公开(公告)号：KR102225076B1

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：KR1020157014123A

申请日：2013-12-11

申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하

发明人： 펠릭스 마사

IPC分类号： B05B12/12 ,  B05B5/04 ,  B05B7/08 ,  B05B12/16 ,  B05B17/06 ,  B05D1/02 ,  B05D3/04

CPC分类号： B05B1/267 ,  B05B1/30 ,  B05B12/122 ,  B05B7/0815 ,  B05D1/02 ,  B05B12/18 ,  B05B17/06 ,  B05B5/0426 ,  B05D3/042

摘要： 본 발명은 스프레이 방향(S)에 대해 가로방향으로 스프레이 노즐 장치(15)에 마주보게 스프레이 방향(S)으로 배열되는 표면을 코팅하기 위하여 일 스프레이 방향(S)으로 코팅 재료를 포함하는 스프레이 제트(14)를 분사하기 위한 스프레이 노즐 장치에 관한 것으로, 스프레이 노즐의 스프레이 노즐 출구(2)로부터 스프레이 제트(14)를 분사하기 위한 스프레이 노즐(1), 스프레이 제트(14)에 작용하고 제어 노즐 출구(5, 6)로부터 도출되는 제어 유동(12, 13)에 의해 이 스프레이 제트를 편향시키기 위하여 스프레이 방향(S)에 대해 가로방향으로 스프레이 제트(14)에 대해 정렬되거나 또는 이에 정렬될 수 있는 제어 노즐 출구(5, 6)를 포함한 하나 이상이 제어 노즐(3, 4)로서, 제어 신호(9, 10)를 이용하여 제어 유동(12, 13)을 제어하기 위한 하나의 제어 장치가 제공된다. 게다가, 본 발명은 대응 코팅 방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR102229805B1

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：KR1020197037375A

申请日：2013-05-29

申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하

发明人： 토마스 바겐라이트너 ,  마르쿠스 빔플링거 ,  폴 린드너 ,  토마스 플라흐 ,  플로리안 쿠르츠

IPC分类号： H01L21/18 ,  B32B37/00 ,  B32B38/18 ,  H01L21/447

CPC分类号： B32B38/1833 ,  H01L21/187 ,  B32B37/0076 ,  H01L21/447 ,  B29C65/002 ,  B29C65/7802 ,  B29C66/452 ,  B29C66/73141 ,  B32B2457/14 ,  B32B37/10 ,  B32B37/18 ,  B32B38/1866 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/683 ,  Y10T156/17

摘要： 본 발명은 기판(3, 8)의 접촉 표면(3k, 8k) 위에서 제2 기판(8)에 제1 기판(3)을 결합하기 위한 방법에 관한 것으로서, 상기 방법은: 제1 수용 장치(1)의 제1 수용 표면(2o) 위에 제1 기판(3)을 수용하고 제2 수용 장치(4)의 제2 수용 표면(2o') 위에 제2 기판(8)을 수용하는 단계; 결합 개시 지점(20)에서 접촉 표면(3k, 8k)을 접촉시키는 단계; 및 결합 개시 지점(20)으로부터 기판(3, 8)의 측면 에지(3s, 8s)로 이동하는 결합파를 따라 제2 기판(8)에 제1 기판(3)을 결합시키는 단계를 포함한다. 상기 방법에 따르면, 제1 기판(3) 및/또는 제2 기판(8)은 결합 공정 동안 및/또는 결합 공정 전에 접촉 표면(3k, 8k)을 결합 개시 지점(20) 외측에 정렬하기 위하여 변형되는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명은 이에 상응하는 장치에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR102233597B1

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：KR1020207006351A

申请日：2013-06-19

申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하

发明人： 무스타파 초위키

IPC分类号： G03F7/00 ,  B32B3/30

CPC分类号： B29C59/005 ,  B32B3/30 ,  C08L71/00 ,  C08L83/04 ,  G03F7/0002 ,  B29C59/16 ,  B29K2083/00 ,  B29K2085/00 ,  B82Y40/00

摘要： 본 발명은 적어도 하나의 중합 가능 주성분 및 적어도 하나의 부성분의 혼합물로 이루어지는, 엠보싱 리소그래피에 사용될 수 있는 경화성 엠보싱 재료에 관한 것이다. 추가로, 본 발명은 엠보싱 형태(4, 4', 4'', 4''', 4
IV )의 일차 형성에 대한 전술한 청구항 중 어느 한 항에 따른 엠보싱 재료의 용도에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR20210024662A

