公开(公告)号：JP2006512753A

公开(公告)日：2006-04-13

申请号：JP2004563030

申请日：2003-12-30

Applicant: シーイービーティー・カンパニー・リミティッドCebt Co., Ltd.

Inventor： アーン・セウンジョーン ,  キム・ダエウォーク ,  キム・ホセオブ

IPC: H01L21/027 ,  G03F9/00 ,  G21K1/00 ,  G21K5/04 ,  H01J3/02 ,  H01J3/10 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/067 ,  H01J37/15

CPC classification number: H01J3/028 ,  H01J3/10 ,  H01J37/067 ,  H01J37/15 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1502 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24507

Abstract: 【課題】 電子放出源から放出される電子（電子ビーム）の位置をエクストラクタで直接感知することによって、マイクロカラムのエクストラクタ孔及び電子放出源の整列をより容易に且つ簡便に行うことができ、しかも自動整列を可能にすることによって、長時間電子カラムを使用しても、正確な整列補正を容易に且つ自動に行うことができるエクストラクタ及びこれらを整列する方法を提供する。
【解決手段】 本発明によるマイクロカラムに用いられるエクストラクタは、電子放出源から放出された電子ビームの電子を電気的に導通させる複数の感知領域と、電子の流れを遮断する絶縁体又は電子の流れを減少させる低濃度ドープ半導体よりなり、前記各々の感知領域を分割する絶縁部と、を備える。

公开(公告)号：JP2004534360A

公开(公告)日：2004-11-11

申请号：JP2003505604

申请日：2002-06-11

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 護 中筋 ,  徹 佐竹 ,  隆男 加藤 ,  武司 村上 ,  賢治 渡辺 ,  伸治 野路

IPC: G01N23/225 ,  H01J3/02 ,  H01J3/10 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01J3/10 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N23/225 ,  H01J3/021 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/2817

Abstract: カソード及びアノードを有する電子銃から放出された電子線を試料上に集束させて照射し、試料から放出された二次電子を検出器へ入射させる電子線装置であって、電子銃から試料へ放出される電子線の照射を最適化する手段を備え、該最適化手段は、電子銃に近接して配置された二段の偏向器より構成することができ、該二段の偏向器は、カソードの結晶方位のうち電子線放出が大きい結晶方位が光軸方向を向いていないことにより光軸に対して角度をなす方向に放出された電子線を、電子線装置の光軸方向に向かわせるよう偏向及び指向するようにした電子線装置。