公开(公告)号：JP6254060B2

公开(公告)日：2017-12-27

申请号：JP2014186022

申请日：2014-09-12

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 悠介 森脇 ,  悠介 森脇 ,  光一 寺田 ,  光一 寺田 ,  菅谷　昌和 ,  昌和 菅谷 ,  博紀 小川 ,  博紀 小川 ,  桃井　康行 ,  康行 桃井 ,  柴田　信雄 ,  信雄 柴田 ,  橘内　浩之 ,  浩之 橘内 ,  清水　利彦 ,  利彦 清水 ,  中川　周一 ,  周一 中川

IPC: H01J37/20

公开(公告)号：JPWO2014002579A1

公开(公告)日：2016-05-30

申请号：JP2014522459

申请日：2013-04-12

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 桃井　康行 ,  康行 桃井 ,  羽根田　茂 ,  茂 羽根田 ,  坂本　直樹 ,  直樹 坂本 ,  匡 柴原 ,  匡 柴原 ,  亮斗 田ノ口 ,  亮斗 田ノ口

IPC: G05D3/12 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  G02B21/06 ,  G02B21/26 ,  G05B19/402 ,  G05D3/12 ,  H01J37/28 ,  H01J37/292 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20264

Abstract: 高精度な位置決めが実現できることに加え、高い速度安定性を有するステージ装置、およびこのステージ装置を備えた光学式顕微鏡や走査電子顕微鏡等の試料観察装置を提供することを目的として、本発明のステージ装置および試料観察装置は、所定時間ごとの指令電圧値を表す標準波形データを用いてステージ機構を駆動したときの変位または速度の第一の時刻歴応答とステージ機構の速度が一定となる場合の変位または速度の第二の時刻歴応答との差をゼロにするように、標準波形データの指令電圧値または指令電圧値の出力タイミングを補正して、ステージ機構の駆動部へ出力する駆動波形データとすることを特徴とする。

Abstract translation: 除了高精度定位，可以实现具有高的速度级装置的稳定性，以及用于提供样品观察装置的用途，例如光学显微镜或配备有载置台装置的扫描电子显微镜，在本发明的一个阶段 装置和样品观察装置中，当使用标准的波形数据代表的指令电压值的每个规定的时间常数，用于驱动载物台机构时位移或速度的第一时间历史和阶段机构的速度 到零的位移或速度的第二时间历史之间的差，通过校正标准波形数据的指令电压值或指令电压值的输出定时的驱动波形数据，并且将其输出到阶段机构的驱动单元 特征在于。

公开(公告)号：JP5452405B2

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：JP2010168774

申请日：2010-07-28

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 康行 桃井 ,  恒一郎 竹内 ,  要 高橋 ,  茂 羽根田

IPC: H01J37/20

CPC classification number: G21K5/08 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/20278

公开(公告)号：JPWO2016088249A1

公开(公告)日：2017-09-21

申请号：JP2016562168

申请日：2014-12-05

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 鈴木　浩之 ,  浩之 鈴木 ,  桃井　康行 ,  康行 桃井 ,  信行 牧 ,  信行 牧

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/244

Abstract: 本発明の荷電粒子線装置は、試料(133)に荷電粒子線(141)を照射する荷電粒子線光学系(129)と、Z軸ステージ(109)と、当該Z軸ステージに配置され、第1の検出器(142)が配置されたT軸ステージ(110)と、当該T軸ステージに配置されたXYR軸ステージ(106,107,108)とを有し、試料が配置される試料ステージ(100)と、を備える。当該荷電粒子線装置は、前記Z軸ステージ又は前記T軸ステージを移動させても、前記第1の検出器と前記試料との相対的な位置関係が維持されるように構成されている。