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公开(公告)号：JP2019127579A
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：JP2018200794
申请日：2018-10-25
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/02 , C09J109/00 , B32B7/06 , B32B27/28 , C08L53/02 , C08L25/10 , C09J153/02
Abstract: 【課題】処理対象物の熱劣化が起こらない温度で粘着性を有し、かつ高温環境下であっても溶融粘度が大きくは低下しない仮固定材を用いた処理対象物の処理方法を提供する。 【解決手段】支持体と仮固定材と処理対象物とを有する積層体を形成する工程、処理対象物を加工し、および/または積層体を移動する工程、処理対象物を支持体から分離する工程を有し、仮固定材が、重合性二重結合を含む芳香族化合物由来の構造単位(a1)と共役ジエン由来の構造単位(a2)を有する水添ブロック共重合体(A)と、重合性二重結合を含む芳香族化合物由来の構造単位(b1)と共役ジエン由来の構造単位(b2)を有する非水添ランダム共重合体(B)とを含有する組成物から形成された層(I)を有し、前記(A)中の前記(a1)の含有割合が20質量%以上であり、処理対象物が仮固定材上に保持されている、処理対象物の処理方法。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2016042571A
公开(公告)日：2016-03-31
申请号：JP2015118341
申请日：2015-06-11
Applicant: JSR株式会社
IPC: B32B7/06 , H01L21/304 , H01L21/301 , C09J201/00 , C09J4/02 , C09J11/06 , C09J109/00 , B32B27/30 , H01L21/683
CPC classification number: C08L33/08 , H01L21/6835 , C08F222/10 , C08L33/06 , C09J4/06 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2221/68381
Abstract: 【課題】支持体から基材を剥離する際に基材の破損を良好に防ぐことが可能な、基材および支持体が仮固定材により保持されてなる積層体を提供する。 【解決手段】回路面を有する基材30が仮固定材20を介して支持体10上に仮固定された積層体1であり、仮固定材20が、基材30の回路面と接した仮固定材層(I)21と、前記層(I)21における支持体10側の面上に形成された離型層(II)22とを有する。仮固定材層(I)21が、熱可塑性樹脂と、多官能(メタ)アクリレート化合物と、ラジカル重合開始剤とを含有する仮固定用組成物から形成された層であり、離型層(II)22が、熱可塑性樹脂と、離型剤とを含有する仮固定用組成物から形成された層である。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种通过临时固定材料保持基部和支撑体的层压体，并且其被布置成使得当从支撑体剥离基部时可以防止基部被良好地损坏。解决方案：A 层压体1包括：具有电路面的基座30; 支持10; 和临时固定材料20，临时固定材料20具有：与基座30的电路面接触的临时固定材料层（I）21; 以及形成在支撑体10一侧的层（I）21的表面上的剥离层（II）22。临时固定材料层（I）21由包含热塑性塑料的临时定影组合物形成的层 树脂，多官能（甲基）丙烯酸酯化合物和自由基聚合引发剂。 剥离层（II）22是由包含热塑性树脂和脱模剂的临时固定组合物形成的层。选择的图：图1
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公开(公告)号：JP6256478B2
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：JP2015550621
申请日：2014-10-30
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: B32B7/06 , B32B7/12 , B32B27/08 , B32B27/18 , B32B27/308 , B32B27/36 , B32B37/1284 , B32B38/10 , B32B43/006 , B32B2037/268 , B32B2307/748 , B32B2457/14 , C08G77/18 , C08G2261/3324 , C08G2261/418 , C08L53/02 , C08L83/04 , C09D183/06 , C09J165/00 , H01L21/6835 , H01L21/6836 , H01L2221/68318 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2221/68381 , H01L2221/68386
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公开(公告)号：JP2018182069A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017079693
申请日：2017-04-13
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/304
Abstract: 【課題】被処理体を加工等処理するために固定層を介して被処理体を支持体に固定する方法において、被処理体から支持体を剥離した後の被処理体の表面(固定面)の固定層由来の残渣等の汚染を効果的に除去できる洗浄用組成物、およびそれを用いた被処理体の処理方法を提供する。 【解決手段】本発明に係る洗浄用組成物は、被処理体の支持体から剥離した面を洗浄するための濃縮された洗浄用組成物であって、粒子径が0.1〜0.3μmの粒子を3×10 1 〜1.5×10 3 個/mL含有することを特徴とする。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018177975A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017079694
申请日：2017-04-13
Applicant: JSR株式会社
IPC: C11D7/22 , H01L21/304 , C11D7/32
Abstract: 【課題】被処理体から支持体を剥離した後の被処理体の表面の固定層由来の残渣等の汚染を効果的に除去できる洗浄用組成物、処理方法の提供。 【解決手段】被処理体の支持体から剥離した面を洗浄するための洗浄用組成物であって、カリウムと、ナトリウムと、式(1)で表される化合物Aとを含有し、前記カリウムの含有量をM K (ppm)、前記ナトリウムの含有量をM Na (ppm)としたときに、M K /M Na =1×10 −1 〜1×10 4 である洗浄用組成物。 (R 1 〜R 4 は各々独立にH又は有機基;M − はアニオン)好ましくは、被処理体の支持体から剥離した面を洗浄するために、1〜500倍に希釈して使用する、洗浄用組成物。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018177974A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017079692
申请日：2017-04-13
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/304 , C11D7/22 , C11D7/26 , C11D7/10
Abstract: 【課題】被処理体を加工等処理するために固定層を介して被処理体を支持体に固定する方法において、被処理体から支持体を剥離した後の被処理体の表面(固定面)の固定層由来の残渣等の汚染を効果的に除去できる洗浄用組成物、およびそれを用いた被処理体の処理方法を提供する。 【解決手段】本発明に係る洗浄用組成物は、カリウムおよびナトリウムを含有し、被処理体の支持体から剥離した面を洗浄するための洗浄用組成物であって、前記カリウムの含有量をM K (ppm)、前記ナトリウムの含有量をM Na (ppm)としたときに、M K /M Na =5×10 3 〜1×10 5 であることを特徴とする。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6156443B2
公开(公告)日：2017-07-05
申请号：JP2015118341
申请日：2015-06-11
Applicant: JSR株式会社
IPC: B32B7/06 , H01L21/304 , H01L21/301 , C09J201/00 , C09J4/02 , C09J11/06 , C09J109/00 , B32B27/30 , H01L21/683
CPC classification number: C08L33/08 , H01L21/6835 , C08F222/10 , C08L33/06 , C09J4/06 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2221/68381
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