塗布装置と塗布方法、塗布ユニット

    公开(公告)号:JPWO2016117455A1

    公开(公告)日:2017-09-28

    申请号:JP2016570599

    申请日:2016-01-15

    CPC classification number: B05C1/02 B05D1/28

    Abstract: 基板を配置する配置工程と、ピンにより液体を事前塗布する事前塗布工程と、事前塗布工程により塗布された、液体の塗布量を、測定する第1測定工程と、測定工程により、液体のピンによる塗布条件を設定する設定工程と、塗布条件により、基板に前記液体を塗布する塗布方法を用いる。基板を保持するステージと、ステージの上方に位置し、ステージに対して相対的に移動する、ピンと液体を内部に有するノズルと、事前に前記液体が塗布され、塗布された液体が計測される測定部と、を含む塗布装置を用いる。

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