高電子移動率電晶體及其形成方法
    5.
    发明专利
    高電子移動率電晶體及其形成方法 审中-公开
    高电子移动率晶体管及其形成方法

    公开(公告)号:TW201407776A

    公开(公告)日:2014-02-16

    申请号:TW102126223

    申请日:2013-07-23

    CPC classification number: H01L29/66462 H01L29/2003 H01L29/7787

    Abstract: 本發明提供一種高電子移動率電晶體,包括:一第一III-V族化合物層;一第二III-V族化合物層設置於前述第一III-V族化合物層之上並與前述第一III-V族化合物層之組成不同,前述第二III-V族化合物層具有一上表面;一源極特徵與一汲極特徵設置於前述第二III-V族化合物層之上;一閘極設置於前述源極特徵與前述汲極特徵間的前述第二III-V族化合物層上方;一含氟區域內埋於前述閘極下前述該第二III-V族化合物層中,其中前述含氟區域具有一下表面,其低於前述第二III-V族化合物層之上表面;以及一閘介電層設置於至少一部分之前述閘極下且在前述含氟區域上方。本發明亦提供前述高電子移動率電晶體的形成方法。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种高电子移动率晶体管,包括:一第一III-V族化合物层;一第二III-V族化合物层设置于前述第一III-V族化合物层之上并与前述第一III-V族化合物层之组成不同,前述第二III-V族化合物层具有一上表面;一源极特征与一汲极特征设置于前述第二III-V族化合物层之上;一闸极设置于前述源极特征与前述汲极特征间的前述第二III-V族化合物层上方;一含氟区域内埋于前述闸极下前述该第二III-V族化合物层中,其中前述含氟区域具有一下表面,其低于前述第二III-V族化合物层之上表面;以及一闸介电层设置于至少一部分之前述闸极下且在前述含氟区域上方。本发明亦提供前述高电子移动率晶体管的形成方法。

    具偏壓井區之高壓半導體元件以及其形成方法 HIGH VOLTAGE RESISTOR WITH BIASED WELL AND METHOD OF FABRICATING THE SAME
    9.
    发明专利
    具偏壓井區之高壓半導體元件以及其形成方法 HIGH VOLTAGE RESISTOR WITH BIASED WELL AND METHOD OF FABRICATING THE SAME 审中-公开
    具偏压井区之高压半导体组件以及其形成方法 HIGH VOLTAGE RESISTOR WITH BIASED WELL AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

    公开(公告)号:TW201246385A

    公开(公告)日:2012-11-16

    申请号:TW100125076

    申请日:2011-07-15

    IPC: H01L

    CPC classification number: H01L28/20 H01L27/0207 H01L27/0802

    Abstract: 本發明提出一高壓半導體元件。該半導體元件包括一摻雜井區,位於具有相反摻雜極性的基底內。該半導體元件包括一介電結構,位於該摻雜井區之上。該摻雜井區與該介電結構鄰接的一部份相較於該摻雜井區的其餘部份具有較高的摻雜濃度。該半導體元件包括一細長的多晶矽結構,具有一長度L。該摻雜井區與該介電結構相鄰接之該部份與該細長的多晶矽結構中一區段電性耦合,其中該區段與該細長的多晶矽結構之一中央點之間沿著該細長的多晶矽結構具有一預定距離。該預定距離之範圍為0*L至0.1*L之間。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提出一高压半导体组件。该半导体组件包括一掺杂井区,位于具有相反掺杂极性的基底内。该半导体组件包括一介电结构,位于该掺杂井区之上。该掺杂井区与该介电结构邻接的一部份相较于该掺杂井区的其余部份具有较高的掺杂浓度。该半导体组件包括一细长的多晶硅结构,具有一长度L。该掺杂井区与该介电结构相邻接之该部份与该细长的多晶硅结构中一区段电性耦合,其中该区段与该细长的多晶硅结构之一中央点之间沿着该细长的多晶硅结构具有一预定距离。该预定距离之范围为0*L至0.1*L之间。

    元件 DEVICE
    10.
    发明专利
    元件 DEVICE 审中-公开
    组件 DEVICE

    公开(公告)号:TW201230344A

    公开(公告)日:2012-07-16

    申请号:TW100108673

    申请日:2011-03-15

    IPC: H01L

    Abstract: 本發明提供之元件,含有第一與第二重摻雜區於半導體基板中。半導體基板中形成有至少部份的絕緣區,且絕緣區鄰接第一與第二重摻雜區。閘極介電層係形成於半導體基板上,且部份閘極介電層位於部份的絕緣區上。閘極介電層上形成有閘極。浮置導體位於絕緣區上並與絕緣區垂直重疊。部份的金屬線路位於部份的浮置導體上並垂直重疊部份的浮置導體,其中金屬線路耦接至第二重摻雜區並負載其電壓。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供之组件,含有第一与第二重掺杂区于半导体基板中。半导体基板中形成有至少部份的绝缘区,且绝缘区邻接第一与第二重掺杂区。闸极介电层系形成于半导体基板上,且部份闸极介电层位于部份的绝缘区上。闸极介电层上形成有闸极。浮置导体位于绝缘区上并与绝缘区垂直重叠。部份的金属线路位于部份的浮置导体上并垂直重叠部份的浮置导体,其中金属线路耦接至第二重掺杂区并负载其电压。

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