公开(公告)号：JPS5324296B2

公开(公告)日：1978-07-20

申请号：JP6986175

申请日：1975-06-10

IPC: H01J31/15 ,  C09K11/08 ,  H01J3/10

公开(公告)号：JP2004534360A

公开(公告)日：2004-11-11

申请号：JP2003505604

申请日：2002-06-11

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 護 中筋 ,  徹 佐竹 ,  隆男 加藤 ,  武司 村上 ,  賢治 渡辺 ,  伸治 野路

IPC: G01N23/225 ,  H01J3/02 ,  H01J3/10 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01J3/10 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N23/225 ,  H01J3/021 ,  H01J37/063 ,  H01J37/073 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/2817

Abstract: カソード及びアノードを有する電子銃から放出された電子線を試料上に集束させて照射し、試料から放出された二次電子を検出器へ入射させる電子線装置であって、電子銃から試料へ放出される電子線の照射を最適化する手段を備え、該最適化手段は、電子銃に近接して配置された二段の偏向器より構成することができ、該二段の偏向器は、カソードの結晶方位のうち電子線放出が大きい結晶方位が光軸方向を向いていないことにより光軸に対して角度をなす方向に放出された電子線を、電子線装置の光軸方向に向かわせるよう偏向及び指向するようにした電子線装置。

公开(公告)号：JP2704731B2

公开(公告)日：1998-01-26

申请号：JP18549588

申请日：1988-07-27

IPC: H01J3/10 ,  H01J1/316 ,  H01J3/18 ,  H01J3/30 ,  H01J1/30 ,  H01J29/51

公开(公告)号：JP2006512753A

公开(公告)日：2006-04-13

申请号：JP2004563030

申请日：2003-12-30

Applicant: シーイービーティー・カンパニー・リミティッドCebt Co., Ltd.

Inventor： アーン・セウンジョーン ,  キム・ダエウォーク ,  キム・ホセオブ

IPC: H01L21/027 ,  G03F9/00 ,  G21K1/00 ,  G21K5/04 ,  H01J3/02 ,  H01J3/10 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/067 ,  H01J37/15

CPC classification number: H01J3/028 ,  H01J3/10 ,  H01J37/067 ,  H01J37/15 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1502 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24507

Abstract: 【課題】 電子放出源から放出される電子（電子ビーム）の位置をエクストラクタで直接感知することによって、マイクロカラムのエクストラクタ孔及び電子放出源の整列をより容易に且つ簡便に行うことができ、しかも自動整列を可能にすることによって、長時間電子カラムを使用しても、正確な整列補正を容易に且つ自動に行うことができるエクストラクタ及びこれらを整列する方法を提供する。
【解決手段】 本発明によるマイクロカラムに用いられるエクストラクタは、電子放出源から放出された電子ビームの電子を電気的に導通させる複数の感知領域と、電子の流れを遮断する絶縁体又は電子の流れを減少させる低濃度ドープ半導体よりなり、前記各々の感知領域を分割する絶縁部と、を備える。

公开(公告)号：JPH02112125A

公开(公告)日：1990-04-24

申请号：JP18549588

申请日：1988-07-27

Applicant: CANON KK

Inventor： SHIMIZU AKIRA ,  ONO HARUTO ,  NOMURA ICHIRO ,  SAKANO YOSHIKAZU ,  KANEKO TETSUYA ,  TAKEDA TOSHIHIKO ,  SUZUKI HIDETOSHI

IPC: H01J3/10 ,  H01J1/316 ,  H01J3/18 ,  H01J3/30

Abstract: PURPOSE:To reduce the flicker of a luminous part by electron beams by providing a high potential side electrode on a base surface, providing an electron emitting part in contact with the circumference of the exposed part of this high potential side electrode, and further providing a low potential side electrode in contact with the circumference of the electron emitting part. CONSTITUTION:When a voltage is applied to an accelerating power source 6, electrons tend to converge into the center as the whole. The reason is that as a high potential side electrode 1 has a high potential and a low potential side electrode 2 has a low potential, such a potential distribution that the electrons are converged to the high potential side of the center is generated. Hence, when the electrons are converged to a target electrode 9 by using the accelerating power source 6, a satisfactory convergence property can be obtained without providing an external convergence lens such as a lens electrode as in the past. Thus, as the conventional electrode and convergence lens are made into an integral combined structure of the high potential side electrode 1 and the low potential side electrode 2, the electron beams can be converged into a particular place, or the vertical direction of the center point of this element.

公开(公告)号：JPS55151300A

公开(公告)日：1980-11-25

申请号：JP5917279

申请日：1979-05-16

Applicant: KOGYO GIJUTSUIN

Inventor： TOMIMASU TAKIO

IPC: H01J37/141 ,  G21K1/00 ,  G21K1/093 ,  H01J3/10 ,  H01J37/10 ,  H05H7/00 ,  H05H7/04

公开(公告)号：JPS5194667U

公开(公告)日：1976-07-29

申请号：JP1214175

申请日：1975-01-27

IPC: H01J37/305 ,  H01J3/10 ,  H01J37/26 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JPS54100555U

公开(公告)日：1979-07-16

申请号：JP17495477

申请日：1977-12-27

IPC: H01J3/10 ,  H01J29/48 ,  H01J29/54

公开(公告)号：JPS5394554U

公开(公告)日：1978-08-01

申请号：JP17726076

申请日：1976-12-29

IPC: H01J3/10 ,  H01J29/48 ,  H01J29/54 ,  H01J31/26

公开(公告)号：JPS534388B1

公开(公告)日：1978-02-16

申请号：JP6035371

申请日：1971-08-11

IPC: H01J3/10 ,  H01J37/063 ,  H01J37/065 ,  H01J29/48 ,  H01J3/02

Abstract: In an electron gun, an anode structure in which the electron beam aperture is defined by four mutually insulated anode segments which may be energized to provide beam centering. In a preferred embodiment, the anode segments are shaped to intercept the beam if it is off-center, and are returned to ground potential through respective resistors thereby being operative automatically to center the beam.