自我補償接合平行度之彈性凸塊 COMPLIANT BUMP FOR SELF-COMPENSATING BONDING PARALLELISM
    5.
    发明专利
    自我補償接合平行度之彈性凸塊 COMPLIANT BUMP FOR SELF-COMPENSATING BONDING PARALLELISM 失效
    自我补偿接合平行度之弹性凸块 COMPLIANT BUMP FOR SELF-COMPENSATING BONDING PARALLELISM

    公开(公告)号:TWI228299B

    公开(公告)日:2005-02-21

    申请号:TW092137187

    申请日:2003-12-26

    IPC: H01L

    CPC classification number: H01L2224/73204 H01L2224/83101

    Abstract: 本發明係有關於一種利用自我補償之彈性凸塊於結合一晶粒於一基板之方法,該方法包括:提供一正面包含複數個接墊之積體電路晶圓與一基板;塗覆一由可壓縮高分子所組成之彈性材料於該晶圓之背面,並利用微影技術定義該彈性材料之區域,以形成彈性凸塊;切割該晶圓以形成複數個晶粒;以及施壓於該晶粒之背面,以將該晶粒之正面與基板接合。此構裝結合方式可消除應力,減少平行度差異,同時利用晶粒本身之接墊達到與基板電性上導通的目的。其中該自我補償之彈性凸塊之結構亦一併揭示。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明系有关于一种利用自我补偿之弹性凸块于结合一晶粒于一基板之方法,该方法包括:提供一正面包含复数个接垫之集成电路晶圆与一基板;涂覆一由可压缩高分子所组成之弹性材料于该晶圆之背面,并利用微影技术定义该弹性材料之区域,以形成弹性凸块;切割该晶圆以形成复数个晶粒;以及施压于该晶粒之背面,以将该晶粒之正面与基板接合。此构装结合方式可消除应力,减少平行度差异,同时利用晶粒本身之接垫达到与基板电性上导通的目的。其中该自我补偿之弹性凸块之结构亦一并揭示。

Patent Agency Ranking