電子式生物感測器與微流體裝置的整合結構
    1.
    发明专利
    電子式生物感測器與微流體裝置的整合結構 审中-公开
    电子式生物传感器与微流体设备的集成结构

    公开(公告)号:TW201809648A

    公开(公告)日:2018-03-16

    申请号:TW105126570

    申请日:2016-08-19

    IPC分类号: G01N27/02

    摘要: 本發明提供一種電子式生物感測器與微流體裝置的整合結構,包括:一基板,具有導電墊提供與外部電性相連;一流道層,設置於基板上方,包含一流道,以供一流體流動;一覆蓋件,設置於流道層上方,具有一第一流體入口及一第一流體出口,以供流體之流入及流出,第一流體入口及第一流體出口與流道層之流道相連接,且具有一鏤空窗口,以暴露流體;以及一電子式生物感測器,以覆晶方式設置於覆蓋件之上,電子式生物感測器具有一生物感測層,流體從第一流體入口流入,藉由流道流經電子式生物感測器之生物感測層,以進行感測,再從第一流體出口流出。

    简体摘要: 本发明提供一种电子式生物传感器与微流体设备的集成结构,包括:一基板,具有导电垫提供与外部电性相连;一流道层,设置于基板上方,包含一流道,以供一流体流动;一覆盖件,设置于流道层上方,具有一第一流体入口及一第一流体出口,以供流体之流入及流出,第一流体入口及第一流体出口与流道层之流道相连接,且具有一镂空窗口,以暴露流体;以及一电子式生物传感器,以覆晶方式设置于覆盖件之上,电子式生物传感器具有一生物传感层,流体从第一流体入口流入,借由流道流经电子式生物传感器之生物传感层,以进行传感,再从第一流体出口流出。

    半導體裝置及其製造方法
    8.
    发明专利
    半導體裝置及其製造方法 审中-公开
    半导体设备及其制造方法

    公开(公告)号:TW201511230A

    公开(公告)日:2015-03-16

    申请号:TW103111952

    申请日:2014-03-31

    IPC分类号: H01L27/115 H01L29/78

    摘要: 提供一種並不需要對於與字元線(WL)進行自我整合之元件分離區域施加電壓的半導體裝置。 半導體裝置之製造方法,係具備有:形成將在X方向上相鄰接之活性區域(3a)相互作了連接的形狀之假活性區域之工程;和形成犧牲膜之工程;和藉由亦包含犧牲膜地而進行蝕刻,來形成區劃出活性區域(3a)之複數之第1溝渠之工程;和在複數之第1溝渠中埋入元件分離用絕緣膜(10),之後將上述犧牲膜除去之工程;和形成將元件分離用絕緣膜(10)之露出側面作覆蓋之第1側壁絕緣膜,並形成將此第1側壁絕緣膜之側面作覆蓋的第2側壁絕緣膜之工程;和在起因於形成了第2側壁絕緣膜一事所出現的複數之第2溝渠中埋入帽絕緣膜之工程;和在第2側壁絕緣膜之位置處形成複數之第3溝渠,並於其下部形成字元線(WL)之工程。

    简体摘要: 提供一种并不需要对于与字符线(WL)进行自我集成之组件分离区域施加电压的半导体设备。 半导体设备之制造方法,系具备有:形成将在X方向上相邻接之活性区域(3a)相互作了连接的形状之假活性区域之工程;和形成牺牲膜之工程;和借由亦包含牺牲膜地而进行蚀刻,来形成区划出活性区域(3a)之复数之第1沟渠之工程;和在复数之第1沟渠中埋入组件分离用绝缘膜(10),之后将上述牺牲膜除去之工程;和形成将组件分离用绝缘膜(10)之露出侧面作覆盖之第1侧壁绝缘膜,并形成将此第1侧壁绝缘膜之侧面作覆盖的第2侧壁绝缘膜之工程;和在起因于形成了第2侧壁绝缘膜一事所出现的复数之第2沟渠中埋入帽绝缘膜之工程;和在第2侧壁绝缘膜之位置处形成复数之第3沟渠,并于其下部形成字符线(WL)之工程。

    半導體晶片模組的製造方法
    10.
    发明专利
    半導體晶片模組的製造方法 审中-公开
    半导体芯片模块的制造方法

    公开(公告)号:TW201743409A

    公开(公告)日:2017-12-16

    申请号:TW106119874

    申请日:2017-06-14

    IPC分类号: H01L21/78 H01L21/304

    摘要: 本發明涉及一種半導體晶片模組的製造方法,詳言之,係對包含貼合有多個半導體晶片的PCB層的PCB基板以半導體晶片的邊界為準進行切割,從而製造半導體晶片模組的半導體晶片模組的製造方法。本發明揭露一種半導體晶片模組的製造方法,包括:PCB基板(1)準備步驟,準備PCB基板(1),PCB基板(1)包括PCB層(20)和玻璃層(10),PCB層(20)貼合有執行預先設定功能的多個半導體晶片(24),並以半導體晶片(24)為基準分割PCB層(20),玻璃層(10)附著在PCB層20的一面;分割步驟,利用雷射光束依次切割PCB層(20)和玻璃層(10),以半導體晶片(24)為基準按照預先設定的形狀分割的分割PCB基板(1)步驟。

    简体摘要: 本发明涉及一种半导体芯片模块的制造方法,详言之,系对包含贴合有多个半导体芯片的PCB层的PCB基板以半导体芯片的边界为准进行切割,从而制造半导体芯片模块的半导体芯片模块的制造方法。本发明揭露一种半导体芯片模块的制造方法,包括:PCB基板(1)准备步骤,准备PCB基板(1),PCB基板(1)包括PCB层(20)和玻璃层(10),PCB层(20)贴合有运行预先设置功能的多个半导体芯片(24),并以半导体芯片(24)为基准分割PCB层(20),玻璃层(10)附着在PCB层20的一面;分割步骤,利用激光光束依次切割PCB层(20)和玻璃层(10),以半导体芯片(24)为基准按照预先设置的形状分割的分割PCB基板(1)步骤。