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    靜電容量方式壓力感測半導體元件
    1.
    发明专利
    靜電容量方式壓力感測半導體元件 审中-公开
    静电容量方式压力传感半导体组件

    公开(公告)号：TW201719129A

    公开(公告)日：2017-06-01

    申请号：TW106102184

    申请日：2013-01-10

    申请人： 和冠股份有限公司 ,  WACOM CO., LTD.

    发明人： 堀江利彥 ,  HORIE, TOSHIHIKO ,  滝口英隆 ,  TAKIGUCHI, HIDETAKA

    IPC分类号： G01L1/14

    CPC分类号： H01L29/84 ,  G01L1/148 ,  G01L9/0073 ,  G01L9/12 ,  G06F3/03545

    摘要： 提供一種：相對於藉由推壓構件所施加之壓力而具備有耐壓性，並且能夠確實地以良好效率來感測到壓力之靜電容量方式壓力感測半導體元件。係具備有：作為靜電容量之變化而感測到壓力之壓力感測部(10)、和被密封有此壓力感測部(10)之封裝(20)。壓力感測部(10)，係具備有第1電極(1)、和隔著特定之距離而被與此第1電極作對向配置之第2電極(2)，在第1電極(1)和第2電極(2)之間，係被形成有靜電容量，並且，基於因應於藉由推壓構件所傳導至第1電極處之壓力而使距離改變，靜電容量係改變。在封裝(20)處，係被設置有將壓力感測部(10)之被傳導至第1電極(1)處的由推壓構件所致之壓力傳導至第1電極(1)處的壓力傳導構件(22)。

    简体摘要： 提供一种：相对于借由推压构件所施加之压力而具备有耐压性，并且能够确实地以良好效率来传感到压力之静电容量方式压力传感半导体组件。系具备有：作为静电容量之变化而传感到压力之压力传感部(10)、和被密封有此压力传感部(10)之封装(20)。压力传感部(10)，系具备有第1电极(1)、和隔着特定之距离而被与此第1电极作对向配置之第2电极(2)，在第1电极(1)和第2电极(2)之间，系被形成有静电容量，并且，基于因应于借由推压构件所传导至第1电极处之压力而使距离改变，静电容量系改变。在封装(20)处，系被设置有将压力传感部(10)之被传导至第1电极(1)处的由推压构件所致之压力传导至第1电极(1)处的压力传导构件(22)。

    電抗可變型電路
    4.
    发明专利
    電抗可變型電路 审中-公开
    电抗可变型电路

    公开(公告)号：TW201445879A

    公开(公告)日：2014-12-01

    申请号：TW103119054

    申请日：2014-05-30

    申请人： 松下電器產業股份有限公司 ,  PANASONIC CORPORATION

    发明人： 牛山直樹 ,  USHIYAMA, NAOKI ,  城石久徳 ,  SHIROISHI, HISANORI ,  荻原淳 ,  OGIHARA, JUN

    IPC分类号： H03H7/38 ,  H01L27/01

    CPC分类号： G01L1/144 ,  G01L1/148 ,  G01L9/12

    摘要： 電抗可變型電路係具有：電抗因外力而變動的可變電抗元件(Cv)；及與可變電抗元件(Cv)作並聯連接的1個以上的補正用電抗元件，補正用電抗元件係包含：電抗要素(C1~C4)；及與該電抗要素(C1~C4)相連接，且可選擇電抗要素(C1~C4)對可變電抗元件(Cv)的連接或非連接的選擇部(f1~f4)。

    简体摘要： 电抗可变型电路系具有：电抗因外力而变动的可变电抗组件(Cv)；及与可变电抗组件(Cv)作并联连接的1个以上的补正用电抗组件，补正用电抗组件系包含：电抗要素(C1~C4)；及与该电抗要素(C1~C4)相连接，且可选择电抗要素(C1~C4)对可变电抗组件(Cv)的连接或非连接的选择部(f1~f4)。

    靜電電容器型應變偵測器及其使用方法
    7.
    发明专利
    靜電電容器型應變偵測器及其使用方法 有权
    静电电容器型应变侦测器及其使用方法

    公开(公告)号：TW432198B

    公开(公告)日：2001-05-01

    申请号：TW089113557

    申请日：2000-07-07

    申请人： 東金股份有限公司

    发明人： 上野 亨 ,  森 和也 ,  吉田哲男

    IPC分类号： G01B ,  G01P

    CPC分类号： G01P15/125 ,  G01B7/22 ,  G01L1/142 ,  G01L1/144 ,  G01L1/148 ,  G01L3/106 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0828

