相分離構造形成用樹脂組成物、相分離構造を含む構造体の製造方法、及びブロックコポリマー

    公开(公告)号:JP2020189930A

    公开(公告)日:2020-11-26

    申请号:JP2019096207

    申请日:2019-05-22

    Abstract: 【課題】新たなモノマーを必要とせずに相分離性能をより高められる、相分離構造を含む構造体の製造方法、及びこれに用いる相分離構造形成用樹脂組成物の提供。 【解決手段】スチレン単位の繰り返し構造からなるブロック(b1)と、メタクリル酸メチル単位の繰り返し構造からなるブロック(b2)と、を有し、且つ少なくとも一方の末端部に前記ブロック(b2)が配置されたブロックコポリマー、を含有する、相分離構造形成用樹脂組成物であって、前記ブロックコポリマーは、少なくとも一方の主鎖末端に、一般式(e1)で表される構造(e1)を有し、前記ブロックコポリマーの末端部に配置される前記ブロック(b2)の主鎖末端に結合している、相分離構造形成用樹脂組成物。R e0 は、ヘテロ原子を含む炭化水素基を表し、R e1 は、水素原子又はハロゲン原子を表す。 【選択図】なし

    相分離構造を含む構造体の製造方法

    公开(公告)号:JPWO2018062157A1

    公开(公告)日:2019-07-11

    申请号:JP2017034702

    申请日:2017-09-26

    Abstract: ブロックコポリマー、及びカチオン部とアニオン部とを有する化合物(IL)を含むイオン液体を含有する相分離構造形成用樹脂組成物を用いて、基板1上にブロックコポリマーを含む層(BCP層)3を形成する工程と、化合物(IL)の少なくとも一部を気化させ、かつ、BCP層3を相分離させて、相分離構造を含む構造体3’を得る工程と、を有する、相分離構造を含む構造体の製造方法。

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