公开(公告)号：JP6728787B2

公开(公告)日：2020-07-22

申请号：JP2016042890

申请日：2016-03-04

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 生井 準人

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/20 ,  C08F20/18 ,  C08F20/26 ,  G03F7/039

公开(公告)号：JP6668825B2

公开(公告)日：2020-03-18

申请号：JP2016040535

申请日：2016-03-02

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 生井 準人

IPC: G03F7/038 ,  C08F220/34 ,  G03F7/20 ,  G03F7/039

公开(公告)号：JP6485240B2

公开(公告)日：2019-03-20

申请号：JP2015120681

申请日：2015-06-15

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 生井 準人

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  C08F20/10 ,  C08F12/22 ,  G03F7/004

公开(公告)号：JP6459266B2

公开(公告)日：2019-01-30

申请号：JP2014143742

申请日：2014-07-11

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 生井 準人

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  C07C309/12 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004

公开(公告)号：JP6447686B2

公开(公告)日：2019-01-09

申请号：JP2017166922

申请日：2017-08-31

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 生井 準人 ,  池田 憲彦

IPC: C07D211/14 ,  C07D295/15 ,  C07D215/06 ,  C07C229/12

公开(公告)号：JP6447631B2

公开(公告)日：2019-01-09

申请号：JP2016548886

申请日：2015-09-14

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 生井 準人

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/038 ,  C08F20/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/004

公开(公告)号：JPWO2017130629A1

公开(公告)日：2018-11-15

申请号：JP2016089010

申请日：2016-12-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 錦織 克聡 ,  生井 準人

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/038 ,  G03F7/20 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C08F12/22 ,  C08F212/14 ,  C08F220/16 ,  C08F220/28 ,  C08F220/36 ,  C08F220/38 ,  C08F2220/281 ,  C08F2220/283 ,  C08F2220/365 ,  C08F2220/382 ,  C09D125/18 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2006 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/322 ,  G03F7/38 ,  C08F2220/1858 ,  C08F8/12

Abstract: 本発明は、下記式(1)で表される第1化合物と、酸解離性基を有する第1重合体と、上記第1化合物以外の感放射線性酸発生体とを含有し、上記感放射線酸発生体がオニウム塩化合物を含む感放射線性樹脂組成物である。上記式(1)中、nは、2又は3である。Lは、単結合又はn価の有機基であって、複数あるカルボキシレート基同士を連結する連結基のうち結合数が最小となる連結基に含まれる原子数は、0〜10である。但し、Lが単結合の時、nは2である。mは、1又は2である。但し、nが2の時、mは1である。Y + は、1価の感放射線性オニウムカチオンである。

公开(公告)号：JP6380399B2

公开(公告)日：2018-08-29

申请号：JP2015536553

申请日：2014-09-04

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 生井 準人

IPC: C08F20/28 ,  G03F7/039 ,  G03F7/038 ,  G03F7/11 ,  C08L33/04

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F216/165 ,  C08F220/28 ,  C08F220/68 ,  C08F2220/281 ,  C08F2220/282 ,  C08F2220/283 ,  C09D129/10 ,  C09D133/10 ,  C09D133/14 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/038 ,  G03F7/091 ,  G03F7/11 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/20 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/2037 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/32 ,  G03F7/322 ,  G03F7/38

公开(公告)号：JP6331359B2

公开(公告)日：2018-05-30

申请号：JP2013245499

申请日：2013-11-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 仁井 啓之 ,  生井 準人 ,  永井 智樹

IPC: G03F7/038 ,  C08F20/36 ,  G03F7/039

公开(公告)号：JP6323460B2

公开(公告)日：2018-05-16

申请号：JP2015539153

申请日：2014-09-18

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 生井 準人

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/325 ,  C08F220/18 ,  C08F220/20 ,  C08F220/26 ,  C08F220/30 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/11 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/2037 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/2059 ,  G03F7/322 ,  G03F7/327 ,  H01L21/0271