公开(公告)号：TWI575622B

公开(公告)日：2017-03-21

申请号：TW100118796

申请日：2011-05-30

申请人： 羅伯特博斯奇股份有限公司 ,  ROBERT BOSCH GMBH

发明人： 布魯德爾 瑪堤亞斯 ,  BRUENDEL, MATHIAS ,  哈格 弗里德爾 ,  HAAG, FRIEDER ,  秀茲 烏爾立克 ,  SCHOLZ, ULRIKE

IPC分类号： H01L21/60 ,  H01L23/50

CPC分类号： H01L21/4832 ,  H01L21/568 ,  H01L23/3107 ,  H01L23/49541 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L24/24 ,  H01L24/96 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/24137 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：TWI549898B

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：TW099129573

申请日：2010-09-02

申请人： 羅伯特博斯奇股份有限公司 ,  ROBERT BOSCH GMBH

发明人： 庫格勒 安德亞斯 ,  KUGLER, ANDREAS ,  埃倫普佛德特 里卡多 ,  EHRENPFORDT, RICARDO ,  布魯德爾 瑪堤亞斯 ,  BRUENDEL, MATHIAS ,  哈格 弗里德爾 ,  HAAG, FRIEDER ,  桑德麥爾 弗里德爾 ,  SUNDERMEIER, FRIEDER ,  秀茲 烏爾立克 ,  SCHOLZ, ULRIKE

IPC分类号： B81C1/00 ,  B82B3/00 ,  B81B7/02 ,  H01L21/56 ,  H01L23/485 ,  H01L23/31

CPC分类号： H01L21/568 ,  B81B2207/096 ,  B81C1/00301 ,  B81C1/00357 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/0191 ,  B81C2203/0154 ,  G01F1/6845 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  H01L21/561 ,  H01L23/3121 ,  H01L24/24 ,  H01L24/82 ,  H01L24/96 ,  H01L24/97 ,  H01L25/16 ,  H01L25/50 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/18 ,  H01L2224/24137 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/83005 ,  H01L2224/83132 ,  H01L2224/83192 ,  H01L2224/92144 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/04941 ,  H01L2924/1301 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1433 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/15747 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/18162 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/00