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公开(公告)号：JP2018060069A
公开(公告)日：2018-04-12
申请号：JP2016197752
申请日：2016-10-06
申请人： 信越化学工業株式会社
CPC分类号： G03F7/0045 , C07C51/00 , C07C51/41 , C08F12/24 , C08F212/14 , C08F220/28 , C08F220/30 , C08F2220/283 , C08F2220/301 , C08F2800/20 , C09D125/18 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/2006 , G03F7/322 , G03F7/38 , H01L21/0274 , C08F212/32 , C08F220/20 , C08F220/24 , C08F2220/1891 , C08F2220/282
摘要： 【課題】増感効果が高く、酸拡散を抑える効果も有し、解像性、LWR、CDUが良好なレジスト材料、及びこれを用いるパターン形成方法を提供する。 【解決手段】ベースポリマーと、下記式(A)で表されるカルボン酸塩又は下記式(B)で表されるスルホンアミド塩とを含むレジスト材料。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2018055089A
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：JP2017163477
申请日：2017-08-28
申请人： 信越化学工業株式会社
CPC分类号： G03F7/0045 , G03F7/0382 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/2004 , G03F7/30 , G03F7/38
摘要： 【課題】増感効果が高く、酸拡散を抑える効果も有し、解像性、LWR、CDUが良好なレジスト材料、及びこれを用いるパターン形成方法を提供する。 【解決手段】ベースポリマーと、ヨウ素化芳香族基を有するカルボン酸の、ナトリウム、マグネシウム、カリウム、カルシウム、ルビジウム、ストロンチウム、セシウム、バリウム、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、カドミウム、スズ、アンチモン、ジルコニウム、ハフニウム、セリウム、アルミニウム及びインジウムから選ばれる金属塩とを含むレジスト材料。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP6248882B2
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：JP2014195029
申请日：2014-09-25
申请人： 信越化学工業株式会社
IPC分类号： C07C309/42 , C07C381/12 , C07D327/08 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , C07C309/73
CPC分类号： C07C305/24 , C07C309/42 , C07C309/73 , C07C381/12 , C07D279/20 , C07D327/08 , C07D333/76 , C07D335/12 , C07D335/16 , C07D339/08 , C07D493/08 , G03F1/76 , G03F1/78 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/20 , G03F7/2004 , G03F7/2037 , G03F7/322 , C07C2101/08 , C07C2101/14 , C07C2101/20 , C07C2103/74 , C07C2601/08 , C07C2601/14 , C07C2601/20 , C07C2603/74
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公开(公告)号：JP6019849B2
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：JP2012155862
申请日：2012-07-11
申请人： セントラル硝子株式会社
IPC分类号： C07C69/54
CPC分类号： G03F7/0045 , C07C309/10 , C08F220/24 , C08F220/28 , C08F220/38 , C08F222/14 , C08F222/18 , C08F228/04 , C08F28/04 , G03F7/004 , G03F7/0041 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/20 , G03F7/2039 , G03F7/2041 , G03F7/30 , C07C2101/08 , C07C2101/14 , C07C2101/18 , C07C2103/74 , C08F2220/382
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公开(公告)号：JP5987802B2
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：JP2013182741
申请日：2013-09-04
申请人： 信越化学工業株式会社
IPC分类号： G03F7/004 , C08F220/30 , G03F7/039
CPC分类号： G03F7/039 , C08F220/18 , C08F220/30 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/085 , G03F7/2002 , G03F7/2037 , G03F7/2041 , G03F7/38 , C08F220/22 , C08F220/62
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公开(公告)号：JP5842741B2
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：JP2012134378
申请日：2012-06-14
申请人： 信越化学工業株式会社
CPC分类号： G03F7/038 , G03F1/32 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/203 , G03F7/2041 , G03F7/325 , G03F7/70466
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公开(公告)号：JP5775701B2
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：JP2011029622
申请日：2011-02-15
申请人： 富士フイルム株式会社
CPC分类号： G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/0757 , G03F7/11 , G03F7/2041 , G03F7/325 , Y10T428/24479
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公开(公告)号：JP5712469B2
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：JP2009172872
申请日：2009-07-24
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： C07C303/28 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027 , C07C309/70
CPC分类号： C07C309/00 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , C07C2101/14 , C07C2103/18 , C07C2103/74 , Y10S430/111 , Y10S430/12 , Y10S430/122 , Y10S430/126
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公开(公告)号：JP5692035B2
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：JP2011273949
申请日：2011-12-15
申请人： 信越化学工業株式会社
IPC分类号： G03F7/039 , G03F7/32 , H01L21/027 , G03F7/038
CPC分类号： G03F7/004 , C08F20/10 , C08F220/28 , C08F232/08 , G03F7/0392 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , G03F7/325
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公开(公告)号：JP5609980B2
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：JP2012533010
申请日：2011-09-07
CPC分类号： G03F7/0395 , C07C69/716 , C07C69/72 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0397
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