并且用于构成 振动质量以及具有比第一厚度薄的第二厚度E 2 的第二薄区域4，并用于进行检测。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2007101553A

公开(公告)日：2007-04-19

申请号：JP2006317753

申请日：2006-11-24

Applicant: Robert Bosch Gmbh ,  ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh

Inventor： LUTZ MARKUS

IPC: G01C19/56 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/5755 ,  G01C19/574 ,  G01P15/125

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a rotation angular velocity sensor which can measure Coriolis force interacting in parallel with the surface of a vibrating mass object. SOLUTION: This sensor is equipped with the 1st vibration mechanism containing the vibrating mass object 1 suspended onto a frame 3 with a plurality of webs 4. The above plurality of webs 4 have a large length in the 1st direction in parallel with a flat surface of the frame, while the vibration mechanism is excitative so as to vibrate in the 2nd direction in parallel with flat surface of the frame and perpendicular to the above 1st direction of the webs, containing an acceleration sensor 2. The acceleration sensor is formed in order to inform acceleration in the above 1st direction of the webs, the 2nd vibration mechanism equipped with the 2nd acceleration sensor is suspended onto the frame 3, and these two 1st and 2nd vibration mechanisms are mutually connected through at least one another webs 13, 14 so as to oppositely be vibrated. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种旋转角速度传感器，其可以测量与振动质量物体的表面平行地相互作用的科里奥利力。

解决方案：该传感器配备有第一振动机构，其包含悬挂在具有多个腹板4的框架3上的振动体1。上述多个腹板4在第一方向上具有大的长度，与 框架的平坦表面，同时振动机构被激发，以便在与框架的平坦表面平行的第二方向上振动，并且垂直于包含加速度传感器2的腹板的上述第一方向。形成加速度传感器 为了通知腹板的上述第一方向的加速度，配备有第二加速度传感器的第二振动机构悬挂在框架3上，这两个第一和第二振动机构通过至少另一个腹板13相互连接， 14相反地振动。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT