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公开(公告)号：US07784164B2
公开(公告)日：2010-08-31
申请号：US11214475
申请日：2005-08-29
IPC分类号： B23P11/00
CPC分类号： H01L21/67236 , H01L21/67196 , Y10S414/135 , Y10S414/139 , Y10T29/49826 , Y10T29/53
摘要： A non-polygon shaped, multi-piece chamber is provided. A non-polygon shaped, multi-piece chamber may include (1) a central piece having a first side and a second side, (2) a first side piece adapted to couple with the first side of the central piece, and (3) a second side piece adapted to couple with the second side of the central piece. The central piece, the first side piece, and the second side piece form a cylindrical overall shape when coupled together. Numerous other aspects are provided.
摘要翻译： 提供非多边形形状的多片式室。 非多边形多片式室可以包括（1）具有第一侧和第二侧的中心件，（2）适于与中心件的第一侧连接的第一侧件，以及（3） 适于与中心件的第二侧联接的第二侧件。 当连接在一起时，中心件，第一侧件和第二侧件形成圆柱形的整体形状。 提供了许多其他方面。
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公开(公告)号：US20100281683A1
公开(公告)日：2010-11-11
申请号：US12840262
申请日：2010-07-20
IPC分类号： B23P19/00
CPC分类号： H01L21/67236 , H01L21/67196 , Y10S414/135 , Y10S414/139 , Y10T29/49826 , Y10T29/53
摘要： A non-polygon shaped, multi-piece chamber is provided. A non-polygon shaped, multi-piece chamber may include (1) a central piece having a first side and a second side, (2) a first side piece adapted to couple with the first side of the central piece, and (3) a second side piece adapted to couple with the second side of the central piece. The central piece, the first side piece, and the second side piece form a cylindrical overall shape when coupled together. Numerous other aspects are provided.
摘要翻译： 提供非多边形形状的多片式室。 非多边形多片式室可以包括（1）具有第一侧和第二侧的中心件，（2）适于与中心件的第一侧连接的第一侧件，以及（3） 适于与中心件的第二侧联接的第二侧件。 当连接在一起时，中心件，第一侧件和第二侧件形成圆柱形的整体形状。 提供了许多其他方面。
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公开(公告)号：US20060101728A1
公开(公告)日：2006-05-18
申请号：US11214475
申请日：2005-08-29
申请人： John White , Donald Verplancken , Shinichi Kurita
发明人： John White , Donald Verplancken , Shinichi Kurita
IPC分类号： E04H6/00
CPC分类号： H01L21/67236 , H01L21/67196 , Y10S414/135 , Y10S414/139 , Y10T29/49826 , Y10T29/53
摘要： A non-polygon shaped, multi-piece chamber is provided. A non-polygon shaped, multi-piece chamber may include (1) a central piece having a first side and a second side, (2) a first side piece adapted to couple with the first side of the central piece, and (3) a second side piece adapted to couple with the second side of the central piece. The central piece, the first side piece, and the second side piece form a cylindrical overall shape when coupled together. Numerous other aspects are provided.
摘要翻译： 提供非多边形形状的多片式室。 非多边形多片式室可以包括（1）具有第一侧和第二侧的中心件，（2）适于与中心件的第一侧联接的第一侧件，以及（3） 适于与中心件的第二侧联接的第二侧件。 当连接在一起时，中心件，第一侧件和第二侧件形成圆柱形的整体形状。 提供了许多其他方面。
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公开(公告)号：US20060035025A1
公开(公告)日：2006-02-16
申请号：US11146295
申请日：2005-06-06
申请人： Donald Verplancken , Ashok Sinha
发明人： Donald Verplancken , Ashok Sinha
CPC分类号： C23C16/45542 , C23C16/452 , H01J37/32357
摘要： A method for providing activated species for a cyclical deposition process is provided herein. In one aspect, the method includes delivering a gas to be activated into a plasma generator, activating the gas to create a volume of reactive species, delivering a fraction of the reactive species into a processing region to react within a substrate therein, and maintaining at least a portion of the gas remaining in the plasma generator in an activated state after delivering the fraction of the gas into the process region. The plasma generator may include a high density plasma (HDP) generator, a microwave generator, a radio-frequency (RF) generator, an inductive-coupled plasma (ICP) generator, a capacitively coupled generator, or combinations thereof.
摘要翻译： 本文提供了用于提供用于循环沉积工艺的活化物质的方法。 在一个方面，所述方法包括将待激活的气体输送到等离子体发生器中，激活气体以产生一定体积的反应物质，将一部分反应性物质输送到处理区域中以在其内部的基底内反应并维持在 在将一部分气体输送到处理区域中之后，剩余在等离子体发生器中的气体的至少一部分处于活化状态。 等离子体发生器可以包括高密度等离子体（HDP）发生器，微波发生器，射频（RF）发生器，感应耦合等离子体（ICP）发生器，电容耦合发生器或其组合。
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