    摘要： 本發明之靜電電容器型應變偵測器具有基板(ll9)及形成在基板上之二組對叉手指型一對電極電容器(209,209A)。基板(ll9)係為於平面(或曲面)彈性體之表面上形成厚度約相同之介電體厚層膜(129),此介電體厚層膜係由介電係數會隨應變而改變之材料所作成。另外,於基板(ll9)之一個端部上固定一只可阻止應變產生之塊狀物(319)，於另一端部上則固定一只重物(329)。各對叉手指型一對電極電容器(209,209A)係在基板之表面上以多數平行之線狀導電體作成線狀電極，將此一對之線狀電極對叉組合而成對叉手指型而成者。靜電電容器型應變偵測器之對叉手指型一對電極電容器之一(209A)係形成在藉方塊(319)而固定之基板(ll9)上而作為基準電容器，此基準電容器係作為另一對叉手指型一對電極電容器(209)之溫度補正之用。為了偵測其它方向之應變,由線狀電極作成之對叉手指型之手指的方向係作成相互約略正交,或者,成為對叉手指型之手指之線狀電極對平板中心係形成約略同心圓柱。另外，彈性體若係為圓柱形時,則作為對叉手指型之手指之多數線狀電極係對圓柱之中心軸方向傾斜約45。相互對叉地平行成螺旋狀,在圓柱體之表面上延伸，再者，以與這些線狀電極之延伸方向成90。之角度形成另外一對電極型樣(pattern),藉此能有效地偵測相反方向之扭轉。靜電電容器型應變偵測器藉組裝對叉手指型一對電極電容器作為振盪電路之元件,能將彈性體之變形所伴隨產生之應變大小轉換成靜電電容量之變化，再進一步能轉換成頻率之變化,被轉換成之頻率能細微地被抽出，微量之應變變化也能容易偵測。

    简体摘要： 本发明之静电电容器型应变侦测器具有基板(ll9)及形成在基板上之二组对叉手指型一对电极电容器(209,209A)。基板(ll9)系为于平面(或曲面)弹性体之表面上形成厚度约相同之介电体厚层膜(129),此介电体厚层膜系由介电系数会随应变而改变之材料所作成。另外,于基板(ll9)之一个端部上固定一只可阻止应变产生之块状物(319)，于另一端部上则固定一只重物(329)。各对叉手指型一对电极电容器(209,209A)系在基板之表面上以多数平行之线状导电体作成线状电极，将此一对之线状电极对叉组合而成对叉手指型而成者。静电电容器型应变侦测器之对叉手指型一对电极电容器之一(209A)系形成在借方块(319)而固定之基板(ll9)上而作为基准电容器，此基准电容器系作为另一对叉手指型一对电极电容器(209)之温度补正之用。为了侦测其它方向之应变,由线状电极作成之对叉手指型之手指的方向系作成相互约略正交,或者,成为对叉手指型之手指之线状电极对平板中心系形成约略同心圆柱。另外，弹性体若系为圆柱形时,则作为对叉手指型之手指之多数线状电极系对圆柱之中心轴方向倾斜约45。相互对叉地平行成螺旋状,在圆柱体之表面上延伸，再者，以与这些线状电极之延伸方向成90。之角度形成另外一对电极型样(pattern),借此能有效地侦测相反方向之扭转。静电电容器型应变侦测器藉组装对叉手指型一对电极电容器作为振荡电路之组件,能将弹性体之变形所伴随产生之应变大小转换成静电电容量之变化，再进一步能转换成频率之变化,被转换成之频率能细微地被抽出，微量之应变变化也能容易侦测。

    靜電容量方式壓力感測半導體元件
    9.
    发明专利
    靜電容量方式壓力感測半導體元件 审中-公开
    静电容量方式压力传感半导体组件

    公开(公告)号：TW201341770A

    公开(公告)日：2013-10-16

    申请号：TW101146599

    申请日：2013-01-10

    申请人： 和冠股份有限公司 ,  WACOM CO., LTD.

