光檢測裝置
    9.
    发明专利
    光檢測裝置 审中-公开
    光检测设备

    公开(公告)号:TW201635504A

    公开(公告)日:2016-10-01

    申请号:TW105120052

    申请日:2012-08-15

    IPC分类号: H01L27/144

    摘要: 本發明之半導體光檢測元件10係將包含以蓋革模式動作之複數個雪崩光電二極體APD、相對於各雪崩光電二極體APD串列連接之滅弧電阻R1、及並列地連接滅弧電阻R1之信號線TL之光電二極體陣列PDA作為一個通道且具有複數個通道。搭載基板20係與各通道對應之複數個電極E9配置於主面20a側,並且處理來自各通道之輸出信號之信號處理部SP配置於主面20b側。於半導體基板1N中,針對各通道而形成有與信號線TL電性連接之貫通電極TE。貫通電極TE與電極E9經由凸塊電極BE而電性連接。

    简体摘要: 本发明之半导体光检测组件10系将包含以盖革模式动作之复数个雪崩光电二极管APD、相对于各雪崩光电二极管APD串行连接之灭弧电阻R1、及并列地连接灭弧电阻R1之信号线TL之光电二极管数组PDA作为一个信道且具有复数个信道。搭载基板20系与各信道对应之复数个电极E9配置于主面20a侧,并且处理来自各信道之输出信号之信号处理部SP配置于主面20b侧。于半导体基板1N中,针对各信道而形成有与信号线TL电性连接之贯通电极TE。贯通电极TE与电极E9经由凸块电极BE而电性连接。