Method for transesterification or esterification of side chain in polymer
    2.
    发明专利
    Method for transesterification or esterification of side chain in polymer 审中-公开
    聚合物中侧链的转化或纯化方法

    公开(公告)号:JP2012126919A

    公开(公告)日:2012-07-05

    申请号:JP2012080115

    申请日:2012-03-30

    CPC classification number: C08F220/18 C08F8/14 C08F220/62 C08F220/00

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substitutional method for modifying poly(meth)acrylates.SOLUTION: The method for transesterifying or esterifying side chains in polymers comprises the following steps (a) and (b): (a) a process for producing copolymer which is obtained by polymerizing (aa) at least one (meth)acrylates of general formula (I) [chemical formula 1] as component A, and (ab) at least one monomer of general formula (II) [chemical formula 2] as component B, and (b) a process for transesterifying or esterifying the carboxyl group containing the radical Rwith an alcohol in the presence of an enzyme catalyzing the transesterification or esterification.

    Abstract translation: 要解决的问题:提供改性聚(甲基)丙烯酸酯的替代方法。 聚合物中侧链酯交换或酯化方法包括以下步骤(a)和(b):(a)通过使(aa)至少一种(甲基)丙烯酸酯聚合而获得的共聚物的制备方法 作为组分A的通式(I)[化学式1]和(ab)至少一种通式(II)的单体[化学式2]作为组分B,和(b)将羧基酯交换或酯化的方法 在催化酯交换反应或酯化的酶存在下,用醇进行含有基团R 4 的基团。 版权所有(C)2012,JPO&INPIT

    ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
    5.
    发明专利
    ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法 有权
    使用它的正极性材料和图案形成方法

    公开(公告)号:JP2015049465A

    公开(公告)日:2015-03-16

    申请号:JP2013182741

    申请日:2013-09-04

    Abstract: 【解決手段】カルボキシル基及び/又はフェノール性水酸基の水素原子が酸不安定基で置換されている繰り返し単位と、一般式(1)で示される繰り返し単位とを含む重量平均分子量が1,000〜500,000の範囲である高分子化合物をベース樹脂にしているポジ型レジスト材料。【効果】上記ポジ型レジスト材料は、酸の拡散を抑える効果が高く、高解像性を有し、露光後のパターン形状とエッジラフネスが良好である。従って、特に超LSI製造用あるいはEB描画によるフォトマスクの微細パターン形成材料、EBあるいはEUV露光用のパターン形成材料として好適なポジ型レジスト材料、特には化学増幅ポジ型レジスト材料を得ることができる。【選択図】なし

    Abstract translation: 要解决的问题:提供具有抑制酸的扩散,高分辨率和良好的图案形状和曝光后的边缘粗糙度的高效果的正性抗蚀剂材料,并提供正性抗蚀剂材料,特别是提供化学放大的正性抗蚀剂 适合作为制造VLSI的材料的材料,或通过EB图案形成光掩模的精细图案的材料,或用于EB或EUV曝光的图案形成材料。解决方案:正性抗蚀剂材料包含以下作为基础树脂的聚合物: 高分子化合物包括其中羧基和/或酚羟基的氢原子被酸不稳定基团代替的重复单元和由通式(1)表示的重复单元,并且具有重均分子量范围 从1000到500,000。

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