公开(公告)号：US06266110B1

公开(公告)日：2001-07-24

申请号：US08901696

申请日：1997-07-28

申请人： Makoto Mizuno ,  Masanori Iwahashi ,  Toshihiro Shimizu ,  Masaaki Fujishima ,  Koji Hanihara ,  Itaru Tsuchiya ,  Yasuo Yagi

发明人： Makoto Mizuno ,  Masanori Iwahashi ,  Toshihiro Shimizu ,  Masaaki Fujishima ,  Koji Hanihara ,  Itaru Tsuchiya ,  Yasuo Yagi

IPC分类号： G02F11345

CPC分类号： H01L21/76819 ,  G02F1/136227 ,  G02F1/136277

摘要： An uppermost metal wiring layer is formed of titan Ti and titan nitride TiN formed thereon, on which tungsten W for filling a via hole can be deposited. The via hole is filled with W. The surface of a metal wiring layer below the uppermost metal wiring layer is covered with a low reflectivity film made of titan nitride. Thus, light incident on the surface of the semiconductor chip is prevented from reaching a substrate transistor within a semiconductor device and malfunctioning of the semiconductor device is prevented.

摘要翻译： 最上面的金属布线层由形成在其上的钛钛和氮化钛TiN形成，其上可以沉积填充通孔的钨W。 通孔用W填充。最上面的金属布线层下方的金属布线层的表面覆盖有由氮化钛制成的低反射率膜。 因此，防止入射在半导体芯片的表面上的光到达半导体器件内的衬底晶体管，并且防止了半导体器件的故障。

公开(公告)号：US5888900A

公开(公告)日：1999-03-30

申请号：US901697

申请日：1997-07-28

申请人： Makoto Mizuno ,  Toshihiro Shimizu ,  Masaaki Fujishima ,  Koji Hanihara ,  Itaru Tsuchiya ,  Yasuo Yagi

发明人： Makoto Mizuno ,  Toshihiro Shimizu ,  Masaaki Fujishima ,  Koji Hanihara ,  Itaru Tsuchiya ,  Yasuo Yagi

IPC分类号： H01L21/3105 ,  H01L21/768 ,  H01L21/4763

CPC分类号： H01L21/31053 ,  H01L21/76819 ,  Y10S438/926

摘要： A method for manufacturing semiconductor device is provided, this method comprises the steps of: depositing a metal film for forming wirings on a substrate; forming a wiring layer, wherein dummy wiring is inserted between wiring space where the dummy wiring can be inserted, and wiring space, where the dummy wiring cannot be inserted, is reduced by widening wiring pattern facing the wiring space; forming an interlayer insulating film on said wiring layer; and flattening surface of the interlayer insulating film. The film can be flattened by a CMP method or by an etchback of entire surface of the film. It is possible to flatten the surface of the semiconductor device cost-effectively and precisely.

摘要翻译： 提供一种制造半导体器件的方法，该方法包括以下步骤：在衬底上沉积用于形成布线的金属膜; 形成布线层，其中虚拟布线插入在可插入虚拟布线的布线空间之间，并且通过加宽面向布线空间的布线图案来减少虚拟布线不能插入的布线空间; 在所述布线层上形成层间绝缘膜; 和层间绝缘膜的平坦化表面。 该膜可以通过CMP方法或通过膜的整个表面的回蚀而变平。 可以经济高效地精确地使半导体器件的表面平坦化。

公开(公告)号：US5990988A

公开(公告)日：1999-11-23

申请号：US697867

申请日：1996-08-30

申请人： Koji Hanihara ,  Itaru Tsuchiya ,  Kenichi Hanada ,  Kunihisa Ishii ,  Motohisa Ohkuni

发明人： Koji Hanihara ,  Itaru Tsuchiya ,  Kenichi Hanada ,  Kunihisa Ishii ,  Motohisa Ohkuni

IPC分类号： G02F1/1335 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/136 ,  G02F1/1343

CPC分类号： G02F1/133553 ,  G02F1/136277 ,  G02F1/136213 ,  G02F1/136227 ,  G02F2001/136245

摘要： A liquid crystal display device has a semiconductor substrate. A plurality of switching elements are arranged on the substrate in matrix, and a plurality of pixel electrodes are provided above the switching elements, arranged in matrix corresponding to the switching elements. A liquid crystal layer is provided on the pixel electrodes. The switching element is connected with a corresponding pixel electrode by a wiring layer. Dummy layers are provided in the same level as the wiring layer so that a surface of the dummy layer is substantially flush with a surface of the wiring layer.

摘要翻译： 液晶显示装置具有半导体基板。 多个开关元件以矩阵形式布置在基板上，并且多个像素电极设置在开关元件上方，与开关元件相对应地排列成矩阵。 在像素电极上设置液晶层。 开关元件通过布线层与相应的像素电极连接。 虚拟层设置在与布线层相同的层中，使得虚设层的表面与布线层的表面基本齐平。

公开(公告)号：US5894299A

公开(公告)日：1999-04-13

申请号：US697859

申请日：1996-08-30

申请人： Itaru Tsuchiya ,  Kenichi Hanada

发明人： Itaru Tsuchiya ,  Kenichi Hanada

IPC分类号： G02F1/133 ,  G09G3/20 ,  G09G3/36 ,  H04N5/66

CPC分类号： G09G3/20 ,  G09G3/3677 ,  G09G2310/0267 ,  G09G2310/08 ,  G09G2340/0414 ,  G09G3/2096 ,  G09G3/3648

摘要： The number of vertical scanning in one field of a video signal is detected, and the number of scanning lines pulses at each row electrode of a liquid crystal display is determined in accordance with the difference between the determined number of vertical scanning lines number and the number of the row electrodes. The determined number of scanning pulses is stored in a retrace line interval. Scanning pulses are applied to the corresponding row electrode in a scanning interval. The number of row electrodes to which the scanning pulses are applied is the stored number of scanning pulses.

摘要翻译： 检测视频信号的一个场中的垂直扫描次数，并且根据所确定的垂直扫描行数和数目之间的差确定液晶显示器的每行电极处的扫描行脉冲数 的行电极。 所确定的扫描脉冲数存储在回扫线间隔中。 扫描脉冲在扫描间隔中被施加到相应的行电极。 施加扫描脉冲的行电极的数量是存储的扫描脉冲数。