半導體結構及其製法
    5.
    发明专利
    半導體結構及其製法 审中-公开
    半导体结构及其制法

    公开(公告)号:TW201505085A

    公开(公告)日:2015-02-01

    申请号:TW102126420

    申请日:2013-07-24

    Abstract: 一種半導體結構之製法,係包括:提供一由複數中介板所構成之基板本體,該基板本體係具有相對的中介側與置晶側,並具有複數連通該中介側與該置晶側之導電穿孔;以及進行由該中介側朝該置晶側之方向切割之切割製程,以分離各該中介板,故於該中介側上不需形成習知絕緣膠,因此,本發明之製法無習知殘留膠材於中介板表面之問題,且能簡化製程,同時能降低成本。

    Abstract in simplified Chinese: 一种半导体结构之制法,系包括:提供一由复数中介板所构成之基板本体,该基板本体系具有相对的中介侧与置晶侧,并具有复数连通该中介侧与该置晶侧之导电穿孔;以及进行由该中介侧朝该置晶侧之方向切割之切割制程,以分离各该中介板,故于该中介侧上不需形成习知绝缘胶,因此,本发明之制法无习知残留胶材于中介板表面之问题,且能简化制程,同时能降低成本。

    中介板及其製法
    6.
    发明专利
    中介板及其製法 审中-公开
    中介板及其制法

    公开(公告)号:TW201501256A

    公开(公告)日:2015-01-01

    申请号:TW102121484

    申请日:2013-06-18

    Abstract: 一種中介板之製法,係包括:於一板體之一側形成複數第一開孔,再形成第一金屬層於該第一開孔中;接著,於該板體之另一側形成連通該第一開孔之複數第二開孔,再形成第二金屬層於該第二開孔中,令該第一金屬層電性連接該第二金屬層,以形成導電穿孔。藉由分段完成該導電穿孔,以縮短形成金屬層之時間,故於該板體表面上不會積累太厚之金屬材,而使該金屬材表面較為平坦,且於該開孔之端面周圍不會形成多餘覆蓋材。本發明復提供一種中介板。

    Abstract in simplified Chinese: 一种中介板之制法,系包括:于一板体之一侧形成复数第一开孔,再形成第一金属层于该第一开孔中;接着,于该板体之另一侧形成连通该第一开孔之复数第二开孔,再形成第二金属层于该第二开孔中,令该第一金属层电性连接该第二金属层,以形成导电穿孔。借由分段完成该导电穿孔,以缩短形成金属层之时间,故于该板体表面上不会积累太厚之金属材,而使该金属材表面较为平坦,且于该开孔之端面周围不会形成多余覆盖材。本发明复提供一种中介板。

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