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：KR1020217005302A

申请日：2016-08-29

申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하

发明人： 토마스 바겐라이트너 ,  도미니크 친너 ,  유르겐 마르쿠스 쥐쓰 ,  크리스티안 진 ,  유르겐 말링거

IPC分类号： H01L21/68 ,  B23K20/00 ,  H01L21/67

CPC分类号： H01L21/682 ,  B23K20/00 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/681 ,  H01L23/544 ,  H01L21/67121 ,  H01L21/67144 ,  H01L21/6838 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54426

摘要： 기질을 정렬하기 위한 방법 및 장치.
본 발명은 복수의 감지 유닛 및 대응하는 장치를 이용하여 제1 기질을 제2 기질과 정렬하고 접촉시키는 방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR20210029286A

公开(公告)日：2021-03-15

申请号：KR1020217006520A

申请日：2011-01-25

申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하

发明人： 토마스 플라흐 ,  쿠르트 힝얼 ,  마르쿠스 빔프링어 ,  크리스토프 플뢰트겐

IPC分类号： H01L21/18 ,  H01L21/20 ,  H01L21/70 ,  H01L21/762

CPC分类号： H01L24/83 ,  H01L21/187 ,  H01L21/2007 ,  H01L21/70 ,  H01L21/76251 ,  H01L24/80 ,  H01L2224/80907 ,  H01L2224/83009 ,  H01L2224/83894 ,  H01L2224/83907 ,  H01L2924/01001 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/01008 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/20102 ,  H01L2924/20103 ,  H01L2924/20104 ,  H01L2924/20105 ,  H01L2924/20106

摘要： 본 발명은, 제 1 기질의 제 1 접촉 표면(3)을 하기 단계들 특히, 하기 시퀀스에 따라 제 2 기질(2)의 제 2 접촉 표면(4)에 결합시키기 위한 결합 방법에 관한 것이고,
- 상기 제 1 접촉 표면(3)상의 표면층(6)내에 리저버(5)를 형성하는 단계,
- 제 1 추출물 또는 제 1 그룹의 추출물로 상기 리저버(5)를 적어도 부분적으로 충진하는 단계,
- 예비결합 연결부를 형성하기 위하여 상기 제 2 접촉 표면(4)과 제 1 접촉 표면(3)이 접촉하는 단계,
- 상기 제 1 및 제 2 접촉 표면(3,4)들사이에 위치하고 상기 제 2 기질(2)의 반응층(7)내에 포함된 제 2 추출물과 제 1 추출물의 반응에 의해 강화되는 영구적인 결합을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR102225764B1

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：KR1020207008326A

申请日：2011-01-25

申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하

发明人： 토마스 플라흐 ,  쿠르트 힝얼 ,  마르쿠스 빔프링어 ,  크리스토프 플뢰트겐

IPC分类号： H01L21/18 ,  H01L21/20 ,  H01L21/70 ,  H01L21/762

CPC分类号： H01L24/83 ,  H01L21/187 ,  H01L21/2007 ,  H01L21/70 ,  H01L21/76251 ,  H01L24/80 ,  H01L2224/80907 ,  H01L2224/83009 ,  H01L2224/83894 ,  H01L2224/83907 ,  H01L2924/01001 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/01008 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/20102 ,  H01L2924/20103 ,  H01L2924/20104 ,  H01L2924/20105 ,  H01L2924/20106

摘要： 본 발명은, 제 1 기질의 제 1 접촉 표면(3)을 하기 단계들 특히, 하기 시퀀스에 따라 제 2 기질(2)의 제 2 접촉 표면(4)에 결합시키기 위한 결합 방법에 관한 것이고,
- 상기 제 1 접촉 표면(3)상의 표면 층(6)내에 리저버(5)를 형성하는 단계,
- 제 1 추출물 또는 제 1 그룹의 추출물로 상기 리저버(5)를 적어도 부분적으로 충진하는 단계,
- 예비결합 연결부를 형성하기 위하여 상기 제 2 접촉 표면(4)과 제 1 접촉 표면(3)이 접촉하는 단계,
- 상기 제 1 및 제 2 접촉 표면(3,4)들사이에 위치하고 상기 제 2 기질(2)의 반응 층(7)내에 포함된 제 2 추출물과 제 1 추출물의 반응에 의해 강화되는 영구적인 결합을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.