    发明人： 堀江利彥 ,  HORIE, TOSHIHIKO ,  滝口英隆 ,  TAKIGUCHI, HIDETAKA

    IPC分类号： G01L1/14

    CPC分类号： H01L29/84 ,  G01L1/148 ,  G01L9/0073 ,  G01L9/12 ,  G06F3/03545

    摘要： [課題]提供一種：相對於藉由推壓構件所施加之壓力而具備有耐壓性，並且能夠確實地以良好效率來感測到壓力之靜電容量方式壓力感測半導體元件。[解決手段]係具備有：作為靜電容量之變化而感測到壓力之壓力感測部(10)、和被密封有此壓力感測部(10)之封裝(20)。壓力感測部(10)，係具備有第1電極(1)、和隔著特定之距離而被與此第1電極作對向配置之第2電極(2)，在第1電極(1)和第2電極(2)之間，係被形成有靜電容量，並且，基於因應於藉由推壓構件所傳導至第1電極處之壓力而使距離改變，靜電容量係改變。在封裝(20)處，係被設置有將壓力感測部(10)之被傳導至第1電極(1)處的由推壓構件所致之壓力傳導至第1電極(1)處的壓力傳導構件(22)。

    简体摘要： [课题]提供一种：相对于借由推压构件所施加之压力而具备有耐压性，并且能够确实地以良好效率来传感到压力之静电容量方式压力传感半导体组件。[解决手段]系具备有：作为静电容量之变化而传感到压力之压力传感部(10)、和被密封有此压力传感部(10)之封装(20)。压力传感部(10)，系具备有第1电极(1)、和隔着特定之距离而被与此第1电极作对向配置之第2电极(2)，在第1电极(1)和第2电极(2)之间，系被形成有静电容量，并且，基于因应于借由推压构件所传导至第1电极处之压力而使距离改变，静电容量系改变。在封装(20)处，系被设置有将压力传感部(10)之被传导至第1电极(1)处的由推压构件所致之压力传导至第1电极(1)处的压力传导构件(22)。

    面壓分佈感測器及其製造方法 SURFACE PRESSURE DISTRIBUTION SENSOR AND METHOD FOR MAKING SAME
    10.
    发明专利
    面壓分佈感測器及其製造方法 SURFACE PRESSURE DISTRIBUTION SENSOR AND METHOD FOR MAKING SAME 失效
    面压分布传感器及其制造方法 SURFACE PRESSURE DISTRIBUTION SENSOR AND METHOD FOR MAKING SAME

    公开(公告)号：TWI237209B

    公开(公告)日：2005-08-01

    申请号：TW092112287

    申请日：2003-05-06

    申请人： 三洋電機股份有限公司 SANYO ELECTRIC CO., LTD.

    发明人： 清水真 MAKOTO SHIMIZU ,  三井雅志 MASASHI MITSUI ,  上田博之 HIROYUKI UEDA

    IPC分类号： G06K ,  G01L

    CPC分类号： G06K9/0002 ,  G01L1/146 ,  G01L1/148

    摘要： 本發明提供一種面壓分佈感測器及其製造方法，以往因為於面壓分佈感測器的量產時之再現性不良，而一向就有感測(sensing)特性之安定化及確保信賴性之需求，同時也希望有提升生產性，及良品率之面壓分佈感測器及其製造方法，
    本發明係於密封劑內側設置止流裝置，以防止由密封劑之毛細管現象導致對感測器內部的浸入。再且，使相對電極膜片與基板間的間隙距離為最適當，以使感測特性提升。另外，將接觸子的材質及配置位置、相對電極膜片的張力等予以最適當之配置，使其特性安定、確保其信賴性、實現生產性、及良品率的提升。

    简体摘要： 本发明提供一种面压分布传感器及其制造方法，以往因为于面压分布传感器的量产时之再现性不良，而一向就有传感(sensing)特性之安定化及确保信赖性之需求，同时也希望有提升生产性，及良品率之面压分布传感器及其制造方法， 本发明系于密封剂内侧设置止流设备，以防止由密封剂之毛细管现象导致对传感器内部的浸入。再且，使相对电极膜片与基板间的间隙距离为最适当，以使传感特性提升。另外，将接触子的材质及配置位置、相对电极膜片的张力等予以最适当之配置，使其特性安定、确保其信赖性、实现生产性、及良品率的提升。