誘電体基板を研磨するための安定化された砥粒粒子を有する化学機械研磨組成物

    公开(公告)号:JP2020117707A

    公开(公告)日:2020-08-06

    申请号:JP2020009925

    申请日:2020-01-24

    发明人: GUO YI

    摘要: 【課題】アルカリ性pHで安定化されたコロイダルシリカ砥粒粒子を有する化学機械研磨組成物および研磨方法を提供する。【解決手段】ポリアルコキシ化有機シランで安定化されたコロイダルシリカ砥粒粒子を含む、誘電体基板を研磨するための化学機械研磨組成物。ポリアルコキシ有機シラン化合物がコロイダルシリカ砥粒粒子の表面を共有結合で修飾して立体的保護をもたらすことによって、凝集が抑制される。そのような立体的保護は、比較的高い濃度の無機塩であっても達成される。【選択図】なし

    化学的耐性ポリマー材料のためのクロム不含エッチング溶液

    公开(公告)号:JP2019026933A

    公开(公告)日:2019-02-21

    申请号:JP2018122668

    申请日:2018-06-28

    发明人: CATHERINE MULZER

    摘要: 【課題】環境に優しいクロム不含エッチング溶液であるアルカリ水溶液により、アクリロニトリルブタジエンスチレンなどの化学的耐性ポリマー材料をエッチングする方法を提供する。【解決手段】a.アクリロニトリルブタジエンスチレン及びアクリロニトリルブタジエンスチレン−ポリカーボネートから選択される1つ以上の有機ポリマーを含む基板を提供することと、b.過酸化水素と、1つ以上の水酸化物イオン源とからなる水性アルカリ性エッチング組成物を提供することと、c.アクリロニトリルブタジエンスチレン及びアクリロニトリルブタジエンスチレン−ポリカーボネートから選択される少なくとも1つ以上の有機ポリマーをエッチングするために、水性アルカリ性エッチング組成物を前記基板に適用することと、を含む、方法。【選択図】なし

    着色感光性樹脂組成物及びそれから調製される遮光スペーサ

    公开(公告)号:JP2019003189A

    公开(公告)日:2019-01-10

    申请号:JP2018110968

    申请日:2018-06-11

    摘要: 【課題】硬化膜が形成される際に不均一なしわの発生を防止し、それによって、ディスプレイの形成時にその縁に発生し得る斑点を防止し、かつ短い現像時間を有する、着色感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)エポキシ基を含むコポリマーと、(B)二重結合を含む光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)黒色無機着色剤を含む着色剤と、を含み、前記着色剤が、前記着色剤の固形分の総重量に基づいて、50〜100重量%の前記黒色無機着色剤を含み、前記コポリマー(A)内の前記エポキシ基に対する、前記光重合性化合物(B)内の前記二重結合のモル比が、4≦二重結合のモル数/エポキシ基のモル数≦35、の関係を満たす、着色感光性樹脂組成物。【選択図】図1

    環境に優しいニッケル電気めっき組成物及び方法

    公开(公告)号:JP2019002070A

    公开(公告)日:2019-01-10

    申请号:JP2018100957

    申请日:2018-05-25

    发明人: MICHAEL LIPSCHUTZ

    IPC分类号: C25D3/18

    摘要: 【課題】光沢性ニッケル電気めっき組成物の提供。【解決手段】ニッケルイオン、酢酸イオン、サッカリン酸ナトリウム、及びN−ベンジルピリジニウムスルホネート化合物を有する。(R1及びR2は、独立して、H、OH、及びC1−C4アルキルから選ばれる。)【選択図】なし