多環芳香族ビニル化合物を含む自己組織化膜の下層膜形成組成物
    4.
    发明专利
    多環芳香族ビニル化合物を含む自己組織化膜の下層膜形成組成物 审中-公开
    含有多环芳族乙烯基化合物的自组织化膜的下层膜形成用组合物

    公开(公告)号:JPWO2014097993A1

    公开(公告)日:2017-01-12

    申请号:JP2014553113

    申请日:2013-12-13

    摘要: 【課題】上層の自己組織化膜とインターミキシング(層混合)を引き起こさず、自己組織化膜に垂直パターンを形成する自己組織化膜の下層膜を提供する。【解決手段】ポリマーの全単位構造あたり多環芳香族ビニル化合物の単位構造を0.2モル%以上有するポリマーを含むことを特徴とする自己組織化膜の下層膜形成組成物。前記ポリマーは、芳香族ビニル化合物の単位構造をポリマーの全単位構造あたり20モル%以上有し、且つ芳香族ビニル化合物の全単位構造あたり多環芳香族ビニル化合物の単位構造が1モル%以上有するポリマーである。前記芳香族ビニル化合物は、各々置換されていてもよいビニルナフタレン、アセナフチレン又はビニルカルバゾールを含み、前記多環芳香族ビニル化合物はビニルナフタレン、アセナフチレン又はビニルカルバゾールである。また前記芳香族ビニル化合物は置換されていてもよいスチレンと各々置換されていてもよいビニルナフタレン、アセナフチレン又はビニルカルバゾールを含み、多環芳香族ビニル化合物がビニルナフタレン、アセナフチレン又はビニルカルバゾールである。【選択図】図1

    摘要翻译: 而不会引起自组织化膜混合(层混合物)的上层A,提供了一种形成在所述自组装薄膜的垂直图案的自组装膜的下层膜。 的形成下层膜的自组装膜,其中每聚合物的结构中的总单元的多环芳族乙烯基化合物的单元结构包括具有至少0.2摩尔%的聚合物的组合物。 该聚合物具有超过每聚合物的总结构单元20摩尔%的芳族乙烯基化合物的结构单元,和每个所述芳族乙烯基化合物的结构中的总单元的多环芳族乙烯基化合物的单元结构具有超过1%(摩尔) 它是一种聚合物。 芳香族乙烯基化合物包括各任选取代的乙烯基萘,苊烯或乙烯基咔唑,多环芳族乙烯基化合物是乙烯基萘,苊烯或乙烯基咔唑。 此外,芳香族乙烯基化合物与甚至更好苯乙烯任选任选取代的乙烯基萘分别被取代的,包括苊或乙烯基咔唑,多环芳族乙烯基化合物是乙烯基萘,苊烯或乙烯基咔唑。 1点域