公开(公告)号：US5736429A

公开(公告)日：1998-04-07

申请号：US566122

申请日：1995-12-01

申请人： Denis Tregoat ,  Claude Artigue ,  Frederic Pommereau ,  Estelle Derouin

发明人： Denis Tregoat ,  Claude Artigue ,  Frederic Pommereau ,  Estelle Derouin

IPC分类号： G02B6/13 ,  G02B6/132 ,  G02B6/30 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  G02B6/12 ,  G02B6/42

CPC分类号： G02B6/30 ,  G02B6/132 ,  Y10S438/975

摘要： In a method for mounting an integrated optical component, a starting base structure includes a silica lower confinement layer and the cores of the future optical waveguides. This basic structure includes an alignment abutment so that a component to be mounted can be subsequently aligned with these waveguides. A silicon barrier layer is deposited on the abutment. Flame hydrolysis deposition is then used to deposit an upper silica layer to constitute the upper confinement layer of the waveguides. This silica layer also covers the alignment abutment, however. For this reason the region of the abutment is then etched by reactive ion etching to expose the abutment, which is protected from this etching by the barrier layer. The component to be mounted is then located relative to the abutment.

摘要翻译： 在一种用于安装集成光学部件的方法中，起始基底结构包括二氧化硅下限制层和未来光波导的芯。 该基本结构包括对准基座，使得待安装的部件可随后与这些波导对准。 硅基阻挡层沉积在基台上。 然后使用火焰水解沉积沉积上部二氧化硅层以构成波导的上部约束层。 然而，该二氧化硅层也覆盖对准基座。 因此，通过反应离子蚀刻蚀刻邻接部分的区域以暴露抵抗物，该邻接物被阻挡层防止该蚀刻。 然后将要安装的部件相对于基台定位。

公开(公告)号：US06584807B1

公开(公告)日：2003-07-01

申请号：US08822642

申请日：1997-03-24

申请人： Denis Tregoat ,  Claude Artigue ,  Christian Brot ,  Franck Mallecot ,  Francis Poingt

发明人： Denis Tregoat ,  Claude Artigue ,  Christian Brot ,  Franck Mallecot ,  Francis Poingt

IPC分类号： C03B2000

CPC分类号： H01L21/316 ,  G02B6/122 ,  G02B6/134 ,  G02B6/30 ,  G02B2006/12176

摘要： A method of fabricating a component having a crystalline silicon substrate includes the steps of depositing a layer of silica onto a crystalline silicon substrate, this silica layer being doped with dopants, and then treating the substrate. Before the doped silica layer is deposited, a barrier layer is formed on the substrate, consisting of a barrier material opposing diffusion of the dopants. The doped silica layer is deposited onto this barrier layer. The invention finds one particular application in connecting flat bundles of fibers in communication networks.

摘要翻译： 制造具有晶体硅衬底的部件的方法包括以下步骤：在结晶硅衬底上沉积二氧化硅层，该二氧化硅层掺杂有掺杂剂，然后处理衬底。 在沉积掺杂二氧化硅层之前，在由与掺杂剂扩散相反的阻挡材料组成的衬底上形成阻挡层。 掺杂的二氧化硅层沉积在该阻挡层上。 本发明在通信网络中连接扁平的光纤束方面发现了一个特殊的应用。

公开(公告)号：US6093939A

公开(公告)日：2000-07-25

申请号：US28816

申请日：1998-02-24

申请人： Claude Artigue ,  Denis Tregoat ,  Franck Mallecot ,  Emmanuel Grard

发明人： Claude Artigue ,  Denis Tregoat ,  Franck Mallecot ,  Emmanuel Grard

IPC分类号： G02B6/122 ,  G02B6/42 ,  H01S5/00 ,  H01L33/00

CPC分类号： G02B6/42

摘要： A hybrid optical device includes a passive component coupled optically to an active component, the passive component being formed in layers of silica on a substrate made of silica, the layers and the substrate thus forming a silica-on-silica structure. The hybrid optical device includes an intermediate element having good thermal conductivity and a coefficient of thermal expansion similar to that of the active component, wherein the active component is fixed to the intermediate element prior to insertion into the cavity, and the intermediate element is fixed to the structure so that the active component is located inside the cavity and is coupled optically to the passive component.

摘要翻译： 混合光学器件包括光学耦合到有源部件的无源部件，被动部件由二氧化硅制成的衬底上的二氧化硅层形成，所述层和衬底由此形成二氧化硅 - 二氧化硅结构。 混合光学装置包括具有良好的导热性和类似于有源部件的热膨胀系数的中间元件，其中有源部件在插入空腔之前固定到中间元件，并且中间元件被固定到 所述结构使得所述有源部件位于所述腔内并且与所述被动部件光学耦合。

公开(公告)号：US06233383B1

公开(公告)日：2001-05-15

申请号：US09292305

申请日：1999-04-15

申请人： Claude Artigue ,  Franck Mallecot ,  Denis Tregoat ,  Anton Ambrosy

发明人： Claude Artigue ,  Franck Mallecot ,  Denis Tregoat ,  Anton Ambrosy

IPC分类号： G02B626

CPC分类号： G02B6/42 ,  G02B6/30 ,  G02B6/423

摘要： A method is disclosed of assembling an optical module comprising at least two optical components whose waveguides are optically coupled to each other. Positioning one waveguide relative to the other one relies on two contact surfaces on the respective optical components cooperating with each other. A first contact surface includes a vertical bearing plane in the same horizontal plane as the optical axis of the waveguide of one of the optical components. A second contact surface includes a vertical bearing plane in the same horizontal plane as the optical axis of the waveguide of the other optical component.

摘要翻译： 公开了一种组装光学模块的方法，该光学模块包括至少两个光学部件，其波导彼此光学耦合。 相对于另一个定位一个波导依赖于彼此协作的相应光学部件上的两个接触表面。 第一接触表面包括在与其中一个光学部件的波导的光轴相同的水平平面中的垂直轴承平面。 第二接触表面包括在与另一光学部件的波导的光轴相同的水平平面中的垂直轴承平面。