粘着シート
    5.
    发明专利
    粘着シート 审中-公开
    压敏粘合剂片材

    公开(公告)号:JPWO2014142193A1

    公开(公告)日:2017-02-16

    申请号:JP2015505527

    申请日:2014-03-12

    Abstract: 電子部品等の微小部品の切断加工の際、優れた切断精度および切削屑の低減を実現し得る粘着シートを提供する。本発明の粘着シートは、加熱によって粘着力が低下する粘着面を、片面にのみ有し、該粘着面とは反対側の面のナノインデンテーション法による弾性率が、1MPa以上である。好ましい実施形態においては、断面視において、一方の面が上記粘着面である粘着剤領域と、該粘着剤領域の該粘着面とは反対側に隣接する被覆材領域とを有し、該粘着剤領域が、粘着剤と熱膨張性微小球とを含む。

    Abstract translation: 在切割过程中的小部分,例如电子元件,提供一种能够实现在良好的切割精度降低和切屑的压敏粘合剂片材。 本发明的压敏粘合片,粘合力的粘合表面被加热而降低,只有一个侧面,通过纳米压痕法表面相对的压敏粘合剂表面的弹性模量是为1MPa以上。 在一个优选的实施方案中,在一横截面视图,它具有在一侧上的粘合剂区域被粘接面,和一个梳妆区邻近于相对的压敏粘合剂区,粘合剂的压敏粘合表面上的侧 区包括压敏粘合剂和热膨胀微球。

    ウエハの処理方法
    8.
    发明专利
    ウエハの処理方法 有权
    晶片的加工方法

    公开(公告)号:JPWO2014024829A1

    公开(公告)日:2016-07-25

    申请号:JP2013539027

    申请日:2013-08-05

    Abstract: 本発明は、接着剤組成物を介してウエハを支持板に固定した状態でウエハを処理するウエハの処理方法であって、より高い生産効率を実現したウエハの処理方法を提供することを目的とする。本発明は、接着剤成分と、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤とを含有する接着剤組成物を介してウエハを支持板に固定する支持板固定工程と、前記支持板に固定されたウエハに処理を施すウエハ処理工程と、前記処理後のウエハに紫外線を照射して前記気体発生剤から気体を発生させて、支持板をウエハから剥離する支持板剥離工程とを有するウエハの処理方法であって、前記支持板剥離工程において、照射強度100mW/cm2以上の点状又は線状の紫外線を用いてウエハの全面を走査するように照射するウエハの処理方法である。

    Abstract translation: 本发明包括处理晶片以处理晶片在通过该粘合剂组合物中的晶片支撑板固定的状态的方法的一个目的,是提供一种实现了更高的生产效率的处理晶片的方法 到。 本发明包括一种粘合剂组分,通过粘合剂组合物含有通过紫外线的照射而产生气体的气体发生剂的晶片支撑板固定的支撑板固定工序中,在支撑板 具有固定晶片进行处理的晶片处理步骤的晶片,所述晶片处理之后用紫外线从所说的气体发生剂照射而产生的气体,和一个支承板剥离从晶片剥离支承板的步骤 的处理方法,在支撑板剥离工序中,照射到扫描使用的辐射强度为100mW / cm 2 @或多个点状或线状的紫外线的晶片的整个表面的晶片处理方法。

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